公开(公告)号：CN114312025A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111119746.0

申请日：2021-09-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古池晴信 ,  沢崎立雄 ,  中山雅夫 ,  西智寻 ,  清水稔弘 ,  山崎泰志

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种能够在液体喷出头中提高振动板的强度并且减少或防止因压电元件的驱动而使振动板破裂的不良情况的液体喷出头、液体喷出装置以及致动器。液体喷出头具备压电元件和振动板，该振动板通过压电元件的驱动而进行振动，且包含含有SiO2的第一层、以及被层叠在第一层上的含有ZrO2的第二层。第二层包含与Zr不同的第一杂质元素，第二层中的与第一层相接的界面中的第一杂质元素的浓度高于第二层中的从界面起到第二层的表面为止所包含的内部区域中的第一杂质元素的浓度。

公开(公告)号：CN113696624A

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202110533928.6

申请日：2021-05-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 清水稔弘 ,  古池晴信 ,  四十物孝宪 ,  中山雅夫 ,  沢崎立雄 ,  西智寻 ,  望月慎高 ,  山崎泰志 ,  外村修

IPC: B41J2/01 ,  B41J2/045 ,  B41J2/16

Abstract: 本发明提供一种减少振动板的损伤的液体喷出头以及液体喷出装置。所述液体喷出头具有：压电体；振动板，其通过压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其设置有通过振动板的振动而向液体施加压力的压力室，压力室基板、振动板以及压电体按照该顺序被层压，振动板具有：第一层,其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电体之间，且作为构成元素而包含铬、钛以及铝中的任意一种金属元素；第三层，其被配置在第二层与压电体之间，且作为构成元素而包含锆。

公开(公告)号：CN113696624B

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202110533928.6

申请日：2021-05-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 清水稔弘 ,  古池晴信 ,  四十物孝宪 ,  中山雅夫 ,  沢崎立雄 ,  西智寻 ,  望月慎高 ,  山崎泰志 ,  外村修

IPC: B41J2/01 ,  B41J2/045 ,  B41J2/16

Abstract: 本发明提供一种减少振动板的损伤的液体喷出头以及液体喷出装置。所述液体喷出头具有：压电体；振动板，其通过压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其设置有通过振动板的振动而向液体施加压力的压力室，压力室基板、振动板以及压电体按照该顺序被层压，振动板具有：第一层,其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电体之间，且作为构成元素而包含铬、钛以及铝中的任意一种金属元素；第三层，其被配置在第二层与压电体之间，且作为构成元素而包含锆。

公开(公告)号：CN115139650A

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202210305385.7

申请日：2022-03-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古池晴信 ,  中山雅夫 ,  清水稔弘 ,  山崎泰志 ,  外村修 ,  沢崎立雄 ,  西智寻

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种对水分向振动板内部的侵入进行抑制并对出现振动板的层间剥离或裂纹等损伤的情况进行抑制的压电装置以及液体喷射头。压电装置具备：基板，其具有凹部；振动板；压电致动器，振动板具有：第一层，其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电致动器之间，且作为构成元素而包含选自铬、钛、铝、钽、铪以及铱中的至少一种金属元素和氮化硅中的任意一方或者两方；第三层，其被配置在第二层与压电致动器之间，且作为构成元素而包含锆，在第三层的压电致动器侧具有第四层，第四层作为构成元素而包含选自铬、钛、铝、钽、铪以及铱中的至少一种金属元素和氮化硅中的任意一方或者两方。