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公开(公告)号：CN114312025A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111119746.0
申请日：2021-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种能够在液体喷出头中提高振动板的强度并且减少或防止因压电元件的驱动而使振动板破裂的不良情况的液体喷出头、液体喷出装置以及致动器。液体喷出头具备压电元件和振动板，该振动板通过压电元件的驱动而进行振动，且包含含有SiO2的第一层、以及被层叠在第一层上的含有ZrO2的第二层。第二层包含与Zr不同的第一杂质元素，第二层中的与第一层相接的界面中的第一杂质元素的浓度高于第二层中的从界面起到第二层的表面为止所包含的内部区域中的第一杂质元素的浓度。
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公开(公告)号：CN118494020A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410175482.8
申请日：2024-02-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种即使反复驱动也抑制了液体喷射特性发生劣化的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备：基板，其形成有多个与喷射液体的喷嘴连通的压力室；振动板，其被设置在基板的一面侧；压电致动器，其具有从振动板侧起在第一方向上层叠的第一电极、压电体层以及第二电极，在将压电致动器中的沿第一方向观察时与压力室重叠并且第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分设为活性部，将压电致动器中的沿第一方向观察时与压力室重叠并且第一电极、压电体层以及第二电极不重叠的部分设为非活性部时，压电体层在活性部与非活性部之间连续地设置，非活性部中形成压电体层的压电体的结晶粒径大于活性部中形成压电体层的压电体的结晶粒径。
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公开(公告)号：CN113352755A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110225747.7
申请日：2021-03-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够在高湿度的环境下对漏电流的增加进行抑制的液体喷出头。记录头(3)具备：压力室(22)；压电致动器，其使压力室(22)的容积发生变化，压电致动器具备：振动板(21)，其构成压力室(22)的一个壁面；下电极(30)，其被形成在振动板(21)上；压电体(31)，其被形成在下电极(30)上；上电极(32)，其被形成在压电体(31)以及振动板(21)上，在从与振动板(21)正交的±Z方向进行观察时，下电极(30)以及压电体(31)与压力室(22)的中心部(22c)不重叠，在从±Z方向进行观察时，下电极(30)、压电体(31)以及上电极(32)与压力室(22)的端部(22w)重叠，在从±Z方向进行观察时，上电极(32)与压力室(22)的中心部(22c)重叠。
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公开(公告)号：CN113352755B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202110225747.7
申请日：2021-03-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够在高湿度的环境下对漏电流的增加进行抑制的液体喷出头。记录头(3)具备：压力室(22)；压电致动器，其使压力室(22)的容积发生变化，压电致动器具备：振动板(21)，其构成压力室(22)的一个壁面；下电极(30)，其被形成在振动板(21)上；压电体(31)，其被形成在下电极(30)上；上电极(32)，其被形成在压电体(31)以及振动板(21)上，在从与振动板(21)正交的±Z方向进行观察时，下电极(30)以及压电体(31)与压力室(22)的中心部(22c)不重叠，在从±Z方向进行观察时，下电极(30)、压电体(31)以及上电极(32)与压力室(22)的端部(22w)重叠，在从±Z方向进行观察时，上电极(32)与压力室(22)的中心部(22c)重叠。
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公开(公告)号：CN114312026A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111120080.0
申请日：2021-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种液体喷出头、液体喷出装置、以及致动器。其能够提高绝缘体膜的界面的强度并提高振动板的强度。液体喷出头具备压电元件和振动板，振动板通过压电元件的驱动而进行振动，且包含含有SiO2的第一层、以及层叠在第一层上的含有ZrO2的第二层。第二层具有作为与第一层相接的区域的界面区域、及作为隔着界面区域而与第一层为相反侧的区域的表层区域，在将针对第二层的(‑211)晶面的取向程度设为第一强度、将针对第二层的(‑111)晶面的取向程度设为第二强度、将针对第二层的(002)晶面的取向程度设为第三强度时，界面区域可以具有第一强度大于第二强度、且第一强度大于第三强度的区域。表层区域可以具有第一强度大于第三强度、且第二强度大于第三强度的区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112993145A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011338648.1
申请日：2020-11-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/22 , H01L41/29 , H01L41/314
Abstract: 本发明提供一种金属氧化物层难以剥离的压电致动器的制造方法。该压电致动器的制造方法包括形成振动板的工序、在所述振动板上形成第一电极的工序、在所述第一电极上形成压电体层的工序、在所述压电体层上形成第二电极的工序，形成所述振动板的工序具有单一层形成工序，该单一层形成工序包括利用气相法来形成包含锆的金属层的工序和烧成所述金属层而形成金属氧化物层的工序，重复所述单一层形成工序，来形成层压所述金属氧化物层而成的所述振动板，所述金属氧化物层的厚度小于200nm。
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公开(公告)号：CN112440561B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202010870585.8
申请日：2020-08-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种对在振动板上产生裂纹的情况进行抑制从而提高可靠性的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备形成有压力室(12)的流道形成基板(10)、振动板(50)和压电致动器(300)，压电致动器(300)具备通过第一电极(60)和第二电极(80)而夹持着压电体层(70)的能动部(310)，能动部(310)在俯视观察时与压力室(12)的至少一部分重叠，且被延伸设置至与压力室(12)相比靠外侧，压力室(12)被形成为，与流道形成基板(10)和振动板(50)的层压方向相交叉的方向上的宽度随着在层压方向上越接近压电致动器(300)而变得越窄。
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公开(公告)号：CN113696624A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110533928.6
申请日：2021-05-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种减少振动板的损伤的液体喷出头以及液体喷出装置。所述液体喷出头具有：压电体；振动板，其通过压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其设置有通过振动板的振动而向液体施加压力的压力室，压力室基板、振动板以及压电体按照该顺序被层压，振动板具有：第一层,其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电体之间，且作为构成元素而包含铬、钛以及铝中的任意一种金属元素；第三层，其被配置在第二层与压电体之间，且作为构成元素而包含锆。
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公开(公告)号：CN113696624B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202110533928.6
申请日：2021-05-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种减少振动板的损伤的液体喷出头以及液体喷出装置。所述液体喷出头具有：压电体；振动板，其通过压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其设置有通过振动板的振动而向液体施加压力的压力室，压力室基板、振动板以及压电体按照该顺序被层压，振动板具有：第一层,其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电体之间，且作为构成元素而包含铬、钛以及铝中的任意一种金属元素；第三层，其被配置在第二层与压电体之间，且作为构成元素而包含锆。
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公开(公告)号：CN117124732A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310582136.7
申请日：2023-05-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种能够在振动板的腕部处维持振动板的可靠性且抑制振动效率的降低的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。振动板包括：第一层，其包含硅以作为构成元素；第二层，其包含锆以外的金属元素以作为构成元素；第三层，其包含锆以作为构成元素，在将振动板中的在沿第一方向观察时与压力室重叠且与第一电极、压电体层以及第二电极重叠的区域设为有源区域，将振动板中的在沿第一方向观察时与压力室重叠且与第一电极、压电体层以及第二电极不重叠的区域设为无源区域时，振动板在有源区域中具有第一层、第二层和第三层，在无源区域的至少一部分中具有第一层和第二层且不具有第三层。
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