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公开(公告)号：CN114312025A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111119746.0
申请日：2021-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种能够在液体喷出头中提高振动板的强度并且减少或防止因压电元件的驱动而使振动板破裂的不良情况的液体喷出头、液体喷出装置以及致动器。液体喷出头具备压电元件和振动板，该振动板通过压电元件的驱动而进行振动，且包含含有SiO2的第一层、以及被层叠在第一层上的含有ZrO2的第二层。第二层包含与Zr不同的第一杂质元素，第二层中的与第一层相接的界面中的第一杂质元素的浓度高于第二层中的从界面起到第二层的表面为止所包含的内部区域中的第一杂质元素的浓度。
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公开(公告)号：CN1684260A
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN200510064346.9
申请日：2005-04-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了金属薄膜及其制造方法、电介质电容器及其制造方法、以及半导体装置。本发明的金属薄膜是具有设置于给定基体上方的面心立方型结晶结构的金属薄膜，所述薄膜(111)面优先定向，并且在其表面呈现出不与所述基体表面平行的(100)面。此外，在本发明的金属薄膜中，具有所述面心立方型结晶结构的金属包括从Pt、Ir及Ru的组中选出的至少一个。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113696624A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110533928.6
申请日：2021-05-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种减少振动板的损伤的液体喷出头以及液体喷出装置。所述液体喷出头具有：压电体；振动板，其通过压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其设置有通过振动板的振动而向液体施加压力的压力室，压力室基板、振动板以及压电体按照该顺序被层压，振动板具有：第一层,其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电体之间，且作为构成元素而包含铬、钛以及铝中的任意一种金属元素；第三层，其被配置在第二层与压电体之间，且作为构成元素而包含锆。
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公开(公告)号：CN100388497C
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200510064346.9
申请日：2005-04-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了金属薄膜及其制造方法、电介质电容器及其制造方法、以及半导体装置。本发明的金属薄膜是具有设置于给定基体上方的面心立方型结晶结构的金属薄膜，所述薄膜(111)面优先定向，并且在其表面呈现出不与所述基体表面平行的(100)面，所述金属薄膜的表面的算术平均粗糙度(Ra)大于等于1.5nm、并小于等于5nm。此外，在本发明的金属薄膜中，具有所述面心立方型结晶结构的金属包括从Pt、Ir及Ru的组中选出的至少一个。
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公开(公告)号：CN113696624B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202110533928.6
申请日：2021-05-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种减少振动板的损伤的液体喷出头以及液体喷出装置。所述液体喷出头具有：压电体；振动板，其通过压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其设置有通过振动板的振动而向液体施加压力的压力室，压力室基板、振动板以及压电体按照该顺序被层压，振动板具有：第一层,其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电体之间，且作为构成元素而包含铬、钛以及铝中的任意一种金属元素；第三层，其被配置在第二层与压电体之间，且作为构成元素而包含锆。
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公开(公告)号：CN115139650A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210305385.7
申请日：2022-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种对水分向振动板内部的侵入进行抑制并对出现振动板的层间剥离或裂纹等损伤的情况进行抑制的压电装置以及液体喷射头。压电装置具备：基板，其具有凹部；振动板；压电致动器，振动板具有：第一层，其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电致动器之间，且作为构成元素而包含选自铬、钛、铝、钽、铪以及铱中的至少一种金属元素和氮化硅中的任意一方或者两方；第三层，其被配置在第二层与压电致动器之间，且作为构成元素而包含锆，在第三层的压电致动器侧具有第四层，第四层作为构成元素而包含选自铬、钛、铝、钽、铪以及铱中的至少一种金属元素和氮化硅中的任意一方或者两方。
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公开(公告)号：CN115139649A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210305324.0
申请日：2022-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种抑制了水分的向振动板内部的侵入，并抑制了产生振动板的层间剥离或裂纹等损伤的情况的压电装置。该压电装置具备：基板(12)，其具有凹部(12)；振动板(50)；压电致动器(300)，所述振动板(50)具有：第一层(51)，其作为结构元素而包含硅；第三层(53)，其被配置于所述第一层(51)和所述压电致动器(300)之间，并且作为结构元素而包含锆，所述第一层(51)和所述第三层(53)的层叠侧面覆盖有包含从由氧化物、氮化物、金属以及类金刚石碳构成的组中选择的至少一种的耐湿保护膜(210)。
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