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公开(公告)号:CN103700736A
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201310713492.4
申请日:2013-12-20
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L33/00
CPC classification number: H01L33/0079 , H01L33/0066 , H01L33/0075
Abstract: 一种氮化镓基外延膜的选区激光剥离方法,包括下列步骤:在第一基板上生长氮化镓外延膜,所述氮化镓基外延膜包含但不限于n型氮化物、有源层、p型氮化物;然后通过制作隔离槽,把氮化镓基外延膜分离成氮化镓基单元器件;以金属层作为金属中间层,并通过金属中间层将待剥离的单元器件与第二基板相结合;不需剥离的区域悬空于第二基板上,或在不需剥离区域与第二基板之间的间隙和隔离槽中填充保护材料;通过激光剥离方法将所有待剥离的单元器件从第一基板上剥离,转移到第二基板上形成氮化镓基单元器件的阵列。本发明实现了氮化镓基外延膜的选区剥离,把部分芯片转移到第二衬底上,随后可用于器件的晶圆级封装,提高了装配的灵活性和封装效率,降低了成本。
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公开(公告)号:CN103579461A
公开(公告)日:2014-02-12
申请号:CN201310553763.4
申请日:2013-11-08
Applicant: 中国科学院半导体研究所
CPC classification number: H01L33/0066 , H01L21/0242 , H01L21/02458 , H01L21/0254 , H01L21/0262 , H01L21/3065 , H01L27/15 , H01L33/50 , H01L2933/0016 , H01L2933/0041
Abstract: 本发明提供了一种制备晶圆级全彩LED显示阵列的方法。该方法包括:步骤A,在衬底上生长GaN材料,制备GaN外延片;步骤B,通过深刻蚀工艺在所述GaN外延片上形成多个独立的LED结构;以及步骤F,对准不同列的LED结构,在蓝宝石衬底背面涂敷不同荧光粉,以形成红、绿、蓝LED芯片,从而形成晶圆级全彩LED显示阵列。本发明制备晶圆级全彩LED显示阵列的方法由逐列涂覆的荧光粉直接在LED蓝宝石wafer上实现全彩显示,从而实现了晶圆级LED显示阵列的像素尺寸小于500um。
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公开(公告)号:CN103151445A
公开(公告)日:2013-06-12
申请号:CN201310067793.4
申请日:2013-03-04
Applicant: 中国科学院半导体研究所
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/00014
Abstract: 一种低热阻LED封装结构,其包括:LED芯片;一支撑电路板,包括:一电路板;一制作在电路板下的反射层和一制作在反射层下的金属导热层,该电路板的中间有一通孔,所述LED芯片位于电路板的通孔内,该LED芯片通过金属引线与电路板电性连接;一封胶层,该封胶层将电性连接好的LED芯片固封在支撑电路板中的电路板的通孔内。本发明的优点是无支架,该LED封装结构可以提高LED芯片的出光效率,并且使LED芯片产生的热量经过金属导热层迅速扩散,并传导到散热器表面,省掉传统封装结构的中间环节,热阻明显下降,亮度和可靠性得到提高,整体制作成本下降,提高了产品一致性。
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公开(公告)号:CN103137808A
公开(公告)日:2013-06-05
申请号:CN201310061427.8
申请日:2013-02-27
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种氮化镓系发光二极管,该发光二极管包括至少一层低温插入层。所述插入层是AlxGal-xN,其中0≤x≤1或者InyAl1-yN,其中0≤y≤1或者AlaInbGal-a-bN,其中0≤a<1,0≤b<1。所述插入层的生长温度是500-1000℃。该发光二极管可以降低InGaN/GaN多量子阱中的应力,增加发光强度并显著改善大电流注入下的效率下降问题。
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公开(公告)号:CN103066195A
公开(公告)日:2013-04-24
申请号:CN201310030351.2
申请日:2013-01-25
Applicant: 中国科学院半导体研究所
