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公开(公告)号：CN103240994A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310042767.6
申请日：2013-01-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/045 , B41J2/14201 , B41J2/14274 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2002/14491 , H01L41/0471 , H01L41/0805
Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置，其防止压电体层中的裂纹等不良的产生。所述液体喷射头具备：基板，其形成有与喷嘴开口连通的压力产生室；压电元件，其具有压电体层、第一电极以及第二电极，其中，所述第一电极在所述压电体层的所述基板侧以与所述压力产生室相对应的方式而形成，所述第二电极在所述压电体层的、形成有第一电极的一侧的相反侧以遍及多个所述压力产生室的方式而形成，所述第二电极以在所述压力产生室的长度方向上延伸至所述压力产生室的外侧的方式而形成。
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公开(公告)号：CN114312025A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111119746.0
申请日：2021-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种能够在液体喷出头中提高振动板的强度并且减少或防止因压电元件的驱动而使振动板破裂的不良情况的液体喷出头、液体喷出装置以及致动器。液体喷出头具备压电元件和振动板，该振动板通过压电元件的驱动而进行振动，且包含含有SiO2的第一层、以及被层叠在第一层上的含有ZrO2的第二层。第二层包含与Zr不同的第一杂质元素，第二层中的与第一层相接的界面中的第一杂质元素的浓度高于第二层中的从界面起到第二层的表面为止所包含的内部区域中的第一杂质元素的浓度。
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公开(公告)号：CN103240994B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310042767.6
申请日：2013-01-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/045 , B41J2/14201 , B41J2/14274 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2002/14491 , H01L41/0471 , H01L41/0805
Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置，其防止压电体层中的裂纹等不良的产生。所述液体喷射头具备：基板，其形成有与喷嘴开口连通的压力产生室；压电元件，其具有压电体层、第一电极以及第二电极，其中，所述第一电极在所述压电体层的所述基板侧以与所述压力产生室相对应的方式而形成，所述第二电极在所述压电体层的、形成有第一电极的一侧的相反侧以遍及多个所述压力产生室的方式而形成，所述第二电极以在所述压力产生室的长度方向上延伸至所述压力产生室的外侧的方式而形成。
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公开(公告)号：CN104044346A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410088461.9
申请日：2014-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/047 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14491 , H01L41/0477 , H01L41/0805 , H01L41/081 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种能够抑制压电体层封入损坏的液体喷射头及液体喷射装置、压电元件及其制造方法。其具备：流道形成基板（10）和压电元件（300），该流道形成基板（10）具有连通于喷嘴开口的压力产生室，该压电元件（300）具有设于该流道形成基板的一侧的第一电极（60）、含有铅、钛、锆的压电体层（70）以及第二电极80，所述第二电极具备设于所述压电体层侧的第一层（81）和设在该第一层的与所述压电体层的相反侧的第二层（82）；其中，在所述第二电极的与所述压电体层相反侧设有由包含于所述压电体层中的铅聚集而成的多个凸部。
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公开(公告)号：CN119459134A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411063786.1
申请日：2024-08-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供液体喷出头及液体喷出装置。液体喷出头具有第一电极、第二电极、通过基准电压与驱动电压的电压差驱动的压电体、相应于压电体的驱动而振动的振动板、通过振动板的振动喷出液体的喷嘴，设向第一电极施加第一基准电压、向第二电极施加第一驱动电压时的振动板的位移量为第一位移量，向第一电极施加第二基准电压、向第二电极施加第二驱动电压时的振动板的位移量为第二位移量时，第一驱动电压的最大值和最小值的差等于第二驱动电压的最大值和最小值的差，第一驱动电压的最小值和第一基准电压的差对应于压电体的矫顽电场，第二驱动电压的最小值和第二基准电压的差比第一驱动电压的最小值和第一基准电压的差接近0，第二位移量大于第一位移量的90％。
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公开(公告)号：CN112440561B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202010870585.8
申请日：2020-08-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种对在振动板上产生裂纹的情况进行抑制从而提高可靠性的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备形成有压力室(12)的流道形成基板(10)、振动板(50)和压电致动器(300)，压电致动器(300)具备通过第一电极(60)和第二电极(80)而夹持着压电体层(70)的能动部(310)，能动部(310)在俯视观察时与压力室(12)的至少一部分重叠，且被延伸设置至与压力室(12)相比靠外侧，压力室(12)被形成为，与流道形成基板(10)和振动板(50)的层压方向相交叉的方向上的宽度随着在层压方向上越接近压电致动器(300)而变得越窄。
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公开(公告)号：CN113696632A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110538520.8
申请日：2021-05-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供提高压电元件的响应性的压电元件、液体喷出头及液体喷出装置。压电元件具有第一电极；第二电极；压电体，其被配置在第一电极与第二电极间，在将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极之间的正电压设为饱和正电压、且将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极间的负电压设为饱和负电压时，在使被施加于第一电极与第二电极间的电压从饱和负电压逐渐变化至饱和正电压的情况下，基于压电体中所产生的电荷的电流依次经由随着该电压升高而电流变大的第一路径、随着该电压升高而电流变小的第二路径、随着该电压升高而电流变大的第三路径、随着该电压升高而电流变小的第四路径而变化。
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公开(公告)号：CN113696624A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110533928.6
申请日：2021-05-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种减少振动板的损伤的液体喷出头以及液体喷出装置。所述液体喷出头具有：压电体；振动板，其通过压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其设置有通过振动板的振动而向液体施加压力的压力室，压力室基板、振动板以及压电体按照该顺序被层压，振动板具有：第一层,其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电体之间，且作为构成元素而包含铬、钛以及铝中的任意一种金属元素；第三层，其被配置在第二层与压电体之间，且作为构成元素而包含锆。
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公开(公告)号：CN113696624B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202110533928.6
申请日：2021-05-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种减少振动板的损伤的液体喷出头以及液体喷出装置。所述液体喷出头具有：压电体；振动板，其通过压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其设置有通过振动板的振动而向液体施加压力的压力室，压力室基板、振动板以及压电体按照该顺序被层压，振动板具有：第一层,其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电体之间，且作为构成元素而包含铬、钛以及铝中的任意一种金属元素；第三层，其被配置在第二层与压电体之间，且作为构成元素而包含锆。
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公开(公告)号：CN116390627A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202211655936.9
申请日：2022-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本申请提供压电基板、压电元件及液体喷出头。该压电基板能够得到即便是在大气气氛中也具有良好的压电特性的压电元件。一种压电基板，包括：基板；第一电极，形成在所述基板上；以及压电体层，形成在所述第一电极上，并包含钾、钠和铌，针对所述压电体层的表面从垂直方向倾斜54.74°照射X射线的X射线衍射测定的Psi轴方向的扫描结果中的所述压电体层的(100)面的X射线强度峰的半宽度为大于0°且在1.2°以下。
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