圆片键合剪切强度测试装置及测试方法

    公开(公告)号:CN111289386B

    公开(公告)日:2023-04-14

    申请号:CN202010156728.9

    申请日:2020-03-09

    Abstract: 本申请涉及一种圆片键合剪切强度测试装置及测试方法。其中,圆片键合剪切强度测试装置,包括载体;载体上设有阻挡台;载体用于放置待测芯片;阻挡台用于阻挡待测芯片的圆片键合底层结构的移动;圆片键合底层结构包括依次叠于当前待测键合结构层下表面的各键合结构层;其中,载体的上表面贴合圆片键合底层结构的下表面,阻挡台的壁面贴合圆片键合底层结构远离接触工具的侧面,以使测试设备通过接触工具、对当前待测键合结构层进行剪切强度测试,得到键合剪切强度。本申请适用于MEMS器件大面积圆片键合以及多层键合的剪切强度测试,能够满足MEMS圆片键合剪切强度测试需求。

    表面温度场信息获取方法
    35.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113029348B

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN202110195899.7

    申请日:2021-02-22

    Abstract: 本发明涉及微纳器件测试技术领域,公开了一种表面温度场信息获取方法。将待测样品安装于实际应用环境中,测试获取待测样品在实际应用环境中的第一频率漂移特性曲线;将待测样品固定于红外成像设备上,测试获取待测样品在红外成像设备上的第二频率漂移特性曲线;根据第一频率漂移特性曲线获取待测样品在第一功率下所对应的第一频率漂移;根据第二频率漂移特性曲线获取待测样品的第一频率漂移所对应的第二功率;对固定于红外成像设备上的待测样品施加第二功率,利用红外成像设备获取待测样品的表面温度场信息。通过建立从实际工作环境到显微红外测试环境的映射,消除了由于显微红外测试环境相对于实际工作环境的热导率存在差异而产生的测试误差。

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