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公开(公告)号：CN113696632B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202110538520.8
申请日：2021-05-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供提高压电元件的响应性的压电元件、液体喷出头及液体喷出装置。压电元件具有第一电极；第二电极；压电体，其被配置在第一电极与第二电极间，在将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极之间的正电压设为饱和正电压、且将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极间的负电压设为饱和负电压时，在使被施加于第一电极与第二电极间的电压从饱和负电压逐渐变化至饱和正电压的情况下，基于压电体中所产生的电荷的电流依次经由随着该电压升高而电流变大的第一路径、随着该电压升高而电流变小的第二路径、随着该电压升高而电流变大的第三路径、随着该电压升高而电流变小的第四路径而变化。
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公开(公告)号：CN116330847A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202211639956.7
申请日：2022-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 提供一种维持压电特性良好的同时抑制漏电流的压电元件及液体喷射头。压电元件包括：第一电极；氧化物层，形成在所述第一电极上；压电体层，形成在所述氧化物层上，并含有钾、钠以及铌；以及第二电极，形成在所述压电体层上，其中在所述第一电极和所述第二电极之间施加10V的电位差时，在以所述第一电极为高电位的情况下和在以所述第二电极为高电位的情况下，漏电流的电流密度相差10,000倍以上。
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公开(公告)号：CN113352755B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202110225747.7
申请日：2021-03-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够在高湿度的环境下对漏电流的增加进行抑制的液体喷出头。记录头(3)具备：压力室(22)；压电致动器，其使压力室(22)的容积发生变化，压电致动器具备：振动板(21)，其构成压力室(22)的一个壁面；下电极(30)，其被形成在振动板(21)上；压电体(31)，其被形成在下电极(30)上；上电极(32)，其被形成在压电体(31)以及振动板(21)上，在从与振动板(21)正交的±Z方向进行观察时，下电极(30)以及压电体(31)与压力室(22)的中心部(22c)不重叠，在从±Z方向进行观察时，下电极(30)、压电体(31)以及上电极(32)与压力室(22)的端部(22w)重叠，在从±Z方向进行观察时，上电极(32)与压力室(22)的中心部(22c)重叠。
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公开(公告)号：CN114312026A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111120080.0
申请日：2021-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种液体喷出头、液体喷出装置、以及致动器。其能够提高绝缘体膜的界面的强度并提高振动板的强度。液体喷出头具备压电元件和振动板，振动板通过压电元件的驱动而进行振动，且包含含有SiO2的第一层、以及层叠在第一层上的含有ZrO2的第二层。第二层具有作为与第一层相接的区域的界面区域、及作为隔着界面区域而与第一层为相反侧的区域的表层区域，在将针对第二层的(‑211)晶面的取向程度设为第一强度、将针对第二层的(‑111)晶面的取向程度设为第二强度、将针对第二层的(002)晶面的取向程度设为第三强度时，界面区域可以具有第一强度大于第二强度、且第一强度大于第三强度的区域。表层区域可以具有第一强度大于第三强度、且第二强度大于第三强度的区域。
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公开(公告)号：CN112993145A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011338648.1
申请日：2020-11-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/22 , H01L41/29 , H01L41/314
Abstract: 本发明提供一种金属氧化物层难以剥离的压电致动器的制造方法。该压电致动器的制造方法包括形成振动板的工序、在所述振动板上形成第一电极的工序、在所述第一电极上形成压电体层的工序、在所述压电体层上形成第二电极的工序，形成所述振动板的工序具有单一层形成工序，该单一层形成工序包括利用气相法来形成包含锆的金属层的工序和烧成所述金属层而形成金属氧化物层的工序，重复所述单一层形成工序，来形成层压所述金属氧化物层而成的所述振动板，所述金属氧化物层的厚度小于200nm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107949480A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201680050676.9
申请日：2016-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/319
