一种离子束加工聚合物微球的方法

    公开(公告)号:CN114800926A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202210472210.5

    申请日:2022-04-29

    Abstract: 本发明公开了一种离子束加工聚合物微球的方法,S1、将待加工的聚合物微球依次装入基台的第一凹槽中,放置完成后,各聚合物微球的底面抵接在对应第一凹槽的内壁上,此时聚合物微球上半部外露的球面记为A面;S2、通过离子束依次对各聚合物微球的A面进行加工;S3、待所有聚合物微球的A面加工完成后,将背板盖设在基台上方,直到各聚合物微球的顶面抵接在对应第二凹槽的内壁上;S4、通过翻转机构将整个样品台上下翻转,然后移走基台,此时聚合物微球上半部外露的球面记为B面;S5、通过离子束依次对各聚合物微球的B面进行加工。与现有技术相比,本发明方法既能实现样品固定又能实现导电功能,且能够实现批量化加工。

    一种用于光学元件的定位及姿态调整装置

    公开(公告)号:CN110666596B

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN201910822123.6

    申请日:2019-09-02

    Abstract: 一种用于光学元件的定位及姿态调整装置,包括基板、初步定位机构、终定位机构和姿态调整结构,基板为左右平行设置二条,基板上设有导轨,基板上从下往上依次设有移动顶板、夹具顶板和顶板,移动顶板通过导轮可沿导轨自由移动;初步定位机构包括元件吊钩、套筒和螺母,夹具顶板通过定位销定位于移动顶板的上方,元件通过元件吊钩挂置在移动顶板的下方,通过套筒和螺母与移动顶板夹紧定位;终定位机构包括左侧顶轴和右侧顶轴;姿态调整结构包括调整丝套和锁紧螺母,调整丝套拧入顶板中,顶板通过螺钉固定于架体顶板上,通过微调调整丝套实现元件与X‑Y平面的平行度。本发明不仅结构简单、成本低、操作方便,而且定位精度高、成本低、易于加工制造。

    一种用于活塞销孔加工的压电陶瓷配合杠杆机构的微进给装置

    公开(公告)号:CN109571110A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811360435.1

    申请日:2018-11-15

    Abstract: 一种用于活塞销孔加工的压电陶瓷配合杠杆机构的微进给装置,包括基座、刀柄、镗刀以及进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器,刀柄一端插置在基座内,另一端与镗刀固定连接,杠杆轴前后穿过基座、刀柄将刀柄与基座连接在一起、并使刀柄可沿杠杆轴旋转,进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器分别通过预紧螺钉可调节地穿置在基座的上下两侧,进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器与杠杆轴垂直设置且里端分别与刀柄靠近尾部的上下两侧相抵,进刀或退倒时,进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器的变形位移通过杠杆轴转变为刀具的径向位移。本发明结构简单、易于加工制造,具有高精度、高分辨率和快速响应的特点。

    一种用于活塞加工快速响应的子母滑台装置

    公开(公告)号:CN109571057A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811389180.1

    申请日:2018-11-21

    Abstract: 本发明提供一种用于活塞加工快速响应的子母滑台装置,包括立式安装的Z轴进给系统、母滑台X1系统、子滑台X2系统,其中,工件由夹具夹持固定并能绕自身轴线A轴旋转;Z轴进给系统由伺服电机驱动实现进给;母滑台X1系统立式安装于Z轴进给系统上,并能在第一直线电机的驱动下相对于工件左右滑移,母滑台X1系统与Z轴进给系统插补用以形成工件的中凸侧母线;子滑台X2系统立式安装于母滑台X1系统的第一滑台上,并能在第二直线电机的驱动下相对于母滑台X1系统做高频往复运动,子滑台X2系统与工件自转的A轴插补用以形成工件的非圆横截面。与现有技术相比,本发明既能大行程进给,又能高频往复进给,机床运动精度高,易于实现对加工过程的精确控制。

    一种中大口径光学元件表面离子束溅射沉积薄膜的方法

    公开(公告)号:CN108441838A

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201810234663.8

    申请日:2018-03-21

    Abstract: 本发明涉及一种中大口径光学元件表面离子束溅射沉积薄膜的方法,该方法采用在光学元件的沉积面上选取中心区域以及多个边缘区域,各边缘区域沿沉积面的周向间隔布置,在沉积镀膜的过程中,光学元件转动,同时,离子源与靶材在光学元件沉积面的下方作曲线往复运动,从而完成镀膜,这样的镀膜方法使得中大口径光学元件表面沉积稳定且沉积薄膜的厚度均匀,并对光学元件沉积面上的中心与边缘的驻留时间比工艺参数进行修正,使得获得的沉积面上中心区域与各边缘区域的膜厚度更加均匀,提高了镀膜质量,更能满足需求,实用性强。

    射频离子源离子束束径约束器及对应的束径控制装置

    公开(公告)号:CN212322948U

    公开(公告)日:2021-01-08

    申请号:CN202020536808.2

    申请日:2020-04-13

    Abstract: 本实用新型涉及射频离子源离子束束径约束器,其特征在于:所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构;所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布,多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑,所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。本实用新型还涉及一种包括束径约束器的控制装置,采用该装置进行离子束束径控制,操作方便,调节精度好,效率高,而且成本节约。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种离子束超精密加工光学元件的夹具

    公开(公告)号:CN208759156U

    公开(公告)日:2019-04-19

    申请号:CN201821236712.3

    申请日:2018-08-02

    Abstract: 本实用新型涉及一种离子束超精密加工光学元件的夹具,包括装卡平台,夹持光学元件的夹持组件,和能将夹持组件固定在装卡平台上的锁紧机构,所述装卡平台中心设有中心孔,所述装卡平台上径向设置有至少3个安装槽,所述夹持组件具有至少3个,每个夹持组件均能在对应的所述安装槽内径向移动、且能在所述锁紧机构的作用下,使得夹持组件与安装槽相紧固或相松开,其特征在于:每个所述夹持组件侧壁均设有指示标记,所述装卡平台靠近每个安装槽的槽口处径向设有与指示标记配合的刻度线。通过设置指示标记和刻度线,夹装时,将夹持组件移动到指示标记与相应的刻度线对齐,从而将光学元件快速、准确地进行夹装,具有结构简单、操作方便的优点。

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