公开(公告)号：CN106323391B

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201610486967.4

申请日：2016-06-28

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 高仓洋

IPC: G01F1/56

Abstract: 本发明提供流量测量装置和流量控制装置，不会牺牲PWM型D/A转换器所具有的简单性和低价性，能使要求的响应速度和精度双方成立。流量测量装置(100)具备将表示测量流量的值的数字流量信号转换为模拟流量信号的模拟转换部(4)，模拟转换部(4)包括：PWM信号生成电路(5)，能输出预定的三个以上的规定电压电平，根据数字流量信号表示的测量流量的值，从规定电压电平中选择相邻的两个规定电压电平，另一方面根据所述数字流量信号表示的测量流量的值，设定占空比，并生成使两个规定电压电平成为高电平和低电平的PWM信号；转换电路(6)，使从PWM信号生成电路(5)输出的PWM信号平滑化并转换为模拟流量信号。

公开(公告)号：CN110337326A

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201880011617.X

申请日：2018-03-16

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 田口明広 ,  姜山亮一

IPC: B01J7/00

Abstract: 本发明提供气化装置和气化系统。为了能够高精度地检测容器内的液体材料的液面，气化装置包括收容液体材料(X)的容器(10)、加热容器(10)内的液体材料(X)的加热器(30)、以及检测容器(10)内的液体材料的液面的液面传感器(20)，从上方观察容器(10)内时，容器(10)内形成有液体材料(X)气化的气化区域(S1)以及与气化区域(S1)不同的液面稳定区域(S2)，液面传感器(20)检测液面稳定区域(S2)中的液体材料(X)的液面。

公开(公告)号：CN110005804A

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：CN201811405666.X

申请日：2018-11-23

Applicant: 熊本县 ,  株式会社堀场STEC

Inventor： 上村诚 ,  宮地博记 ,  村上惠一

IPC: F16J15/06

Abstract: 本发明提供金属密封件、流体控制装置和密封方法。使第一平面和第二平面难以产生由金属密封件滑动而导致的微小伤痕，可以抑制产生褶皱，可以被均匀压溃。金属密封件具备与第一平面相对设置的第一端面部以及与第二平面相对设置的第二端面部。所述第一端面部具备：第一凸部，具有与所述第一平面接触的曲面或平面；以及第一突起，相对于所述第一凸部在半径方向上错开形成，并具有与所述第一平面接触的棱线。在所述第二端面部与所述第二平面接触且所述第一端面部与所述第一平面分开的所述金属密封件变形前的自然状态时，所述第一凸部中的与所述第二平面的垂直方向距离最大的点和所述第一突起的棱线，处在与所述第二平面平行的同一平面上。

公开(公告)号：CN109974929A

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201811425237.9

申请日：2018-11-27

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 岸田创太郎 ,  山下圭裕 ,  中井淳也

IPC: G01L21/00 ,  G01L19/06

Abstract: 本发明提供一种真空计，即使感测机构暴露在导入了各种材料气体的气氛的情况下，也能够防止物质向所述感测机构堆积，能够实现长寿命化。所述真空计包括：感测机构，与测量空间内的气氛接触，输出与所述测量空间内的压力对应的输出信号；以及加热器，对所述感测机构进行温度调节，所述加热器的设定温度可变。

公开(公告)号：CN109917825A

公开(公告)日：2019-06-21

申请号：CN201811517831.0

申请日：2018-12-12

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 赤土和也 ,  长井健太郎 ,  松浦和宏

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供流体装置，不必对已构筑的系统实施软件变更，就可以接收现有的动作指令信号以外的动作指令信号。在测量或控制流体的物理量的所述流体装置中，具备：指令信号接收部，接收预定的多种动作指令信号；以及指令信号识别部，当所述指令信号接收部接收的作为规定的动作指令信号的值或值的时序列变化的指令信号方式在预定的规定范围外时，将所述规定的动作指令信号识别为其他种类的动作指令信号。

公开(公告)号：CN109750275A

公开(公告)日：2019-05-14

申请号：CN201811240824.0

申请日：2018-10-23

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 田口明広 ,  姜山亮一

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统(100)包括：气化器(21)，使液体材料气化；供给量控制设备(22)，控制向气化器(21)供给的液体材料的供给量；流量调整阀(32)，调整气化器(21)生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部(43)，向流量调整阀(32)输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量。还包括：驱动信号值取得部(44)，取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部(45)，基于驱动信号值向供给量控制设备(22)输出控制信号，控制液体材料的供给。

