公开(公告)号：CN103066195A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201310030351.2

申请日：2013-01-25

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 李智 ,  张逸韵 ,  程滟 ,  赵勇兵 ,  刘志强 ,  伊晓燕 ,  王国宏

IPC: H01L33/64 ,  H01L33/48

CPC classification number: H01L2224/14 ,  H01L2224/16225

Abstract: 本发明公开了一种应用石墨烯作为导热层的倒装结构发光二极管，包括：衬底，该衬底上下表面均覆盖有绝缘层，绝缘层表面各有一层金属线层；LED芯片，该LED芯片由下至上依次包括外延衬底、成核层、电子注入层、发光层和空穴注入层，以及对空穴注入层、发光层和电子注入层进行部分刻蚀后在空穴注入层之上形成的p电极和在电子注入层之上形成的n电极；该LED芯片在剥离完外延衬底后倒装键合在所述衬底上，该LED芯片的p电极和n电极与所述衬底上表面的金属线层相连接；以及导热层，形成于该LED芯片在剥离完外延衬底后的成核层之上。本发明利用石墨烯优越的导电性能，使得部分热量可以经由石墨烯导热层传递到衬底上，增加了器件的导热通道，提高了散热效果。