公开(公告)号：CN118583051A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410072543.8

申请日：2024-01-17

Applicant: 中国计量大学 ,  海宁集成电路与先进制造研究院

Inventor： 章楼杰 ,  占春连 ,  郭政建 ,  周培松 ,  徐奕龙 ,  何伟恒 ,  张刘港

IPC: G01B11/00

Abstract: 本申请提供一种位置敏感探测器的位置测量标定系统及方法，所述测量标定系统，通过横移平台和竖移平台带动位置敏感探测器进行多方向运行，实现位置敏感探测器沿x轴方向和y轴方向移动，以保证位置敏感探测器的精准测量标定。同时可实现对位置敏感探测器的多位置标定，提高位置敏感探测器的使用精度。

公开(公告)号：CN116754559A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202310620461.8

申请日：2023-05-29

Applicant: 中国计量大学 ,  海宁集成电路与先进制造研究院

Inventor： 何伟恒 ,  陈亮 ,  沈洋 ,  周培松 ,  张文昊

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  G01N21/01

Abstract: 本申请提供一种半导体器件的表面缺陷检测装置，包括：底座；检测组件，安装在底座上；光源组件，安装在底座上，位于半导体器件与检测组件之间，包括朝向半导体器件设置的第一发光板，第一发光板上设有与半导体器件相对的第一通孔；第一发光板远离半导体器件的一侧设有相对的第二发光板和分光镜，分光镜在第一发光板上的正投影覆盖第一通孔，第二发光板在所述第一发光板上的正投影位于第一通孔外；分光镜与检测组件相对设置。本申请提供的半导体器件的表面缺陷检测装置，结构简单，操作简便，可以有效增强半导体器件的表面图像信息的成像质量，获得清晰度更高的表面图像信息，进而提高缺陷检测的准确性。

公开(公告)号：CN220040270U

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202321343518.6

申请日：2023-05-29

Applicant: 中国计量大学 ,  海宁集成电路与先进制造研究院

Inventor： 何伟恒 ,  陈亮 ,  沈洋 ,  周培松 ,  张文昊

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  G01N21/01

Abstract: 本申请提供一种半导体器件的表面缺陷检测装置，包括：底座；检测组件，安装在底座上；光源组件，安装在底座上，位于半导体器件与检测组件之间，包括朝向半导体器件设置的第一发光板，第一发光板上设有与半导体器件相对的第一通孔；第一发光板远离半导体器件的一侧设有相对的第二发光板和分光镜，分光镜在第一发光板上的正投影覆盖第一通孔，第二发光板在所述第一发光板上的正投影位于第一通孔外；分光镜与检测组件相对设置。本申请提供的半导体器件的表面缺陷检测装置，结构简单，操作简便，可以有效增强半导体器件的表面图像信息的成像质量，获得清晰度更高的表面图像信息，进而提高缺陷检测的准确性。

公开(公告)号：CN221593788U

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202420121947.7

申请日：2024-01-17

Applicant: 中国计量大学 ,  海宁集成电路与先进制造研究院

Inventor： 章楼杰 ,  占春连 ,  郭政建 ,  周培松 ,  徐奕龙 ,  何伟恒 ,  张刘港

IPC: G01B11/00

Abstract: 本实用新型提供一种位置敏感探测器的位置测量标定系统，所述测量标定系统，通过横移平台和竖移平台带动位置敏感探测器进行多方向运行，实现位置敏感探测器沿x轴方向和y轴方向移动，以保证位置敏感探测器的精准测量标定。同时可实现对位置敏感探测器的多位置标定，提高位置敏感探测器的使用精度。