公开(公告)号：CN109716257A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201780055407.6

申请日：2017-08-25

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 安田忠弘 ,  帕特里克·艾伦·洛厄里 ,  威廉·怀利·怀特 ,  布莱恩·詹姆斯·埃伯特 ,  麦斯米兰·马丁·冈德拉赫 ,  约翰·托马斯·迪克

IPC: G05D7/06 ,  G01F1/00 ,  G01F1/48 ,  G05D11/13

CPC classification number: G05D7/0664 ,  G01F1/00 ,  G01F1/48 ,  G05D7/06 ,  G05D11/13 ,  G05D11/132

Abstract: 为了提供一种不仅能达成目标流量比率而且能对到达成该目标流量比率为止所耗费的时间进行控制的流量比率控制装置，本流量比率控制装置包括：主流道；多个分支流道，从所述主流道的末端分支；多个流体控制装置，设于各个分支流道上，分别包括阀以及配置于所述阀的下游侧的压力式流量传感器；以及动作设定部，基于目标流量比率进行设定，以使多个流体控制装置中的任意一个流体控制装置以流速控制模式进行动作，并且使除此以外的流体控制装置以流量控制模式进行动作，所述流速控制模式是用于对比各个阀更靠上游侧的流体的流速进行控制的模式，所述流量控制模式是基于所述目标流量来控制流量的模式。

公开(公告)号：CN109324641A

公开(公告)日：2019-02-12

申请号：CN201810762767.6

申请日：2018-07-12

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 安田忠弘 ,  比尔·怀特 ,  帕特里克·洛厄里 ,  麦斯米兰·冈德拉赫 ,  瑞安·欧文斯

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，能够以比以往小的时间延迟得到作为控制点的阀中的实际流量，可以通过使测定点与控制点一致而大幅度提高响应速度。为此，流量控制装置包括：流体阻力件，设置于流路；下游侧阀，设置在流体阻力件的下游侧；下游侧压力传感器，测定所述流体阻力件与所述下游侧阀之间的所述流路的容积部中的压力；第一流量算出部，计算出流过所述流体阻力件的第一流量；第二流量算出部，基于第一流量和由所述下游侧压力传感器测定的下游侧压力的时间变化量，计算出从所述下游侧阀流出的第二流量；以及流量控制部，基于设定流量和第二流量来控制所述下游侧阀。

公开(公告)号：CN109237102A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201810744359.8

申请日：2018-07-09

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 安田忠弘 ,  托马斯·霍克

IPC: F16K31/04 ,  H01L21/00

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45557 ,  G05B6/02 ,  F16K31/046 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明提供流体控制装置、控制系统、控制方法和程序存储介质，即使不提高随着时间的控制性能，也能够使例如由脉冲控制实现的流体流量每次都稳定，并且通过由一个流路构成，能够在供给流体时消除流体的浪费。为此，控制机构包括第一压力反馈控制部，第一压力反馈控制部基于由第一压力传感器测定的第一压力来控制所述第一阀，在第二阀关闭的状态下，第一压力反馈控制部以使由第一压力传感器测定的第一压力成为目标突发压力的方式控制第一阀，在第一压力成为目标突发压力且第二阀打开之后，所述控制机构以使流路内流动的流体的流量成为目标恒定流量的方式控制所述第一阀。

公开(公告)号：CN108570659A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810178323.8

申请日：2018-03-05

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 坂口有平 ,  志水徹 ,  南雅和 ,  林大介

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明涉及气体控制系统、成膜装置、存储介质和气体控制方法，容易控制从容器导出的材料气体的总量。所述气体控制系统向收容有材料的容器(10)导入载气，并且将所述材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述容器(10)导出，该气体控制系统具有控制部(60)，所述控制部(60)控制所述载气的流量，使浓度指标值接近预先确定的目标浓度指标值，该浓度指标值直接或间接表示测量从所述容器(10)导出的混合气体而得到的所述混合气体中的材料气体浓度，所述控制部(60)在进行控制所述载气的流量以规定变化率变化的第一控制后进行第二控制，该第二控制基于所述浓度指标值和所述目标浓度指标值的偏差来控制所述载气的流量。