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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106206211A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610774378.6
申请日：2016-08-31
Applicant: 成都磁动势科技有限公司
IPC: H01J3/36
CPC classification number: H01J3/36
Abstract: 本发明涉及电子枪电源技术领域，尤其涉及一种电子枪电源自动控制装置，包括控制器、继电器、采集模块、所述采集模块采集到丝极产生的电子束的发射方向，当采集到电子束的发射方向偏离预设方向时，控制器控制丝极的加热电流，使得所述丝极发射的电子束偏移至预设方向，继电器连接控制器，进而提高了控制效率。
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公开(公告)号：CN111403251B
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202010286352.3
申请日：2020-04-13
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种射频离子源离子束束径约束器，其特征在于：所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构；所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布，多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑，所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。本发明还涉及一种包括束径约束器的控制装置及对应的方法，采用该装置及方法进行离子束束径控制，操作方便，调节精度好，效率高，而且成本节约。
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公开(公告)号：CN111403251A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010286352.3
申请日：2020-04-13
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种射频离子源离子束束径约束器，其特征在于：所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构；所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布，多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑，所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。本发明还涉及一种包括束径约束器的控制装置及对应的方法，采用该装置及方法进行离子束束径控制，操作方便，调节精度好，效率高，而且成本节约。
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公开(公告)号：CN216120192U
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202122729063.9
申请日：2021-11-09
Applicant: 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
Abstract: 本申请涉及一种栅网固定装置、栅网结构及射频离子源；其中，栅网固定装置，应用于射频离子源的栅网结构上，所述栅网结构的各个栅网通过紧固件和绝缘件进行固定，所述紧固件与栅网之间通过绝缘件进行绝缘隔离，所述绝缘件外部设置有防护帽，所述防护帽的帽沿与所述栅网固定连接，使得所述绝缘件与外部形成空间隔离；该技术方案，通过在用于对栅网和紧固件与进行绝缘隔离的绝缘件外部设置防护帽，利用防护帽使得绝缘件与外部形成空间隔离，保证绝缘件保护在镀膜沉积的难区，避免栅网之间产生短路情况，保证射频离子源稳定工作。
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公开(公告)号：CN212322948U
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202020536808.2
申请日：2020-04-13
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本实用新型涉及射频离子源离子束束径约束器，其特征在于：所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构；所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布，多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑，所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。本实用新型还涉及一种包括束径约束器的控制装置，采用该装置进行离子束束径控制，操作方便，调节精度好，效率高，而且成本节约。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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