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公开(公告)号：CN119355571B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411939683.7
申请日：2024-12-26
Applicant: 季华实验室
IPC: G01R31/40
Abstract: 本发明提供了一种射频电源测试系统、射频电源性能优化方法及相关设备，涉及射频电源测试技术领域。包括射频电源和测试装置，测试装置与射频电源连接且包括移相电路和可变负载电路，测试装置用于通过移相电路调整相位以及通过可变负载电路调整负载阻抗以此模拟变化的负载。本发明的射频电源测试系统解决传统射频电源负载测试设备缺少针对射频电源负载等驻波圆上不同相位变化的测试的问题，达到便于用户调整测试参数、有利于优化射频电源性能的效果。
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公开(公告)号：CN117665382B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410136451.1
申请日：2024-01-31
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请提供了一种功率检测电路及功率检测PCB板，涉及功率检测技术领域。本申请通过寄生电容和第一电容进行电容分压得到采样电压信号，根据电流互感器二次侧的感应电流及采样电阻电路得到采样电流信号，从而可以实现采样电压信号和采样电流信号几乎无畸变，且采样电压信号和采样电流信号之间的干扰小，具有很好的独立性，随着功率的变化，采样电流信号和采样电压信号均具有良好的线性度，从而提高功率检测的精准度和可靠性。
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公开(公告)号：CN117459012B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311776504.8
申请日：2023-12-22
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及微电子技术领域，具体而言，涉及一种阻抗匹配控制方法及相关设备，通过实时获取射频电源在当前时刻的输出电压信号和输出电流信号，即可计算倒L型匹配器在当前时刻的输入等效阻抗，并根据离化腔室的阻抗和所述射频电源的内阻进行计算，以获取最佳的射频电源的目标输出频率，并得到该目标输出频率对应的第一可调电容的目标电容值和第二可调电容的目标电容值，使得第一可调电容和第二可调电容的调节量最小，对第一可调电容和第二可调电容进行调节的同时对射频电源的输出频率进行调节，以使倒L型匹配器在调节后的输入等效阻抗与射频电源的输出阻抗相匹配，从而减少电机转动的角度，有效节约电机调节的时间，达到快速匹配的目的。
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公开(公告)号：CN117316606B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311602754.X
申请日：2023-11-28
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明提供了一种高精度射频空心电感及其制备方法，涉及空心电感设计技术领域。该高精度射频空心电感包括固定支架和导线，固定支架包括至少四个沿固定支架的径向方向凸出且沿固定支架的轴向方向延伸的支撑部；每个支撑部设置有第一V形凹槽；导线的周面紧贴在第一V形凹槽宽度方向的两侧槽面上，且导线沿第一V形凹槽的延伸方向绕制成电感线圈以使电感线圈套设在固定支架上。本发明的高精度射频空心电感利用至少四个支撑部从更多方向固定电感线圈的匝间距，以此避免电感线圈因局部形变而导致电感量的精度下降，有利于确保成品能被用于大功率射频电源阻抗匹配电路中。
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公开(公告)号：CN117316606A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311602754.X
申请日：2023-11-28
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明提供了一种高精度射频空心电感及其制备方法，涉及空心电感设计技术领域。该高精度射频空心电感包括固定支架和导线，固定支架包括至少四个沿固定支架的径向方向凸出且沿固定支架的轴向方向延伸的支撑部；每个支撑部设置有第一V形凹槽；导线的周面紧贴在第一V形凹槽宽度方向的两侧槽面上，且导线沿第一V形凹槽的延伸方向绕制成电感线圈以使电感线圈套设在固定支架上。本发明的高精度射频空心电感利用至少四个支撑部从更多方向固定电感线圈的匝间距，以此避免电感线圈因局部形变而导致电感量的精度下降，有利于确保成品能被用于大功率射频电源阻抗匹配电路中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114123734B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202210093322.X
