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公开(公告)号：CN116754559A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310620461.8
申请日：2023-05-29
Applicant: 中国计量大学 , 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: G01N21/88 , G01N21/956 , G01N21/01
Abstract: 本申请提供一种半导体器件的表面缺陷检测装置，包括：底座；检测组件，安装在底座上；光源组件，安装在底座上，位于半导体器件与检测组件之间，包括朝向半导体器件设置的第一发光板，第一发光板上设有与半导体器件相对的第一通孔；第一发光板远离半导体器件的一侧设有相对的第二发光板和分光镜，分光镜在第一发光板上的正投影覆盖第一通孔，第二发光板在所述第一发光板上的正投影位于第一通孔外；分光镜与检测组件相对设置。本申请提供的半导体器件的表面缺陷检测装置，结构简单，操作简便，可以有效增强半导体器件的表面图像信息的成像质量，获得清晰度更高的表面图像信息，进而提高缺陷检测的准确性。
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公开(公告)号：CN110773005B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201911079155.8
申请日：2019-11-07
Applicant: 中国计量大学
IPC: B01D71/68 , B01D67/00 , B01D61/14 , C02F9/08 , C02F101/30
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化石墨烯量子点改性聚砜超滤膜处理废水的装置，包括废水储水池(内部嵌有第一过筛网，底部固定装有过滤芯，下端固定连接第一阀门和硅胶导水管)，另一端固定连接有恒流泵，它的出水口固定连接有流量计，其右端从左至右依次固定连接有过滤盒、(过滤盒内嵌有氧化石墨烯量子点改性聚砜超滤膜过滤槽)、混合分解室(内嵌有环形消毒液盒和、环形紫外线灯管、搅拌电机和搅拌器)、流量计、第二阀门、集水罐(内嵌有第二过筛网)，总处理器与第一阀门、恒流泵、超滤膜过滤槽、消毒液盒进/出液口阀门、混合分解室、环形紫外线灯管、第二阀门、搅拌电机和压力温度传感器连接。实现了对废水的高度净化处理。
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公开(公告)号：CN113409226A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110806645.4
申请日：2021-07-16
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明涉及一种基于优化BP神经网络的MPO表面复原系统，本系统分为硬件系统和软件系统：硬件系统应用白光干涉原理，PZT控制仪驱动载有MPO光纤连接器的工作平台从左至右以固定的步距移动，满足白光干涉条件时发生干涉，工作平台移动的同时CCD相机拍摄干涉条纹图像，储存在硬盘中。软件系统通过选取噪声数据和正确数据作为训练样本，利用特征提取函数对训练样本数据进行降维处理；采用遗传算法优化BP神经网络的权值和阈值，提高BP神经网络对噪声像素点的判别精度；使用动态高斯加权均值滤波算法对噪声像素点对应的高度值进行处理；得到工厂环境下MPO光纤连接器的3D表面复原图像。
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公开(公告)号：CN113281241A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202110689001.1
申请日：2021-06-22
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01N15/10
Abstract: 本发明公开了一种智能激光粒子计数传感器系统，其特征在于：整个智能激光粒子计数传感器系统包括光学散射部分，智能采集系统部分、通讯系统部分以及交互控制系统部分。激光通过聚光腔照射到采样气流中，气流中的微粒在被激光照射以后会发生光散射，通过光电二极管以及滤波放大电路将光信号转化为电信号脉冲；ARM芯片通过定时器外部输入时钟模式对脉冲信号进行计数，实现微粒数转换、动态采集时间设置、阈值报警、信息存储、UCL计算多种复合功能。本发明还设有多种通讯方式，可通过IIC、UART、RS485、SPI任意一种通讯接口，用规定的通讯协议与传感器进行通信并进行控制，从而接入多种嵌入式平台。
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公开(公告)号：CN113155061A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110521805.0
申请日：2021-05-13
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种基于工业物联网的智能多通道气动测量系统，由本地数据处理模块、本地数据采集模块、物联网无线通信模块、远程数据存储模块、远程数据监控终端、状态指示与扩展模块组成。在多通道气动测量设备检测机械部件的基础上实现了多台设备测量数据无线上传、远程数据监控与可视化、远程在线升级与维护以及远程选择测量通道数等功能。通过测量数据无线上传，极大地节省了人力输出成本；通过远程数据监控与可视化极大地方便了对机械部件测量数据的记录与查看，实时反映机械部件的合格情况，满足企业大规模测量数据远程在线监控的生产需求；通过远程在线升级与维护，保障了气动测量设备的正常工作，同时降低了设备对企业生产的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110773005A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911079155.8
