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公开(公告)号：CN1941285A
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200610109916.6
申请日：2006-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0533 , B41J2/161 , B41J2/1625 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L27/101 , H01L27/11502 , H01L27/11507 , H01L28/57 , H01L41/23 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种可减轻对电介质膜的损害的电容器制造方法。根据本发明的电容器(10)的制造方法包括：在基板(1)的上方形成下部电极(4)的步骤；在下部电极(4)的上方形成由铁电体或压电体构成的电介质膜(5)的步骤；在电介质膜(5)的上方形成上部电极(6)的步骤；以及形成至少覆盖电介质膜(5)的氧化硅膜(20)的步骤，其中，氧化硅膜(20)使用三甲氧基硅烷形成。
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公开(公告)号：CN113696624B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202110533928.6
申请日：2021-05-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种减少振动板的损伤的液体喷出头以及液体喷出装置。所述液体喷出头具有：压电体；振动板，其通过压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其设置有通过振动板的振动而向液体施加压力的压力室，压力室基板、振动板以及压电体按照该顺序被层压，振动板具有：第一层,其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电体之间，且作为构成元素而包含铬、钛以及铝中的任意一种金属元素；第三层，其被配置在第二层与压电体之间，且作为构成元素而包含锆。
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公开(公告)号：CN116890533A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310318683.4
申请日：2023-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及液滴喷出头、打印机。提供即便在高频驱动时也能够抑制异常喷出的液滴喷出头。一种液滴喷出头，具备：喷嘴板，具有喷嘴；压力室形成基板，具有压力室；振动板；以及压电元件，包含钾、钠以及铌，并形成在振动板上。压电元件具有第一电极及第二电极和位于第一电极与第二电极之间的压电体层。压电体层、第一电极及第二电极的厚度的合计比振动板的厚度大。将绝对值25V的电压作为使振动板向压力室的容积膨胀的方向位移的电压施加到压电元件时的振动板的位移量的绝对值为将绝对值25V的电压作为使振动板向压力室的容积收缩的方向位移的电压施加到压电元件时的振动板的位移量的绝对值的2倍以上。
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公开(公告)号：CN116390627A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202211655936.9
申请日：2022-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本申请提供压电基板、压电元件及液体喷出头。该压电基板能够得到即便是在大气气氛中也具有良好的压电特性的压电元件。一种压电基板，包括：基板；第一电极，形成在所述基板上；以及压电体层，形成在所述第一电极上，并包含钾、钠和铌，针对所述压电体层的表面从垂直方向倾斜54.74°照射X射线的X射线衍射测定的Psi轴方向的扫描结果中的所述压电体层的(100)面的X射线强度峰的半宽度为大于0°且在1.2°以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115139650A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210305385.7
申请日：2022-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种对水分向振动板内部的侵入进行抑制并对出现振动板的层间剥离或裂纹等损伤的情况进行抑制的压电装置以及液体喷射头。压电装置具备：基板，其具有凹部；振动板；压电致动器，振动板具有：第一层，其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电致动器之间，且作为构成元素而包含选自铬、钛、铝、钽、铪以及铱中的至少一种金属元素和氮化硅中的任意一方或者两方；第三层，其被配置在第二层与压电致动器之间，且作为构成元素而包含锆，在第三层的压电致动器侧具有第四层，第四层作为构成元素而包含选自铬、钛、铝、钽、铪以及铱中的至少一种金属元素和氮化硅中的任意一方或者两方。
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公开(公告)号：CN115139649A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210305324.0
申请日：2022-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种抑制了水分的向振动板内部的侵入，并抑制了产生振动板的层间剥离或裂纹等损伤的情况的压电装置。该压电装置具备：基板(12)，其具有凹部(12)；振动板(50)；压电致动器(300)，所述振动板(50)具有：第一层(51)，其作为结构元素而包含硅；第三层(53)，其被配置于所述第一层(51)和所述压电致动器(300)之间，并且作为结构元素而包含锆，所述第一层(51)和所述第三层(53)的层叠侧面覆盖有包含从由氧化物、氮化物、金属以及类金刚石碳构成的组中选择的至少一种的耐湿保护膜(210)。
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公开(公告)号：CN112440561A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202010870585.8
申请日：2020-08-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种对在振动板上产生裂纹的情况进行抑制从而提高可靠性的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备形成有压力室(12)的流道形成基板(10)、振动板(50)和压电致动器(300)，压电致动器(300)具备通过第一电极(60)和第二电极(80)而夹持着压电体层(70)的能动部(310)，能动部(310)在俯视观察时与压力室(12)的至少一部分重叠，且被延伸设置至与压力室(12)相比靠外侧，压力室(12)被形成为，与流道形成基板(10)和振动板(50)的层压方向相交叉的方向上的宽度随着在层压方向上越接近压电致动器(300)而变得越窄。
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公开(公告)号：CN109484028B
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201811041578.6
申请日：2018-09-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头、液体喷射装置及压电设备。液体喷射头具有：流道形成基板(10)；保护基板(30)，其被接合于所述流道形成基板(10)的所述一面侧并具有流道(31)；流道部件(40)，其被接合于所述保护基板(30)的与所述流道形成基板(10)相反一侧；驱动电路(120)，其被安装于由流道形成基板(10)、保护基板(30)和流道部件(40)包围而形成的空间(34)内；填充剂(121)，其被填充于所述驱动电路(120)与所述流道形成基板(10)、以及驱动电路(120)与保护基板(30)之间；保护膜(200)，其被形成于从保护基板(30)的所述流道的内壁起、至保护基板(30)的与流道部件(40)接合的接合面中的至少与所述内壁的边界侧为止，所述保护膜(200)具有露出孔(201)，所述露出孔(201)使所述填充剂(121)的表面的至少一部分露出。
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公开(公告)号：CN109484031A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811042820.1
申请日：2018-09-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种在抑制振动板的位移量的降低的同时确保振动板的强度的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。液体喷射头具备：喷嘴，其对液体进行喷射；流道基板，其形成有与所述喷嘴连通的压力室和与所述压力室连通的液体供给室；振动板，其被设置于所述流道基板上，且与所述压力室和所述液体供给室重叠；以及压电元件，其被形成于所述振动板中的与所述压力室相反的一侧，所述振动板中的与所述压力室重叠的部分的厚度和所述振动板中的与所述液体供给室重叠的部分的厚度相比而较薄。
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