用于制造半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN100447985C

    公开(公告)日:2008-12-31

    申请号:CN200610142834.1

    申请日:2006-10-30

    Inventor: 白竹茂

    CPC classification number: H01L27/10897 H01L27/10876 H01L27/10894

    Abstract: 一种用于制造半导体器件的方法,由此当在相同的半导体衬底上形成两种晶体管时,在沟槽栅极晶体管和具有薄栅极绝缘膜的平面晶体管中均可获得高性能且简化了工艺。在其中由保护膜(12)覆盖外围电路区PE中的栅极绝缘膜(11s)的情况下,在存储单元区M中形成栅极沟槽(18),其后在其中仍然由保护膜(12)覆盖外围电路区PE中的栅极绝缘膜(11s)的情况下,在栅极沟槽(18)的内壁上形成比栅极绝缘膜(11s)厚的栅极绝缘膜(19)。

    校准方法和存储系统
    47.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100437833C

    公开(公告)日:2008-11-26

    申请号:CN02142572.8

    申请日:2002-08-03

    Inventor: 松井义德

    Abstract: 在具有一个存储控制器(20)和至少一个DRAM(30)的存储系统中,存储控制器(20)从DRAM(30)接收一个作为伪时钟信号的连续和交替的反相信号,并且根据该连续交替的反相信号和一个基准时钟信号产生一个用于DQ信号的内部接收时钟信号。然后,存储控制器(20)计算从发出OUT1指令给DRAM(30)的时刻起直到从DRAM(30)接收到一个作为的DQ数据信号的高电平数据信号为止的接收内部时钟的数目,并将该计算结果保持为延迟时钟的数目。因此,在发出该读取指令之后,经过等同于该延迟时钟的数目的时间之后,存储控制器(20)可以根据该内部接收时钟信号接收读出的数据(DQ信号)。

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