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公开(公告)号：CN109000020A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810563061.7
申请日：2018-06-04
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、存储介质和控制方法，所述流体控制装置在完全关闭时实现高密封性，并且即使与现状相比不提高机械精度，也能够抑制阀体或阀座面的损伤，所述流体控制装置包括：设置在流体流动的流道上的流体控制阀；以及控制所述流体控制阀的控制机构，所述流体控制阀包括：阀座面；相对于所述阀座面离合的阀体；以及驱动所述阀体的致动器，所述控制机构包括速度调节部，当使所述阀体接近所述阀座面而使所述流体控制阀完全关闭时，在所述阀座面与所述阀体之间成为规定距离之后，所述速度调节部使所述阀体的移动速度比所述阀座面与所述阀体之间成为所述规定距离之前下降。
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公开(公告)号：CN109324641A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201810762767.6
申请日：2018-07-12
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，能够以比以往小的时间延迟得到作为控制点的阀中的实际流量，可以通过使测定点与控制点一致而大幅度提高响应速度。为此，流量控制装置包括：流体阻力件，设置于流路；下游侧阀，设置在流体阻力件的下游侧；下游侧压力传感器，测定所述流体阻力件与所述下游侧阀之间的所述流路的容积部中的压力；第一流量算出部，计算出流过所述流体阻力件的第一流量；第二流量算出部，基于第一流量和由所述下游侧压力传感器测定的下游侧压力的时间变化量，计算出从所述下游侧阀流出的第二流量；以及流量控制部，基于设定流量和第二流量来控制所述下游侧阀。
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公开(公告)号：CN109324641B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201810762767.6
申请日：2018-07-12
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，能够以比以往小的时间延迟得到作为控制点的阀中的实际流量，可以通过使测定点与控制点一致而大幅度提高响应速度。为此，流量控制装置包括：流体阻力件，设置于流路；下游侧阀，设置在流体阻力件的下游侧；下游侧压力传感器，测定所述流体阻力件与所述下游侧阀之间的所述流路的容积部中的压力；第一流量算出部，计算出流过所述流体阻力件的第一流量；第二流量算出部，基于第一流量和由所述下游侧压力传感器测定的下游侧压力的时间变化量，计算出从所述下游侧阀流出的第二流量；以及流量控制部，基于设定流量和第二流量来控制所述下游侧阀。
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公开(公告)号：CN109000020B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN201810563061.7
申请日：2018-06-04
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、存储介质和控制方法，所述流体控制装置在完全关闭时实现高密封性，并且即使与现状相比不提高机械精度，也能够抑制阀体或阀座面的损伤，所述流体控制装置包括：设置在流体流动的流道上的流体控制阀；以及控制所述流体控制阀的控制机构，所述流体控制阀包括：阀座面；相对于所述阀座面离合的阀体；以及驱动所述阀体的致动器，所述控制机构包括速度调节部，当使所述阀体接近所述阀座面而使所述流体控制阀完全关闭时，在所述阀座面与所述阀体之间成为规定距离之后，所述速度调节部使所述阀体的移动速度比所述阀座面与所述阀体之间成为所述规定距离之前下降。
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