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公开(公告)号：CN109237102A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201810744359.8
申请日：2018-07-09
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: C23C16/52 , C23C16/45544 , C23C16/45557 , G05B6/02 , F16K31/046 , H01L21/00
Abstract: 本发明提供流体控制装置、控制系统、控制方法和程序存储介质，即使不提高随着时间的控制性能，也能够使例如由脉冲控制实现的流体流量每次都稳定，并且通过由一个流路构成，能够在供给流体时消除流体的浪费。为此，控制机构包括第一压力反馈控制部，第一压力反馈控制部基于由第一压力传感器测定的第一压力来控制所述第一阀，在第二阀关闭的状态下，第一压力反馈控制部以使由第一压力传感器测定的第一压力成为目标突发压力的方式控制第一阀，在第一压力成为目标突发压力且第二阀打开之后，所述控制机构以使流路内流动的流体的流量成为目标恒定流量的方式控制所述第一阀。
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公开(公告)号：CN110045755A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201811599444.6
申请日：2018-12-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 为了提供不需要重新组装流体控制阀就能够以无级方式制作校准数据的校准数据制作装置、校准数据制作方法和流量控制装置，校准数据制作装置制作位置传感器的校准数据，位置传感器设于控制流体的流体控制阀，输出与相对于阀座在接触分离方向上移动的阀体的位置对应的输出值，所述校准数据制作装置包括：流量传感器；压差控制机构；温度控制机构；以及控制部，所述控制部包括：输出值取得部；阀开度控制部；以及校准数据制作部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110045755B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201811599444.6
申请日：2018-12-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 为了提供不需要重新组装流体控制阀就能够以无级方式制作校准数据的校准数据制作装置、校准数据制作方法和流量控制装置，校准数据制作装置制作位置传感器的校准数据，位置传感器设于控制流体的流体控制阀，输出与相对于阀座在接触分离方向上移动的阀体的位置对应的输出值，所述校准数据制作装置包括：流量传感器；压差控制机构；温度控制机构；以及控制部，所述控制部包括：输出值取得部；阀开度控制部；以及校准数据制作部。
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公开(公告)号：CN114489160A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111198439.6
申请日：2021-10-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 马克西米利安·冈德拉赫 , 瑞安·欧文斯 , 托马斯·霍克
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量比率控制装置及其控制方法、存储介质，该装置具备：从主流道分支的至少两个分支流道；分别设置于两个分支流道并具有位置传感器的第一和第二流体控制阀；存储部，存储将流过主流道的流量以规定的流量比率分配给第一和第二分支流道的阀体的基准位置；流量比率控制部，对第一流体控制阀进行位置控制使其阀体成为基准位置，对第二流体控制阀进行流量控制使流量成为目标流量，控制至少两个分支流道的流量比率，若进行流量控制的第二流体控制阀的阀体的位置到达基准位置，则流量比率控制部切换各流体控制阀的位置控制和流量控制，对第二流体控制阀进行位置控制使其阀体成为基准位置，对第一流体控制阀进行流量控制使流量成为目标流量。
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公开(公告)号：CN109000020A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810563061.7
申请日：2018-06-04
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、存储介质和控制方法，所述流体控制装置在完全关闭时实现高密封性，并且即使与现状相比不提高机械精度，也能够抑制阀体或阀座面的损伤，所述流体控制装置包括：设置在流体流动的流道上的流体控制阀；以及控制所述流体控制阀的控制机构，所述流体控制阀包括：阀座面；相对于所述阀座面离合的阀体；以及驱动所述阀体的致动器，所述控制机构包括速度调节部，当使所述阀体接近所述阀座面而使所述流体控制阀完全关闭时，在所述阀座面与所述阀体之间成为规定距离之后，所述速度调节部使所述阀体的移动速度比所述阀座面与所述阀体之间成为所述规定距离之前下降。
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公开(公告)号：CN109237102B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN201810744359.8
申请日：2018-07-09
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、控制系统、控制方法和程序存储介质，即使不提高随着时间的控制性能，也能够使例如由脉冲控制实现的流体流量每次都稳定，并且通过由一个流路构成，能够在供给流体时消除流体的浪费。为此，控制机构包括第一压力反馈控制部，第一压力反馈控制部基于由第一压力传感器测定的第一压力来控制所述第一阀，在第二阀关闭的状态下，第一压力反馈控制部以使由第一压力传感器测定的第一压力成为目标突发压力的方式控制第一阀，在第一压力成为目标突发压力且第二阀打开之后，所述控制机构以使流路内流动的流体的流量成为目标恒定流量的方式控制所述第一阀。
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公开(公告)号：CN109000020B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN201810563061.7
申请日：2018-06-04
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、存储介质和控制方法，所述流体控制装置在完全关闭时实现高密封性，并且即使与现状相比不提高机械精度，也能够抑制阀体或阀座面的损伤，所述流体控制装置包括：设置在流体流动的流道上的流体控制阀；以及控制所述流体控制阀的控制机构，所述流体控制阀包括：阀座面；相对于所述阀座面离合的阀体；以及驱动所述阀体的致动器，所述控制机构包括速度调节部，当使所述阀体接近所述阀座面而使所述流体控制阀完全关闭时，在所述阀座面与所述阀体之间成为规定距离之后，所述速度调节部使所述阀体的移动速度比所述阀座面与所述阀体之间成为所述规定距离之前下降。
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