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公开(公告)号：CN113375573A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110795986.6
申请日：2021-07-14
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种椭偏测量初始入射角校准装置及方法，其中校准装置包括平移装置、第一俯仰调节装置、第二俯仰调节装置和中间调节装置。平移装置包括平移平台、CCD相机和远心镜头，远心镜头可拆卸式安装于CCD相机上，CCD相机在平移平台上平移；第一俯仰调节装置包括第一俯仰偏摆调节平台和安装于第一俯仰偏摆调节平台上的自准直仪；第二俯仰调节装置包括第二俯仰偏摆调节平台和安装于第二俯仰偏摆调节平台上的稳频激光器；中间调节装置包括位置调节平台和安装于位置调节平台上的五棱镜。相比于现有技术，本发明能够实现自准直仪光轴与CCD相机运动轴成90°，稳频激光器光轴与CCD相机运动轴成180°，从而完成椭偏测量初始90°入射角的校准。
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公开(公告)号：CN111739830A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010719317.6
申请日：2020-07-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种多维纳米位移装置，包括固定框架、移动框架、移动台、第一驱动装置和第二驱动装置，移动框架套在移动台外周并与移动台形成柔性连接，且移动框架内壁与移动台外壁之间有间隙，固定框架套在移动框架外周并与移动框架形成柔性连接，固定框架内壁与移动框架外壁之间有间隙，移动台中部用于放置待测样品，固定框架的一侧框上固定设有至少两个第一驱动装置，第一驱动装置驱动移动框架和移动台往复移动，移动框架的一侧框上固定设有至少一个第二驱动装置，第二驱动装置驱动移动台往复移动，第一驱动装置的驱动方向与第二驱动装置的驱动方向垂直，该多维纳米位移装置能够提高重载大行程的纳米位移精度，以及修正运动过程中的偏摆。
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公开(公告)号：CN110967528A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201811166846.7
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请涉及一种扫描探针。所述扫描探针包括第一延伸体、第二延伸体和第三延伸体。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接。所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接，且所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小可以通过结构的几何级联获得纳米级联场增强。
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公开(公告)号：CN110208936A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910468723.7
申请日：2019-05-31
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，由设置在下基座上的驱动器支撑上基座并对其进行快速、大行程的一级调节，由安装在上基座上的三维精密微位移平台对针孔盘进行三维方向的精密二级调节，通过上述双级调节可有效消除传统手动调节方式所带来的不确定性和不稳定性，以及现有光路调整机构可调行程小和应用范围受限的缺陷，并且上述一级大行程快速调节部分和二级精密微调部分可单独使用，以应用于相应需求场合。本发明通过控制器控制其进行纳米微位移调节，可使装置在工作过程中运行稳定、重复性好，从而使调节精度得到保障，实用性强。
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公开(公告)号：CN108287126A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201810243972.1
申请日：2018-03-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01N15/02
Abstract: 本申请提供一种纳米颗粒粒径测量系统，激光光源将激光从入射装置中发出，入射光通过入射光通孔射入散射发生装置。散射发生装置设置有多个入射光通孔与多个出射光通孔。多个入射光通孔与多个所述出射光通孔设置于同一水平面。每个信号探测接收器对应一个所述出射光通孔，用于接收出射光通孔发出的出射光。纳米颗粒粒径测量系统在多个角度上对待测纳米颗粒的同一散射中心进行同时测量，能获得散射中心纳米颗粒的更多有效信息，尤其对于双峰分布的颗粒体系，测量更加准确。此外，纳米颗粒粒径测量系统内设置有偏振光路，通过测量偏振入射光经过散射体后偏振方向的改变，实现对棒状纳米颗粒的长径比的测量求解。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107102174A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201710344657.3
