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公开(公告)号：CN118583051A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410072543.8
申请日：2024-01-17
Applicant: 中国计量大学 , 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本申请提供一种位置敏感探测器的位置测量标定系统及方法，所述测量标定系统，通过横移平台和竖移平台带动位置敏感探测器进行多方向运行，实现位置敏感探测器沿x轴方向和y轴方向移动，以保证位置敏感探测器的精准测量标定。同时可实现对位置敏感探测器的多位置标定，提高位置敏感探测器的使用精度。
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公开(公告)号：CN117128894A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310638259.8
申请日：2023-05-30
Applicant: 中国计量大学 , 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本申请提供一种角度测量系统，与旋转轴配合使用，其包括：光斑位置检测器件、激光发射器和控制器，光斑位置检测器件与激光发射器相对设置，光斑位置检测器件与控制器电连接；激光发射器或光斑位置检测器件随旋转轴旋转，光斑位置检测器件包括激光接收区域，且，当旋转轴旋转时，激光接收区域接收由激光发射器发出的光信号，并输出电流信号至控制器。所述系统，激光接收区域接收激光发射器发出的光信号，通过激光发射器或光斑位置检测器件随旋转轴旋转，从而使激光接收区域接收到旋转后的激光发射器发出的光信号，并输出电流信号至控制器，由控制器给出旋转角度，其测量精度较高，且对于旋转角度处理计算能力较高，输出旋转角度的频率较高。
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公开(公告)号：CN116754559A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310620461.8
申请日：2023-05-29
Applicant: 中国计量大学 , 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: G01N21/88 , G01N21/956 , G01N21/01
Abstract: 本申请提供一种半导体器件的表面缺陷检测装置，包括：底座；检测组件，安装在底座上；光源组件，安装在底座上，位于半导体器件与检测组件之间，包括朝向半导体器件设置的第一发光板，第一发光板上设有与半导体器件相对的第一通孔；第一发光板远离半导体器件的一侧设有相对的第二发光板和分光镜，分光镜在第一发光板上的正投影覆盖第一通孔，第二发光板在所述第一发光板上的正投影位于第一通孔外；分光镜与检测组件相对设置。本申请提供的半导体器件的表面缺陷检测装置，结构简单，操作简便，可以有效增强半导体器件的表面图像信息的成像质量，获得清晰度更高的表面图像信息，进而提高缺陷检测的准确性。
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公开(公告)号：CN119901206A
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202510396372.9
申请日：2025-03-31
Applicant: 中国计量大学 , 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本发明公开了一种工业机器人的位置误差标定装置及标定方法。本发明中的位置误差标定装置包括激光测距组件，用于测量机器人末端靶球的三维坐标，激光测距组件包括激光干涉仪、分光镜、二维位置敏感探测器和壳体；二维移动平台，用于在X轴和Y轴方向上移动所述激光测距组件，二维移动平台包括X轴和Y轴方向的丝杠滑块模组以及光栅尺；支撑装置，用于固定和支撑所述二维移动平台，使其能够在三维空间内稳定工作。本发明相较于激光跟踪仪，不需要进行球坐标系与直角坐标系之间的变换，从而可避免激光跟踪仪内圆光栅角度误差的放大作用。本发明可以直接测量反射靶球在测量坐标系下的三维坐标值，具有良好的标定效果，能够满足工业机器人的标定要求。
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公开(公告)号：CN118913121B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411418942.1
申请日：2024-10-12
Applicant: 中国计量大学 , 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本发明公开了一种工业机器人的运动距离测量装置及校准方法。本发明中的该测量装置包括运动距离测量组件、测量杆、支撑三脚架。其中，运动距离测量组件使用激光位移传感器进行距离测量，运动距离测量组件两端的距离为固定值。用本发明设计的运动距离测量装置测量机器人末端标准球位置多次移动的实际距离，建立距离误差方程求解误差参数值进行机器人距离误差的校准。本发明相较于传统的采用激光跟踪仪的校准方法，具有成本低、测量精度高、易于携带的优点，能够满足机器人校准要求。此外，相较于接触式测量装置，非接触式不存在在使用过程中因磨损导致装置本身出现误差而造成机器人校准失败的问题，能够更好的保障工业机器人的正常工作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118913121A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411418942.1
申请日：2024-10-12
Applicant: 中国计量大学 , 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本发明公开了一种工业机器人的运动距离测量装置及校准方法。本发明中的该测量装置包括运动距离测量组件、测量杆、支撑三脚架。其中，运动距离测量组件使用激光位移传感器进行距离测量，运动距离测量组件两端的距离为固定值。用本发明设计的运动距离测量装置测量机器人末端标准球位置多次移动的实际距离，建立距离误差方程求解误差参数值进行机器人距离误差的校准。本发明相较于传统的采用激光跟踪仪的校准方法，具有成本低、测量精度高、易于携带的优点，能够满足机器人校准要求。此外，相较于接触式测量装置，非接触式不存在在使用过程中因磨损导致装置本身出现误差而造成机器人校准失败的问题，能够更好的保障工业机器人的正常工作。
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公开(公告)号：CN116330046A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310288714.6
申请日：2023-03-20
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种激光跟踪仪坐标定位辅助装置，用以辅助激光跟踪仪在打点区域内确定打点点位，包括：壳体，位于所述打点区域的上方，其底部设有朝向所述打点区域的开口；伸缩机构，位于所述壳体内，包括多个一一对应连接设置的伸缩结构和座瓣，多个所述座瓣能够在所述伸缩结构的伸缩作用下彼此靠近形成用以承载靶球的球座，或远离形成供所述靶球通过的通道，所述球座或所述通道与所述开口相对设置；打点机构，包括相连接的定位螺杆和打点部，所述定位螺杆穿过所述壳体顶部且与所述壳体顶部螺纹连接，并能沿所述球座或通道的轴线上下运动，所述打点部靠近所述伸缩机构设置。本申请使靶球顺利的从壳体取出，且提升了利用靶球进行打点定位的精度。
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公开(公告)号：CN119554521A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411850127.2
申请日：2024-12-16
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种激光跟踪仪，通过在激光跟踪仪的本体部下方设置支撑部，利用支撑部对本体部进行架高，从而避免激光跟踪仪在使用过程中受到遮挡，提高测绘结果的准确性；并且对支撑部的支撑杆设置锁定挡位，通过对支撑杆进行折叠并锁定，减小激光跟踪仪在运输过程中的体积，并防止支撑杆发生晃动，使激光跟踪仪便于运输。
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公开(公告)号：CN117588720A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311575277.2
申请日：2023-11-23
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种直线光源自由度调整装置及方法，所述装置包括：用于容纳直线光源的安装结构、连接于所述安装结构的X轴第一移动机构、Y轴第一移动机构、第一平面旋转机构、X轴第二移动机构以及Y轴第二移动机构，所述X轴第一移动机构和所述Y轴第一移动机构分别用于将直线光源调整至X轴方向和Y轴方向的初步预设位置，所述X轴第二移动机构以及Y轴第二移动机构分别用于将所述直线光源调整至X轴方向指定位置以及Y轴方向指定位置。分别利用X轴第一移动机构和Y轴第一移动机构对直线光源进行幅度略大的移动，利用第一平面旋转机构、X轴第二移动机构以及Y轴第二移动机构对直线光源进行微调，以使直线光源移动到指定位置进行校准。
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