一种针对超厚TiN膜层保持超硬特性同时提高韧性的制备方法

    公开(公告)号:CN105779936B

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:CN201610035095.X

    申请日:2016-01-20

    Abstract: 本发明公开了一种制备超厚以及韧性高的TiN方法,其中,制备该TiN膜方法包括:采用金属阴极真空磁过滤沉积系统(FCVA),在工件表面利用高能大束流金属离子束对工件进行清洗;然后采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA),在工件表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″;在所述的金属″钉扎层″之上,采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA),在对气体进气量进行正弦或余弦调制沉积得到超硬韧性好的厚TiN膜层;重复调制周期直至TiN膜总厚度为10‑30微米。通过实施本发明,在工件沉积TiN膜具有很好韧性以及很高的显微硬度。

    一种提高航天继电器中推动杆部件寿命的方法和设备

    公开(公告)号:CN105755443B

    公开(公告)日:2018-11-09

    申请号:CN201610105819.3

    申请日:2016-02-26

    Abstract: 本发明公开了一种提高密封继电器推动杆部件寿命的方法及设备,该方法是利用低能离子束技术在推动杆部件其中推动球表明沉积超硬耐磨且绝缘性能好的膜层,制备该膜方法包括:采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA),在玻璃表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″;在所述的金属″钉扎层″之上,采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积得到用于释放内应力的第一层金属薄膜过渡层;在所述的第一层过渡层之上,采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积方法沉积得到超硬耐磨的DLC层,膜总厚度为0.1‑5微米。通过实施本发明,在密封继电器推动杆部件沉积超硬DLC膜能够明显提高密封继电器推动杆部件中推动球的寿命。

    一种电极涂层的制备方法
    73.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108531856A

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201810358042.0

    申请日:2018-04-20

    Abstract: 本发明公开了一种电极涂层的制备方法,包括以下步骤:1S:利用气体离子源对电极基体表面进行高低能交替清洗;2S:以碳靶为阴极,利用凯赛奥弧磁过滤沉积方法在所述电极基体上进行电极涂层的沉积。该方法沉积速率高,成本低,能实现大规模的卷对卷生产。采用该方法制备的电极涂层为四面体非晶形碳与含氢DLC的混合掺杂结构;该涂层具备高耐腐蚀性,比含氢DLC具备更高的耐温特性;同时具有高导电性,并且膜层致密性好。

    一种新型防辐射布料的制备方法和设备

    公开(公告)号:CN105803764A

    公开(公告)日:2016-07-27

    申请号:CN201610151515.0

    申请日:2016-03-17

    CPC classification number: D06M11/83 C23C14/22 D06M23/00

    Abstract: 本发明公开了一种新型的基于离子束技术制备抗辐射及抗静电新型布的制备方法和设备,其中,该新型防辐射、抗静电新型布主要制备方法在于利用新型的磁过滤等离子沉积技术(FCVA)以及金属真空蒸汽离子源技术(MEVVA)制备,具体包括:在布表面利用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA),注入一层能提高膜基结合力的布料金属混合层;在所述的金属混合层之上,采用60度磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA),沉积得到厚度为1?5微米的纳米结构的金属膜层。通过实施本发明,布料具有很好的防辐射、抗静电能力以及可擦洗性。

    一种在直升飞机叶片上沉积抗沙尘侵蚀纳米复合膜方法和设备

    公开(公告)号:CN105779958A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201510903854.5

    申请日:2015-12-10

    Abstract: 本发明公开了一种发动机叶片表面结合力优越以及抗沙尘侵蚀能力强的TiN/DLC/TiN纳米复合膜方法及设备,其中,制备该TiN/DLC/TiN纳米复合膜方法包括:采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA),在叶片表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″;在所述的金属″钉扎层″之上,采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积得到用于释放内应力的第一层金属/金属氧化物薄膜过渡层;在所述的第一层过渡层之上,采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积方法沉积得到第二层软DLC层;在所述的第二层软层之上沉积得到第三层超硬TiN膜层;重复工艺制备第二层、第三层直至TiN/DLC/TiN纳米复合膜总厚度为10-30微米。通过实施本发明,在发动机叶片上沉积TiN/DLC/TiN纳米复合膜能够很好的保护发动机叶片,防止其因沙尘的侵蚀而损害。

    亚微米孔隙结构二氧化钛薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN101554583A

    公开(公告)日:2009-10-14

    申请号:CN200910143688.8

    申请日:2009-06-02

    Abstract: 本发明涉及一种具有亚微米(零点几个微米)孔隙结构的二氧化钛光催化膜。该二氧化钛光催化膜首先由成熟的溶胶-凝胶法制备,然后采用常规的离子注入的方式,将具有一定动能的高速离子态粒子轰击二氧化钛膜层。通过这些高速粒子的轰击作用,在受击二氧化钛膜层上产生大量的亚微米孔隙。这些亚微米尺度的孔隙拓展出所得光催化膜的内部表面,从而有利于产品在吸附和空气净化等方面的作用。

    一种陶瓷复合材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118812285A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410864789.9

    申请日:2024-07-01

    Abstract: 本发明提供了一种陶瓷复合材料及其制备方法和应用,属于复合材料领域。本发明在陶瓷基体和纳米晶层的中间设置陶瓷/金属混合层,可以增强陶瓷基体与纳米晶层的结合强度,同时陶瓷/金属混合层能在陶瓷基体亚表面形成压应力,提高陶瓷复合材料的疲劳强度;纳米晶层中的金属碳化物熔点高,在高温下稳定性好,并且本发明采用耐磨性能优异的非晶碳膜包裹纳米晶,既可以增强高温稳定性和耐磨性能,又可以提高纳米晶层与非晶碳膜包裹纳米晶的结构层之间的结合强度;陶瓷复合材料的疲劳强度、各层之间的结合强度、耐磨性能和高温稳定性的提高延长了其作为打印机的陶瓷条的使用寿命。

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