公开(公告)号：CN109605168B

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN201811451945.X

申请日：2018-11-30

Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 裴宁 ,  王大森 ,  聂凤明 ,  张广平 ,  李晓静 ,  郭海林 ,  刘敏

IPC: B24B13/00 ,  B24B13/005 ,  B24B1/04 ,  B24B55/06 ,  B24B49/12

Abstract: 本发明提供一种大直径光学元件的加工系统，包括工作台、设于所述工作台主轴上的光学元件、用于对光学元件进行定位和检测表面粗糙度的定位及检测系统、用于对光学元件进行加工的旋转超声振动系统、控制系统、以及蠕动泵和冷却装置；旋转超声振动系统包括超声波发生器、驱动电机、旋转装置、超声波加工装置；超声波加工装置以一定的静压力压在光学元件上方并能相对于光学元件高速旋转，超声波加工装置和光学元件表面通过蠕动泵缓慢注入清洗液，用以加工过程中的清洗及冷却。相对于现有技术，本发明的加工系统能有效降低光学元件表面粗糙度，提高加工精度及表面光洁度，进而提高产品质量及生产效率。

公开(公告)号：CN109605168A

公开(公告)日：2019-04-12

申请号：CN201811451945.X

申请日：2018-11-30

Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 裴宁 ,  王大森 ,  聂凤明 ,  张广平 ,  李晓静 ,  郭海林 ,  刘敏

IPC: B24B13/00 ,  B24B13/005 ,  B24B1/04 ,  B24B55/06 ,  B24B49/12

Abstract: 本发明提供一种大直径光学元件的加工系统，包括工作台、设于所述工作台主轴上的光学元件、用于对光学元件进行定位和检测表面粗糙度的定位及检测系统、用于对光学元件进行加工的旋转超声振动系统、控制系统、以及蠕动泵和冷却装置；旋转超声振动系统包括超声波发生器、驱动电机、旋转装置、超声波加工装置；超声波加工装置以一定的静压力压在光学元件上方并能相对于光学元件高速旋转，超声波加工装置和光学元件表面通过蠕动泵缓慢注入清洗液，用以加工过程中的清洗及冷却。相对于现有技术，本发明的加工系统能有效降低光学元件表面粗糙度，提高加工精度及表面光洁度，进而提高产品质量及生产效率。

公开(公告)号：CN113070742A

公开(公告)日：2021-07-06

申请号：CN202110429742.6

申请日：2021-04-21

Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 裴宁 ,  王大森 ,  聂凤明 ,  张旭 ,  李晓静 ,  夏超翔 ,  郭海林 ,  刘敏 ,  周静 ,  李维杰

IPC: B24B1/00 ,  B24B13/00

Abstract: 本发明涉及一种用于去除光学元件表面亚表层损伤的抛光方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：对光学元件进行古典抛光；步骤二：对经过古典抛光的光学元件进行真空等离子体抛光。本发明采用古典抛光和等离子抛光的复合抛光技术，能显著消除光学元件的表面与亚表面损伤，该复合抛光技术能够有效克服古典抛光造成光学元件表面和亚表面损伤以及等离子抛光的抛光效率低的问题，即将古典抛光与等离子体抛光结合，可以兼顾抛光效率和对损伤层的去除。

公开(公告)号：CN108127560A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201711296522.0

申请日：2017-12-08

Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 裴宁 ,  王大森 ,  聂凤明 ,  张广平 ,  李晓静 ,  刘敏

IPC: B24B49/00

CPC classification number: B24B49/00

Abstract: 本发明公开了一种用于方形光学元件双面快速抛光的控制系统，包括控制器和液压传动组件，其特征在于：还包括作为液压传动组件驱动源的电动伺服组件，以及用于检测液压传动组件的压力、从而反馈给控制器以便控制电动伺服组件的压力反馈组件。通过利用伺服电机作为驱动源，因此在整个控制过程中，尤其是在补油阶段，不需要频繁的开启和关闭小泵，也不需要频繁的控制阀门，很好地改善在方形光学元件双面快速抛光过程中的补压阶段由于不断补油而造成的压力脉动和波动；利用三通道压力调整控制，既能降低成本，又便于快速地达到所需的控制压力。