申请日：2022-01-26
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及无线能量传输领域，公开了一种基于移相全桥拓扑的栅极控制电路，包括:移相输出模块和固定输出模块，所述移相输出模块包括移相比较模块、时延模块和占空比调节模块；所述移相比较模块的输出端和所述时延模块的输出端均与所述占空比调节模块的输入端连接；所述移相比较模块用于调整标准PWM信号的占空比；所述时延模块用于调整标准PWM信号的延时时间；所述占空比调节模块用于将被调整了占空比和延时时间的PWM信号进行进一步调整，以得到具有50%占空比的PWM信号；所述固定输出模块用于输出标准PWM信号，所述移相输出模块用于输出经过移相的PWM信号；本发明具有信号传输逻辑直观、响应速度快等有益效果。
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公开(公告)号：CN117792311B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410208250.8
申请日：2024-02-26
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于电子通信技术领域，公开了一种多级合成的射频功率放大器，通过对射频信号进行驱动放大后，通过两级功分分为多路信号，然后对各路信号进行末级放大后进行两级合成，最终输出一路射频信号，可以使输出射频功率达到千瓦级；此外，由于功分电路的功分模块和合成电路的合路模块可以使输出信号的相位与输入信号的相位一致，减小信号反射，保证射频功率的有效传输，进而减小发热，能够有效避免多级合成的射频功率放大器温度过高，提高输出稳定性和控制采用的精确度。
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公开(公告)号：CN116184029B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310472152.0
申请日：2023-04-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种阻抗检测电路、方法、阻抗匹配器及匹配调节方法，其中，阻抗检测电路用于检测阻抗匹配器中负载端的相位信息和幅值信息，阻抗检测电路包括二极管相位检测电路和二极管幅值检测电路，二极管相位检测电路用于获取相位信息，二极管幅值检测电路用于获取幅值信息，在阻抗匹配过程中，实时测量相位信息输出电阻的电压以及幅值信息输出电阻的电压，当测得的相位信息和幅值信息均为0时，则表示匹配完成，该检测方式无需对阻抗进行实时测量，仅需测量相位信息输出电阻的电压以及幅值信息输出电阻的电压即可，从而降低检测难度，提高检测效率。
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公开(公告)号：CN115882806A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202310148699.5
申请日：2023-02-22
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本公开涉及一种射频电源自动阻抗匹配装置、系统以及方法，射频电源自动阻抗匹配装置包括：控制模块、至少一个检测模块和至少一个阻抗匹配模块；阻抗匹配模块用于与射频电源电连接；检测模块与阻抗匹配模块的输入端一一对应电连接；阻抗匹配模块的输出端用于与负载一一对应电连接；检测模块用于获取传输至阻抗匹配模块的电压信号和电流信号；控制模块用于根据电压信号和电流信号确定阻抗匹配模块所在支路的信号传输的反射系数，根据反射系数调节阻抗匹配模块的电容值。本公开实现了射频电源和负载之间的实时阻抗匹配，减少射频电源所发送的信号的损耗，从而实现高效的能量传输。
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公开(公告)号：CN114123734A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202210093322.X
申请日：2022-01-26
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及无线能量传输领域，公开了一种基于移相全桥拓扑的栅极控制电路，包括:移相输出模块和固定输出模块，所述移相输出模块包括移相比较模块、时延模块和占空比调节模块；所述移相比较模块的输出端和所述时延模块的输出端均与所述占空比调节模块的输入端连接；所述移相比较模块用于调整标准PWM信号的占空比；所述时延模块用于调整标准PWM信号的延时时间；所述占空比调节模块用于将被调整了占空比和延时时间的PWM信号进行进一步调整，以得到具有50%占空比的PWM信号；所述固定输出模块用于输出标准PWM信号，所述移相输出模块用于输出经过移相的PWM信号；本发明具有信号传输逻辑直观、响应速度快等有益效果。
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