-
公开(公告)号：CN109324641B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201810762767.6
申请日：2018-07-12
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，能够以比以往小的时间延迟得到作为控制点的阀中的实际流量，可以通过使测定点与控制点一致而大幅度提高响应速度。为此，流量控制装置包括：流体阻力件，设置于流路；下游侧阀，设置在流体阻力件的下游侧；下游侧压力传感器，测定所述流体阻力件与所述下游侧阀之间的所述流路的容积部中的压力；第一流量算出部，计算出流过所述流体阻力件的第一流量；第二流量算出部，基于第一流量和由所述下游侧压力传感器测定的下游侧压力的时间变化量，计算出从所述下游侧阀流出的第二流量；以及流量控制部，基于设定流量和第二流量来控制所述下游侧阀。
-
公开(公告)号：CN109324641A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201810762767.6
申请日：2018-07-12
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，能够以比以往小的时间延迟得到作为控制点的阀中的实际流量，可以通过使测定点与控制点一致而大幅度提高响应速度。为此，流量控制装置包括：流体阻力件，设置于流路；下游侧阀，设置在流体阻力件的下游侧；下游侧压力传感器，测定所述流体阻力件与所述下游侧阀之间的所述流路的容积部中的压力；第一流量算出部，计算出流过所述流体阻力件的第一流量；第二流量算出部，基于第一流量和由所述下游侧压力传感器测定的下游侧压力的时间变化量，计算出从所述下游侧阀流出的第二流量；以及流量控制部，基于设定流量和第二流量来控制所述下游侧阀。
-
公开(公告)号：CN110045755A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201811599444.6
申请日：2018-12-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 为了提供不需要重新组装流体控制阀就能够以无级方式制作校准数据的校准数据制作装置、校准数据制作方法和流量控制装置，校准数据制作装置制作位置传感器的校准数据，位置传感器设于控制流体的流体控制阀，输出与相对于阀座在接触分离方向上移动的阀体的位置对应的输出值，所述校准数据制作装置包括：流量传感器；压差控制机构；温度控制机构；以及控制部，所述控制部包括：输出值取得部；阀开度控制部；以及校准数据制作部。
-
公开(公告)号：CN110045755B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201811599444.6
申请日：2018-12-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 为了提供不需要重新组装流体控制阀就能够以无级方式制作校准数据的校准数据制作装置、校准数据制作方法和流量控制装置，校准数据制作装置制作位置传感器的校准数据，位置传感器设于控制流体的流体控制阀，输出与相对于阀座在接触分离方向上移动的阀体的位置对应的输出值，所述校准数据制作装置包括：流量传感器；压差控制机构；温度控制机构；以及控制部，所述控制部包括：输出值取得部；阀开度控制部；以及校准数据制作部。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.017 seconds)