Abstract: 提供了一种压电装置，包括：基板(10)，所述基板上设置有多个凹部(12)；振动板(50)，其设置在所述基板的一个表面侧；和压电元件(300)，其设置在所述振动板(50)上方，并且在所述压电元件上自基板(10)侧层叠有第一电极(60)、压电层(70)以及第二电极(80)，其中所述第一电极(60)形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部(12)的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向上的尺寸小，并且所述压电层(70)延伸到所述第一电极(60)的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层(70)具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部(12)在所述并排设置方向上的宽度小，所述振动板(50)含有氧化锆层(52)，并且当氧化锆层(52)的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域(p)，氧化锆层(52)的与所述压电层(70)设置在所述第一区域(p)的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域(q)，并且氧化锆层(52)的与在所述第二区域(q)的所述并排设置方向的外侧的凹部(12)相对应的区域被设定为第三区域(r)时，所述氧化锆层(52)在所述第一区域(p)中在厚度方向的至少第一电极(60)侧含有粒状晶体，并且在所述第三区域(r)中含有柱状晶体。
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公开(公告)号：CN102222762A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201110077424.4
申请日：2011-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/08 , H01L41/22 , B41J2/045 , B41J2/135
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2202/11 , H01L41/0478 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/332
Abstract: 本发明涉及压电元件及其制造方法、压电致动器、液体喷射头。该压电元件具有由第一电极和第二电极夹持的压电体层，第一电极包括：第一导电层，其具有在压电体层侧的第一面；和第二导电层，其被形成于第一面上，并具有在第一面侧的第二面，在自第一面的法线方向观察，将由相互重叠的第一电极、压电体层和第二电极所构成的部分作为驱动部时，第二导电层的至少一部分，被配置于比驱动部内的第一面的外周边靠内侧，第二面的面积比驱动部内的第一面的面积小，第二导电层以镍酸镧为主要成分。从而，提供了具有高可靠性的压电元件、压电致动器，液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件的制造方法等。
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公开(公告)号：CN114312025A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111119746.0
申请日：2021-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种能够在液体喷出头中提高振动板的强度并且减少或防止因压电元件的驱动而使振动板破裂的不良情况的液体喷出头、液体喷出装置以及致动器。液体喷出头具备压电元件和振动板，该振动板通过压电元件的驱动而进行振动，且包含含有SiO2的第一层、以及被层叠在第一层上的含有ZrO2的第二层。第二层包含与Zr不同的第一杂质元素，第二层中的与第一层相接的界面中的第一杂质元素的浓度高于第二层中的从界面起到第二层的表面为止所包含的内部区域中的第一杂质元素的浓度。
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公开(公告)号：CN107310272B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201710261261.2
申请日：2017-04-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/04
Abstract: 本发明提供一种MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。该MEMS器件的特征在于，具备：第一基板，其具备驱动区域，并在该驱动区域内依次层压有第一电极层、电介质层以及第二电极层；和第二基板，其以与所述第一基板的层压有所述电介质层的面对置的方式而被配置，所述第一电极层及所述电介质层朝向从所述驱动区域偏离出的非驱动区域而延伸至与所述第二电极层相比靠外侧，具有弹性的第一树脂被形成在所述电介质层的延伸方向上的包括所述第二电极层的端缘在内的区域内，所述第一基板和所述第二基板在夹着发生了弹性变形的所述第一树脂的状态下，通过粘合剂而被固定。
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公开(公告)号：CN107310272A
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201710261261.2
申请日：2017-04-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/04
Abstract: 本发明提供一种MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。该MEMS器件的特征在于，具备：第一基板，其具备驱动区域，并在该驱动区域内依次层压有第一电极层、电介质层以及第二电极层；和第二基板，其以与所述第一基板的层压有所述电介质层的面对置的方式而被配置，所述第一电极层及所述电介质层朝向从所述驱动区域偏离出的非驱动区域而延伸至与所述第二电极层相比靠外侧，具有弹性的第一树脂被形成在所述电介质层的延伸方向上的包括所述第二电极层的端缘在内的区域内，所述第一基板和所述第二基板在夹着发生了弹性变形的所述第一树脂的状态下，通过粘合剂而被固定。
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