耗尽电压获取方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114300370A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111367378.1

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 本发明提供一种耗尽电压获取方法,耗尽电压获取方法用于获取半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压,耗尽电压获取方法包括:获取半导体器件的电容‑反向偏置电压特性曲线;获取电容‑反向偏置电压特性曲线中的电容对反向偏置电压的二阶微分,并得到半导体器件的二阶微分特性曲线;根据半导体器件的二阶微分特性曲线,获取半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压,此方法简单直观,可以快速获取半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压,方便研发人员使用此方法进行快速试验,加快研发进展,提升企业研发竞争力。

    红外探测器杜瓦的真空特性检测装置及方法

    公开(公告)号:CN109506785A

    公开(公告)日:2019-03-22

    申请号:CN201811563095.2

    申请日:2018-12-20

    Abstract: 本发明涉及一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置,包括:穿刺针、穿刺管道及质谱仪;穿刺针内部开设有通路,穿刺针用于穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃后,与红外探测器杜瓦内部气体连通,以采集红外探测器杜瓦内部的气体;穿刺管道的一端与穿刺针内部的通路连通,另一端与质谱仪连通,用于将穿刺针采集的气体输送至质谱仪;质谱仪用于对穿刺管道输送的穿刺针采集的气体进行检测,以得到红外探测器杜瓦的真空特性。本发明利用穿刺针穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃,采集红外探测器杜瓦内部的气体,将采集到的气体通过穿刺管道输送至质谱仪,质谱仪对采集到的气体进行检测,能够直接得到红外探测器杜瓦的真空特性。

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