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公开(公告)号：CN115955090A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202310232701.7
申请日：2023-03-13
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及磁控管的电源电路设计领域，具体公开了一种磁控管高压电源的控制电路，包括主功率模块和反馈调节模块，主功率模块设置有IGBT元件，反馈调节模块包括电流调节模块、电压调节模块和IGBT驱动模块，电流调节模块、IGBT驱动模块和主功率模块构成第一回路；电压调节模块、IGBT驱动模块和主功率模块构成第二回路；电流调节模块采集供电电流并输出电位；电压调节模块采集供电电压并输出电位；IGBT驱动模块根据电流调节模块或电压调节模块的输出电位变化控制IGBT元件的栅极脉冲频率；本发明的反馈调节过程不受通信协议影响，利用对IGBT元件栅极脉冲频率的补偿作用，实现电源稳压和稳流。
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公开(公告)号：CN116043196A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310157432.2
申请日：2023-02-23
Applicant: 季华实验室
IPC: C23C16/517 , C23C16/52
Abstract: 本申请涉及微波源技术领域，具体提供了一种工作点可调的微波源、调节方法及MPCVD设备，该微波源包括：环形器；激励波导，与环形器的第一端口连接；三销钉波导，其输出端用于连接工作负载；磁控管，设置在激励波导上；三销钉调节器，设置在三销钉波导上；波状态检测器，其两端分别与三销钉波导的输入端和环形器的第二端口连接，用于获取三销钉波导的驻波信息和相位信息；可调负载，与环形器的第三端口连接，用于部分吸收反射微波；该微波源能够通过三销钉调节器调节磁控管的工作点。
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公开(公告)号：CN114879114B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202210718451.3
申请日：2022-06-23
Applicant: 季华实验室
IPC: G01R35/00
Abstract: 本申请涉及驻波探测技术领域，具体提供了一种驻波探测校正方法、系统、电子设备及存储介质，应用在驻波探测校正系统中，驻波探测校正系统包括波导和驻波调节装置，波导上等距设置有三个第一探针，第一探针用于采集生成波导的输出电压信息，驻波调节装置用于调节波导内的驻波比，驻波探测校正方法包括以下步骤：控制驻波调节装置将驻波比调节为1：1；获取各个第一探针在驻波比为1:1时采集的参考输出电压信息；根据参考输出电压信息获取各个第一探针的校正变换信息；根据各个第一探针采集生成的实际输出电压信息、校正变换信息、当前驻波比和当前微波频率获取波导的当前驻波状态；该方法能够避免对第一探针进行频繁的校准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115020180A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210647899.0
申请日：2022-06-09
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质，用于匹配反应腔室中的阻抗，所述一种自动阻抗匹配方法包括以下步骤：获取所述等离子体的阻抗信息；获取所述等离子体的阻抗标准表，所述阻抗标准表包括多个根据所述等离子体阻抗变化情况划分的工作状态区间，所述阻抗标准表为根据所述等离子体的在前活化过程生成；根据所述阻抗标准表及所述阻抗信息获取所述等离子体的当前工作状态；根据所述当前工作状态调节阻抗匹配箱的阻抗以进行阻抗匹配，本申请通过先采集后匹配的方法，实现阻抗的自适应快速匹配，同时该自适应匹配方法可适用于多个平台。
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公开(公告)号：CN116043196B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202310157432.2
申请日：2023-02-23
Applicant: 季华实验室
IPC: C23C16/517 , C23C16/52
Abstract: 本申请涉及微波源技术领域，具体提供了一种工作点可调的微波源、调节方法及MPCVD设备，该微波源包括：环形器；激励波导，与环形器的第一端口连接；三销钉波导，其输出端用于连接工作负载；磁控管，设置在激励波导上；三销钉调节器，设置在三销钉波导上；波状态检测器，其两端分别与三销钉波导的输入端和环形器的第二端口连接，用于获取三销钉波导的驻波信息和相位信息；可调负载，与环形器的第三端口连接，用于部分吸收反射微波；该微波源能够通过三销钉调节器调节磁控管的工作点。
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公开(公告)号：CN116412971A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202310054355.8
申请日：2023-02-03
Applicant: 季华实验室
IPC: G01M3/16
Abstract: 本发明提供了一种微波发生器，所述微波发生器包括磁控管、检测组件检测组件及水冷管路，所述检测组件检测组件与所述磁控管串联形成控制电路；所述水冷管路的一端与所述磁控管连接，另一端与外部供水接头连接；所述检测组件检测组件用于检测所述水冷管路的漏水状态，并根据所述漏水状态导通或关断所述控制电路。本发明技术方案在所述水冷管路底部安装所述检测组件检测组件，以检测所述水冷管路的漏水状态，并根据漏水状态自动控制整个所述控制电路的导通与关断，从而实现漏水检测以及自动关断的目的，避免因漏水引起的安全事故。
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公开(公告)号：CN115955090B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310232701.7
申请日：2023-03-13
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及磁控管的电源电路设计领域，具体公开了一种磁控管高压电源的控制电路，包括主功率模块和反馈调节模块，主功率模块设置有IGBT元件，反馈调节模块包括电流调节模块、电压调节模块和IGBT驱动模块，电流调节模块、IGBT驱动模块和主功率模块构成第一回路；电压调节模块、IGBT驱动模块和主功率模块构成第二回路；电流调节模块采集供电电流并输出电位；电压调节模块采集供电电压并输出电位；IGBT驱动模块根据电流调节模块或电压调节模块的输出电位变化控制IGBT元件的栅极脉冲频率；本发明的反馈调节过程不受通信协议影响，利用对IGBT元件栅极脉冲频率的补偿作用，实现电源稳压和稳流。
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公开(公告)号：CN114879114A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210718451.3
申请日：2022-06-23
Applicant: 季华实验室
IPC: G01R35/00
Abstract: 本申请涉及驻波探测技术领域，具体提供了一种驻波探测校正方法、系统、电子设备及存储介质，应用在驻波探测校正系统中，驻波探测校正系统包括波导和驻波调节装置，波导上等距设置有三个第一探针，第一探针用于采集生成波导的输出电压信息，驻波调节装置用于调节波导内的驻波比，驻波探测校正方法包括以下步骤：控制驻波调节装置将驻波比调节为1：1；获取各个第一探针在驻波比为1:1时采集的参考输出电压信息；根据参考输出电压信息获取各个第一探针的校正变换信息；根据各个第一探针采集生成的实际输出电压信息、校正变换信息、当前驻波比和当前微波频率获取波导的当前驻波状态；该方法能够避免对第一探针进行频繁的校准。
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