CPC classification number: H01L2224/14 , H01L2224/16225
Abstract: 本发明公开了一种应用石墨烯作为导热层的倒装结构发光二极管,包括:衬底,该衬底上下表面均覆盖有绝缘层,绝缘层表面各有一层金属线层;LED芯片,该LED芯片由下至上依次包括外延衬底、成核层、电子注入层、发光层和空穴注入层,以及对空穴注入层、发光层和电子注入层进行部分刻蚀后在空穴注入层之上形成的p电极和在电子注入层之上形成的n电极;该LED芯片在剥离完外延衬底后倒装键合在所述衬底上,该LED芯片的p电极和n电极与所述衬底上表面的金属线层相连接;以及导热层,形成于该LED芯片在剥离完外延衬底后的成核层之上。本发明利用石墨烯优越的导电性能,使得部分热量可以经由石墨烯导热层传递到衬底上,增加了器件的导热通道,提高了散热效果。
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公开(公告)号:CN102891232A
公开(公告)日:2013-01-23
申请号:CN201210375368.7
申请日:2012-09-29
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明提供了一种半导体发光器件及其制造方法。该半导体发光器件,包括:第二电极;第一掺杂类型的第一半导体层,与第二电极电性连接;有源层,形成于第一半导体层上;第二掺杂类型的第二半导体层,形成于有源层上;第一掺杂类型的第一简并半导体层,形成于第二半导体层上;第二掺杂类型的第二简并半导体层,形成于第一简并半导体层上;第一电极,与第二简并半导体层电性连接。本发明通过在半导体发光器件插入正偏的隧穿pn结,大幅增强功率型半导体发光器件的电流分布均匀性,解决电流集边效益。
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公开(公告)号:CN102867837A
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN201210340102.9
申请日:2012-09-13
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L27/15
Abstract: 一种阵列式高压LED器件的制作方法,包括:在外延结构的P型氮化镓层上制作掩膜,选择性刻蚀外延结构,形成N型台阶结构;在外延结构的N型氮化镓层的表面制作掩膜,形成隔离的深槽;进行高温硫磷酸腐蚀;在刻蚀后的外延结构的表面沉积绝缘介质层;腐蚀掉深槽侧壁以外的绝缘介质层;在相邻的各N型台阶结构之间制作透明导电层;部分腐蚀掉最外侧的N型台阶结构上面的P型氮化镓层表面的透明导电层;在其上制作P金属电极和N金属电极。本发明可以减少电极吸光,增加芯片外延的侧面与底部出光面积,与后工艺相互配合,可以提高高压发光二极管芯片的发光效率。
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公开(公告)号:CN102157640B
公开(公告)日:2012-11-21
申请号:CN201110064300.2
申请日:2011-03-17
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种具有p-GaN层表面粗化的GaN基LED芯片的制作方法,包括:采用金属有机化学气相沉积的方法,在半导体衬底上依次生长低温GaN缓冲层、不掺杂GaN层、N-GaN层、多量子阱层和P-GaN层,形成GaN外延片;将GaN外延片放入蒸发台,在P-GaN层的表面蒸镀CsCl或氯化物;蒸镀结束后,向蒸发台腔室中充入水汽,控制相对湿度使P-GaN层表面的CsCl或氯化物吸收水分逐渐长大形成CsCl或氯化物的纳米岛;将CsCl或氯化物纳米岛作为刻蚀掩膜,对GaN外延片进行刻蚀,形成表面粗化的GaN外延片;再将GaN外延片的一侧进行刻蚀,形成台面;在GaN外延片的上表面蒸镀一层ITO薄膜;在GaN外延片的上表面制作P电极,在台面上制作N电极,完成器件制备。
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公开(公告)号:CN101847677B
公开(公告)日:2012-11-14
申请号:CN201010143078.0
申请日:2010-04-07
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种采用MVPE两步法制备氧化锌透明电极的方法,包括:第一步,生长缓冲层;第二步,生长电极层;其中,生长缓冲层时金属舟的温度比生长电极层低30至200℃;生长缓冲层时金属舟的载气流量是生长电极层时的1/10至1倍;生长缓冲层时衬底的温度比生长电极层时高0至150℃。利用本发明,有效改善了氧化锌透明电极的界面性质,降低了LED的工作电压和串联电阻。
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