集成电路装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108538810B

    公开(公告)日:2022-03-22

    申请号:CN201710888495.X

    申请日:2017-09-27

    Abstract: 提供了一种集成电路装置。所述集成电路装置包括:绝缘膜,位于基底上;下布线层,贯穿绝缘膜的至少一部分,下布线层包括第一金属;下导电阻挡膜,围绕下布线层的底表面和侧壁,下导电阻挡膜包括与第一金属不同的第二金属;第一金属硅化物盖层,覆盖下布线层的顶表面,第一金属硅化物盖层包括第一金属;第二金属硅化物盖层,接触第一金属硅化物盖层并且设置在下导电阻挡膜上,第二金属硅化物盖层包括第二金属。

    超临界处理腔室和用于处理基板的设备

    公开(公告)号:CN109545707A

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201811088273.0

    申请日:2018-09-18

    Abstract: 公开了超临界处理腔室和用于处理基板的设备。该处理腔室包括:主体框架,其具有突起和凹室,突起从主体框架的第一表面竖直向上突出,凹室由主体框架的突起和第一表面限定;罩框架;缓冲腔室,缓冲腔室布置在主体框架和罩框架之间;以及连接器。缓冲腔室包括:内部容器,其可拆卸地联接到主体框架,从而在凹室中提供腔室空间;以及内部罩,内部罩可拆卸地联接到罩框架。内部罩与内部容器的第一表面接触,从而封闭腔室空间使其与周围环境隔绝。连接器联接主体框架和罩框架,使缓冲腔室布置在主体框架和罩框架之间,使得封闭的腔室空间转变成在其中执行超临界处理的处理空间。

    用多个共同频率的半软切换方法和系统

    公开(公告)号:CN1213942A

    公开(公告)日:1999-04-14

    申请号:CN98118486.3

    申请日:1998-08-20

    Inventor: 李光旭

    CPC classification number: H04W36/18 H04W36/06

    Abstract: 一种半软切换方法和系统。当基站用多频信道时,移动台在小区间移动,处理当前呼叫的频率上的服务在待进入的目的小区内不能提供,为保证呼叫的连续性,基站检查所有邻近小区的频率分配状况,设定所有小区的多个共同频率。基站管理从多个共同频率选择的共同频率的业务量。收到切换需求消息后,基站检查最小负载的共同频率。然后基站执行小区内频率间硬切换到相应的共同频率,用共同频率执行软切换到目的小区。

    用多个共同频率的半软切换方法和系统

    公开(公告)号:CN1117495C

    公开(公告)日:2003-08-06

    申请号:CN98118486.3

    申请日:1998-08-20

    Inventor: 李光旭

    CPC classification number: H04W36/18 H04W36/06

    Abstract: 一种半软切换方法和系统。当基站用多频信道时,移动台在小区间移动,处理当前呼叫的频率上的服务在待进入的目的小区内不能提供,为保证呼叫的连续性,基站检查所有邻近小区的频率分配状况,设定所有小区的多个共同频率。基站管理从多个共同频率选择的共同频率的业务量。收到切换需求消息后,基站检查最小负载的共同频率。然后基站执行小区内频率间硬切换到相应的共同频率,用共同频率执行软切换到目的小区。

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