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公开(公告)号：CN119483517A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411610203.2
申请日：2024-11-12
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种射频电源电路、射频电源电路系统及射频电源，属于射频电源电路设计技术领域，包括驱动电路，驱动电路包括输入端和至少2个宽带功率放大器，输入端与相邻的宽带功率放大器之间，以及任意相邻的两个宽带功率放大器之间均设置有对应的π衰电路，π衰电路包括三个电阻，其中两个电阻的第二端均接地且第一端分别与第三个电阻的第一端和第二端连接。本发明的射频电源电路能够有效抑制驱动电路的自激震荡，由此稳定了射频电源的静态电流并改善了射频电源的增益平坦度，达到提高射频电源稳定性的效果。
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公开(公告)号：CN119293887A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411800778.0
申请日：2024-12-09
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于等离子源技术领域，公开了一种远程等离子源变截面石英管结构优化设计方法及相关设备，通过对微波远程等离子源进行二维建模、网格划分、设置材料参数和物理场、仿真模拟以及优化求解，实现了对石英管内表面形状的精确优化设计，解决了传统圆柱形石英管无法精细调控等离子体流动和分布的问题，具有提高电子密度分布均匀性、提高等离子体出口通量和提高功率利用率的优点；而且通过仿真分析进行优化设计，与采用实物试验的方式相比设计周期更短、设计成本更低。
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公开(公告)号：CN119199252A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411541043.0
申请日：2024-10-31
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于检测信号功率的技术领域，公开了一种高频信号功率检测方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：获取高频信号的电压信号数字量和电流信号数字量，利用多周期有效值的分段积分法，计算得到电压有效值、电流有效值和合成信号有效值，通过预设的三角形求内角公式，计算得到相位差信息，基于预设的实际电压计算公式和预设的实际电流计算公式，计算得到实际电压和实际电流，根据预设的高频信号功率计算公式，计算得到高频信号功率；通过多周期有效值的分段积分法、三角形求内角公式、实际电压计算公式、实际电流计算公式和高频信号功率计算公式，对高频信号进行功率检测，提高了高频信号的功率检测效率。
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公开(公告)号：CN114354994B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202210044159.8
申请日：2022-01-14
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及微波电源保护领域，具体为一种微波电源测试平台的水冷保护结构，包括冷水机和微波电源测试平台，冷水机通过水管连接形成主水路；每一个微波电源测试平台包括一台微波电源且根据对应的微波电源的输出功率安装有独立的冷却水保护系统；冷却水保护系统用于确保各个微波电源测试平台能够单独从主水路中获取冷却水；每一微波电源出水口与冷水机第一进水口之间设置有第一测量计；第一测量计用于测量冷却水的流量和温度。本发明通过对各个微波电源测试平台设置能够从主水路中独立取水的冷却水保护系统，同时监测冷却水回流的情况，有利于确保测试过程的安全性，同时提高测试平台的稳定性。
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公开(公告)号：CN111884607B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202010597111.0
申请日：2020-06-28
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开全桥D类放大电路、级联功率模块及大功率射频电源。该全桥D类放大电路包括：左侧半桥，包括左上MOS管和左下MOS管，其具有居中点，其两端分别与电源节点和地节点耦合；右侧半桥，包括右上MOS管和右下MOS管，其具有居中点，其两端分别与电源节点和地节点耦合；变压器，所述变压器的原边的两端分别耦合于所述左侧半桥的居中点和右侧半桥的居中点。该电路使得从电源节点与地节点之间引入的电能被转换为方波电压波形后经变压器的副边输出，其中，所述方波电压波形具有预先设定的射频频率。该全桥D类放大电路的反向电压低，效率高，可靠性高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111190486B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201911379932.0
申请日：2019-12-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明提供了一种基于眼睛控制的分区显示方法及装置。其中方法包括步骤：A.通过识别用户瞳孔位置以对用户视线落在屏幕上的位置进行定位；B.以上述定位的位置为中心，按照预设的规则对屏幕划定高清区域；C.显示图像时，其它区域的图像分辨率低于所述高清区域的图像分辨率。装置包括定位模块、分区模块、输出模块。该方法及装置可实现在人眼关注的地方清晰显示，在人眼不关注的地方模糊显示，从而提高图像处理速度。
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公开(公告)号：CN116153744A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202211576985.3
申请日：2022-12-08
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明提出一种磁控管激励腔，涉及微波设备，所述磁控管激励腔包括波导管及金属环，所述波导管上具有天线孔；所述金属环包括固定部以及连接部；所述固定部呈环状设置，所述固定部的顶部边缘向外弯折形成有翻边，所述固定部的底部插设于所述天线孔中，所述翻边抵接在所述天线孔的边缘；所述连接部设置在所述翻边的顶部并朝顶部一侧凸起，以使所述连接部与所述翻边之间形成夹角。本发明技术方案在所述波导管的天线孔上安装所述金属环，通过对所述金属环的结构进行调整，使所述金属环的顶部向上凸起，从而在安装天线后，保证所述金属环与天线边缘的铜网有效连接，避免出现高频打火的情况。
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公开(公告)号：CN115239712B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211152005.7
申请日：2022-09-21
Applicant: 季华实验室
IPC: G06T7/00 , G06N3/04 , G06V10/764 , G06V10/774 , G06V10/82
Abstract: 本申请属于图像识别技术领域，公开了一种电路板表面缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质，获取待检测的电路板图像；把所述电路板图像输入预先训练好的CNN‑Transformer融合模型，得到所述CNN‑Transformer融合模型输出的缺陷识别结果；由于CNN‑Transformer融合模型兼顾了模型性能和推理速度，且不增加额外的时间复杂度和空间复杂度，从而识别结果准确率较高且检测效率较高。
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公开(公告)号：CN115020180A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210647899.0
申请日：2022-06-09
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质，用于匹配反应腔室中的阻抗，所述一种自动阻抗匹配方法包括以下步骤：获取所述等离子体的阻抗信息；获取所述等离子体的阻抗标准表，所述阻抗标准表包括多个根据所述等离子体阻抗变化情况划分的工作状态区间，所述阻抗标准表为根据所述等离子体的在前活化过程生成；根据所述阻抗标准表及所述阻抗信息获取所述等离子体的当前工作状态；根据所述当前工作状态调节阻抗匹配箱的阻抗以进行阻抗匹配，本申请通过先采集后匹配的方法，实现阻抗的自适应快速匹配，同时该自适应匹配方法可适用于多个平台。
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公开(公告)号：CN114720048B
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210648150.8
申请日：2022-06-09
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及半导体领域，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计及NEG薄膜制备方法，一种电容薄膜真空计包括：壳体，具有一容置腔；电容膜片，将容置腔分隔为测量室和参考腔；连接口，与测量室连通；固定电极，设在参考腔中并与电容膜片平行，形成电容器；还包括：NEG薄膜，NEG薄膜镀在参考腔的内壁，用于吸收参考腔内部的残余气体。通过在参考腔的内壁镀一层NEG薄膜，提高NEG薄膜的吸气效率，能够很好地保持参考腔的真空度，从而提高电容薄膜真空计的测量精度。通过NEG薄膜制备方法对参考腔的内壁进行NEG薄膜镀膜，从而获得镀有NEG薄膜的参考腔。
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