申请日：2019-11-07
Applicant: 中国计量大学
IPC: B01D71/68 , B01D67/00 , B01D61/14 , C02F9/08 , C02F101/30
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化石墨烯量子点改性聚砜超滤膜处理废水的装置，包括废水储水池(内部嵌有第一过筛网，底部固定装有过滤芯，下端固定连接第一阀门和硅胶导水管)，另一端固定连接有恒流泵，它的出水口固定连接有流量计，其右端从左至右依次固定连接有过滤盒、(过滤盒内嵌有氧化石墨烯量子点改性聚砜超滤膜过滤槽)、混合分解室(内嵌有环形消毒液盒和、环形紫外线灯管、搅拌电机和搅拌器)、流量计、第二阀门、集水罐(内嵌有第二过筛网)，总处理器与第一阀门、恒流泵、超滤膜过滤槽、消毒液盒进/出液口阀门、混合分解室、环形紫外线灯管、第二阀门、搅拌电机和压力温度传感器连接。实现了对废水的高度净化处理。
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公开(公告)号：CN110658874A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910945749.6
申请日：2019-09-30
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了基于物联网的土豆贮藏环境远程智能监控方法，包括数据采集模块、主控器模块、通信模块；数据采集模块在土豆窖内的不同节点位置进行环境数据采集，采集的环境数据包括温度、湿度和二氧化碳浓度，数据采集模块将环境数据传输给主控器模块；主控器模块经通信模块传送至服务器数据库，以实现土豆贮藏环境的远程监控；可以通过访问服务器获得数据，了解窖中情况，这种远程智能监控方法实现了环境监测功能。并对采集数据进行了特殊的处理，使数据输出更贴合实际。且在监控基础上实现了远程调控。本发明通过物联网技术，使原有硬件与软件部分融合，形成一个有机的系统，并通过下述的环境数据处理方式，对贮藏环境做更好的监控。
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公开(公告)号：CN115953304A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211096868.7
申请日：2023-03-07
Applicant: 中国计量大学
IPC: G06T5/00 , G06N3/0475 , G06N3/045 , G06N3/094
Abstract: 本发明涉及一种基于生成对抗网络的白光干涉端面复原欠采样解决方法，包括步骤：收集白光干涉欠采样数据，使用算法判断收集的欠采样数据中的异常数据，并对异常数据进行削减，使用WGAN网络对处理过的数据进行插值处理，最终使用拟合等多种方法，找到曲线最高点，对最高点进行处理，最终可得到该像素点相对高度，最后对结果进行评分。与往常方法相比，使用WGAN网络对欠采样的干涉曲线进行预处理的方式，既能保证拟合后的相对高度在一定范围内的稳定，使得复原出来的高度矩阵在应该局部平整的地方相对平滑，也能减少滤波过程中的重复性工作。
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公开(公告)号：CN114280255A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111496509.6
申请日：2021-12-09
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01N33/18 , G01N1/38 , G05B19/042 , E03F5/10 , E03F5/14
Abstract: 本发明是一种用水污分流处理的智慧系统，涉及一种污染物浓度监测传感器以及单片机控制系统来进行污水的分流处理，属于污水预处理领域。包括分流池与取样池，分流池设置有进水口、排水口、排污口以及分流装置，分流装置设置在分流池的一端，即排水口与排污口之间；取样池设置于分流池中，且与之相互连通，取样池设置有污染物浓度监测装置、取样装置和回流装置，污染物浓度监测装置设置于取样池间，于回流装置上，分流装置前，取样装置设置于所述分流池之中，三者通过导管相互连通，皆属分流池所辖；污染物浓度监测装置可与分流装置进行通讯。可以有效解决水污分流耗资大和实施困难等问题，只需在关键分流路段设置本智能水污分流处理系统，经过实时分析的水流根据不同要求从不同排口流出，进入不同处理途径，可较为有效的实现水污分流处理，以便净水流入河流，加快水循环，同时也方便进行污水的处理，更好实现废水再利用，保护环境。
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公开(公告)号：CN113554608A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110809632.2
申请日：2021-07-16
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明的目的在于提供一种有效提高MPO表面复原精度的检测系统，本系统分为硬件系统和软件系统：硬件系统应用白光干涉原理，PZT控制仪驱动载有MPO光纤连接器的工作平台从左至右以固定的步距移动，满足白光干涉条件时发生干涉，工作平台移动的同时CCD相机拍摄干涉条纹图像，储存在硬盘中。软件系统使用MATLAB对移动硬盘的图像数据进行读取，利用GRNN神经网络方法对像素点类型进行判别，对于正常像素点：使用聚类算法找到发生白光干涉的数据峰值点，对聚类得到的数据点进行扩充，采用镜像法算法获取零光程差位置，获得正常像素点的实际高度值。对于杂质噪声点：以正常像素点的高度值替换噪声像素点的高度值，利用MATLAB软件绘图，获得复原图像。
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