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公开(公告)号：CN110747437A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201911239897.2
申请日：2019-12-06
Applicant: 北京师范大学 , 稳力(广东)科技有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明公开了一种磁过滤管道，涉及磁过滤技术领域，包括：第一矩形管和第二矩形管，所述第一矩形管一端与所述第二矩形管的一端固定连接，所述第一矩形管另一端为磁过滤管道入口，所述磁过滤管道入口用于与阴极靶材法兰相连接，所述第二矩形管另一端为磁过滤管道出口，所述磁过滤管道出口用于与真空室连接，所述第一矩形管和所述第二矩形管内壁均设置有凸起和凹槽，所述凸起内用于填充冷水。所以，本发明克服了现有技术磁过滤管道存在的尺寸小以及膜层沉积效率低的缺陷，本发明能够提高膜层沉积效率，并有利于降低生产成本。
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公开(公告)号：CN108193170B
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201810040979.3
申请日：2014-09-23
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性基材电路板及金属钉扎层的制备方法和设备，其中，该金属钉扎层的制备方法包括：利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子源，向基底层注入第一金属元素，对所述基底层进行清洗；利用磁过滤阴极真空弧(FCVA)离子源，在清洗后的基底层表面，磁过滤沉积得到第一金属膜层；利用所述MEVVA离子源，向所述第一金属膜层表面注入第二金属元素，形成金属钉扎层。因此，采用本发明的制备方法和设备制备得到的金属钉扎层和柔性基材电路板具有很高结合力和抗剥离性。
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公开(公告)号：CN110144562A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910548727.6
申请日：2019-06-24
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种超厚吸能涂层的制备方法，包括：S01:对基体进行气体离子源清洗；S02：基体进行高功率脉冲金属离子清洗；S03：通入乙炔和氮气沉积CrAlNC；S04：关闭乙炔阀门，高功率脉冲磁控沉积ZrN；S05：关闭氮气通入乙炔沉积CrAlC；S06：循环沉积膜层直至膜层厚度大于20微米。本发明实施例提供的方法，通过气体离子源、高功率脉冲磁控、多弧离子镀技术相结合的方式，沉积的超厚涂层其内应力低、韧性、抗冲击及吸能特性性好。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合批量生产。
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公开(公告)号：CN106756868B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201610990847.8
申请日：2016-11-10
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种提高掺杂类金刚膜层质量的方法，在工件上等离子体化学气相沉积掺杂类金刚膜层之前，在所述工件周围设置屏蔽装置，所述屏蔽装置具有开口，且所述开口正对等离子体出口；在等离子体化学气相沉积掺杂类金刚膜层过中，所述屏蔽装置不随所述工件旋转，但与所述工件等电位。本实施例提供的方法，主要是在沉积过程中，通过在旋转的工件周围设置，使其屏幕工件圆周附近等离子体密分布极度不均匀的位置，只接收正对等离子体出口位置的等离子体密度强的离子沉积，最终获得的膜层均匀性和膜层结合力等有着大幅的提升，非常适合工业化大批量生产。
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公开(公告)号：CN106756858B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201611032281.4
申请日：2016-11-14
Applicant: 北京师范大学
IPC: C23C14/48
Abstract: 本发明涉及一种圆珠笔笔珠的表面改性方法，包括：对笔珠进行表面初步清洗；在表面清洗后的笔珠表面进行表面深度清洗、抛光，并在清洗、抛光过程中进行超声振荡；对表面深度清洗、抛光后的笔珠进行离子注入，并在离子注入过程中进行超声振荡。本发明提供的方法，主要是利用MEVVA离子注入设备在笔珠表面注入高能金属离子或者非金属离子，实现笔珠表面强化，增强不锈钢“笔珠”的耐磨性，提高圆珠笔的使用寿命。通过离子注入能够明显提高笔珠表面硬度，降低笔珠的滚动摩擦力，能得到比碳化钨更低的摩擦系数。且MEVVA离子注入设备束流直径可达800mm，因此可实现笔珠大批量的处理，成本低，效率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109881143A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910174803.1