申请日：2017-05-16
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01Q70/16
CPC classification number: G01Q70/16
Abstract: 一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法，通过电化学反应使金属丝一端形成尖锐的针尖；阻止已形成的针尖继续被腐蚀；使金属丝其他部分形成特殊几何形貌的轮廓；其制备装置包括底座、支撑立柱、钨丝定位装置、安装基板和电解槽定位装置，在底座上垂直固定有两个相互平行的支撑立柱和电解槽定位装置，两个支撑立柱的上部固定有安装基板，在安装基板上装有金属丝定位装置；还配备有电解电源和控制装置。实现了精确地控制用于制备探针的金属丝的位移；对电化学反应状态和终点进行准确的探测与控制。具有低成本、高精度地批量制作各类具有特殊形貌轮廓的优点。
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公开(公告)号：CN209962001U
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201920818267.X
申请日：2019-05-31
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本实用新型公开一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，由设置在下基座上的驱动器支撑上基座并对其进行快速、大行程的一级调节，由安装在上基座上的三维精密微位移平台对针孔盘进行三维方向的精密二级调节，通过上述双级调节可有效消除传统手动调节方式所带来的不确定性和不稳定性，以及现有光路调整机构可调行程小和应用范围受限的缺陷，并且上述一级大行程快速调节部分和二级精密微调部分可单独使用，以应用于相应需求场合。本实用新型通过控制器控制其进行纳米微位移调节，可使装置在工作过程中运行稳定、重复性好，从而使调节精度得到保障，实用性强。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN217637685U
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202221803494.3
申请日：2022-07-13
Applicant: 北京易兴元石化科技有限公司 , 中国计量科学研究院
Abstract: 本实用新型公开了一种切换式干涉零光程定位装置，涉及光学用机械装置技术领域，包括光源、分束镜、静止反射镜、运动反射镜和光电探测器，所述光源能够产生准直的红外光，在所述光源和所述分束镜之间设置有滤波片切换机构，所述滤波片切换机构用于将不同带宽的红外带通滤波片、可见光截止滤波片或红外光源切换至红外光路位置，利用红外带通滤波片改变透过光谱的范围，截止滤波片作用在于通过红外光同时排除可见光在干涉图中的干扰，通过改变透过滤波片的光谱宽度，可以实现更改干涉相干长度的范围，由于零光程差位置在相干长度范围内，可以快速寻找和定位干涉零光程差位置。
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公开(公告)号：CN215177566U
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202121597359.3
申请日：2021-07-14
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本实用新型公开了一种椭偏测量初始入射角校准装置，包括平移装置、第一俯仰调节装置、第二俯仰调节装置和中间调节装置。平移装置包括平移平台、CCD相机和远心镜头，远心镜头可拆卸式安装于CCD相机上，CCD相机在平移平台上平移；第一俯仰调节装置包括第一俯仰偏摆调节平台和安装于第一俯仰偏摆调节平台上的自准直仪；第二俯仰调节装置包括第二俯仰偏摆调节平台和安装于第二俯仰偏摆调节平台上的稳频激光器；中间调节装置包括位置调节平台和安装于位置调节平台上的五棱镜。相比于现有技术，本实用新型能够实现自准直仪光轴与CCD相机运动轴成90°，稳频激光器光轴与CCD相机运动轴成180°，从而完成椭偏测量初始90°入射角的校准。
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公开(公告)号：CN212207832U
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202020635834.0
申请日：2020-04-24
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本实用新型公开一种落射式紫外光学显微镜光源多维调节机构，主要包括用于转换光路的落射照明盒、支撑零部件用的笼杆、安装各种透镜的笼板、光圈可调的可变光阑以及安装并调节紫外光源用的光学调整架。通过调节安装透镜的笼板和安装紫外光源的光学调整架在笼杆上的位置，能够实现成像要求的紫外光源的消色差、扩束和准直，通过移动可变光阑上的拨杆，能够调节紫外光源入射到落射照明盒的光束范围，通过调节安装紫外光源的光学调整架上面的旋转调节螺钉，能够实现紫外光源在俯仰、偏摆方向的微调，紫外光学显微镜在三种紫外光源调节方式下，互相配合，共同作用，从而达到高分辨率成像的显微镜光源需求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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