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公开(公告)号：CN105779958A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201510903854.5
申请日：2015-12-10
Applicant: 北京师范大学
CPC classification number: C23C14/48 , C23C14/0605 , C23C14/0641 , C23C14/16 , C23C14/325
Abstract: 本发明公开了一种发动机叶片表面结合力优越以及抗沙尘侵蚀能力强的TiN/DLC/TiN纳米复合膜方法及设备，其中，制备该TiN/DLC/TiN纳米复合膜方法包括：采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在叶片表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积得到用于释放内应力的第一层金属/金属氧化物薄膜过渡层；在所述的第一层过渡层之上，采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积方法沉积得到第二层软DLC层；在所述的第二层软层之上沉积得到第三层超硬TiN膜层；重复工艺制备第二层、第三层直至TiN/DLC/TiN纳米复合膜总厚度为10-30微米。通过实施本发明，在发动机叶片上沉积TiN/DLC/TiN纳米复合膜能够很好的保护发动机叶片，防止其因沙尘的侵蚀而损害。
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公开(公告)号：CN105779941B
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201510967504.5
申请日：2015-12-23
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于离子束技术的发动机叶片表面结合力优越以及抗沙尘侵蚀能力强的超厚超硬类金刚石(DLC)膜层的方法及设备，其中，制备该DLC膜方法包括：采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在叶片表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用90度磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积得到用于释放内应力的第一层金属薄膜过渡层；在所述的第一层过渡层之上，采用180度磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积方法沉积得到第二层软DLC层；在所述的第二层软层之上改变负压180度磁过滤沉积得到超硬DLC膜层直至膜总厚度为10‑25微米。通过实施本发明，在发动机叶片上沉积DLC膜能够很好的保护发动机叶片，防止其因沙尘的侵蚀而损坏。
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公开(公告)号：CN105779958B
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201510903854.5
申请日：2015-12-10
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种发动机叶片表面结合力优越以及抗沙尘侵蚀能力强的TiN/DLC/TiN纳米复合膜方法及设备，其中，制备该TiN/DLC/TiN纳米复合膜方法包括：采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在叶片表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积得到用于释放内应力的第一层金属/金属氧化物薄膜过渡层；在所述的第一层过渡层之上，采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积方法沉积得到第二层软DLC层；在所述的第二层软层之上沉积得到第三层超硬TiN膜层；重复工艺制备第二层、第三层直至TiN/DLC/TiN纳米复合膜总厚度为10‑30微米。通过实施本发明，在发动机叶片上沉积TiN/DLC/TiN纳米复合膜能够很好的保护发动机叶片，防止其因沙尘的侵蚀而损害。
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公开(公告)号：CN105779941A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201510967504.5
申请日：2015-12-23
Applicant: 北京师范大学
CPC classification number: C23C14/48 , C23C14/025 , C23C14/0605 , C23C14/221
Abstract: 本发明公开了一种基于离子束技术的发动机叶片表面结合力优越以及抗沙尘侵蚀能力强的超厚超硬类金刚石(DLC)膜层的方法及设备，其中，制备该DLC膜方法包括：采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在叶片表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用90度磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积得到用于释放内应力的第一层金属薄膜过渡层；在所述的第一层过渡层之上，采用180度磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积方法沉积得到第二层软DLC层；在所述的第二层软层之上改变负压180度磁过滤沉积得到超硬DLC膜层直至膜总厚度为10?25微米。通过实施本发明，在发动机叶片上沉积DLC膜能够很好的保护发动机叶片，防止其因沙尘的侵蚀而损坏。
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