申请日：2019-03-08
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种疏水亲油材料的制备方法，包括以下步骤：1S：对多孔铜网进行超声波清洗；2S：利用真空设备高温氧化制备氧化铜纳米线；3S：利用金属离子源对纳米线表面进行离子注入；4S：利用磁过滤沉积技术对氧化铜纳米线进行包覆。该方法基于高温氧化、离子注入和磁过滤沉积方法能够方便形成类荷叶的超纳米凹凸结构。通过该方法制备的材料，具有疏水性能好、自清洁以及不湿润的特点，同时对油具备极小的亲水角；本发明的材料在油水分离方面有着重要的应用前景。
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公开(公告)号：CN109722623A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201910174804.6
申请日：2019-03-08
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种锯片的表面处理方法，该方法是利用气体离子源、高功率脉冲技术、电弧技术在锯片表面沉积摩擦系数低以及韧性好的复合膜方法。其中包括：对锯片进行气体离子源清洗；利用气体离子源对锯片进行离子氮化；利用高功率脉冲以及电弧技术沉积复合叠层结构涂层。制备的三明治复合膜层具有高韧性、高显微硬度以及低摩擦系数，能明显提高锯片寿命2-5倍，在锯片领域有着很好的应用前景。
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公开(公告)号：CN107248490B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201710368331.4
申请日：2017-05-23
Applicant: 北京师范大学
IPC: H01J37/08 , H01J37/147 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种新型的离子源引出‑加速电极结构，其中，引出电极由圆孔型引出设计为等宽的长条形引出形状，同时加速电极之间的距离不再恒定，设计为连续变化的引出间距，即加速电极之间的距离由5mm变为可变区间3‑7mm。通过实施本发明，离子束斑的形状发生明显的改变，由原来的圆形束斑变成长条形束斑，束斑尺寸可为(100‑200mm)×(300‑800mm)，大大提高了离子束斑的纵向宽度，在处理长条形工件时有着非常明显的优势。同时，通过引出‑加速电极的改变离子束流大大增加，在相同束流强度下能够大大增加阴极靶材的寿命。
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公开(公告)号：CN109306449A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201811381462.7
申请日：2018-11-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种生物针灸表面处理技术及设备，包括针柄、针身和针尖，针身基于离子束技术制备了超薄、超高绝缘以及超硬的类金刚石涂层,类金刚石涂层的厚度为1-6nm，在针身的类金刚石膜层上沉积三条宽2-5μm测试通道线；针柄连接电针仪电极，测试通道线连接生物电流测试系统；外接电极电流从针尖定向导入作用于深层的病变部位，同时相关病变部位的生物电流反馈测试系统。本发明因采用了类金刚石超薄纳米涂层，配合电针仪以及生物电流测试系统使用时产生治疗和监控作用，不但可以大幅提高治疗效果，同时很好的监控医患的病变部位的生物特征。本发明适用于针灸针，定向导电针灸针绝缘层制备方法、生物电流测试方法及其通道线的制备工艺。
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公开(公告)号：CN108359942A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810263024.4
申请日：2018-03-28
Applicant: 北京师范大学
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/022 , C23C14/0611 , C23C14/5826 , C23C14/5873
Abstract: 本发明公开了一种类金刚石涂层的制备方法，包括以下步骤：S1：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；S2：以碳靶为阴极，利用磁过滤沉积技术在所述基体上进行类金刚石涂层的沉积；该方法沉积速率高，成本低，能实现大批量生产；S3：利用激光器对类金刚石涂层进行表面刻蚀，刻蚀间隔为2-10微米；S4：利用气体离子源对图形化类金刚石膜进行表面处理。采用该方法制备的涂层为四面体非晶形碳高sp3和低sp3含量交替变化结构；该涂层具备高耐磨损性能，比含氢类金刚石、高sp3含量类金刚石以及低sp3含量类金刚石具备更高的抗裂纹生长能力以及抗摩擦磨损性能。
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