振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法

    公开(公告)号:CN101031775B

    公开(公告)日:2011-05-18

    申请号:CN200580033373.8

    申请日:2005-09-29

    CPC classification number: G01C19/5628 Y10T29/42

    Abstract: 本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法,该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量,从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成:从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14);从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D);和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B),在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上,形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。

    压电振动片及其支撑结构、压电振子及振动型压电陀螺仪

    公开(公告)号:CN100538271C

    公开(公告)日:2009-09-09

    申请号:CN200410069009.4

    申请日:2004-07-12

    CPC classification number: G01C19/56 G01C19/5719

    Abstract: 一种压电振动片及其支撑结构、压电振子及振动型压电陀螺仪。压电振动片(10)具有:基部(12);从基部(12)在同一平面内呈放射状延伸的多个驱动用振动臂(16-1~16-4)和检测用振动臂(20-1~20-2),在所述振动臂之间形成有:从基部(12)延伸的具有弹性的多个第1梁(32-1~32-4),至少形成在所述梁的前端部的第1支撑部(30-1~30-4)。在所述驱动用振动臂和检测用振动臂形成电极图形,连接半导体装置(80)并被驱动。该压电振动片(10)被收容在由基部部件(82)和盖部件(84)构成的容器内,构成压电振子(200)、振动型压电陀螺仪(90)。从而,可保持稳定的驱动振动和检测振动。

    压电器件的制造方法
    26.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100407469C

    公开(公告)日:2008-07-30

    申请号:CN03122687.6

    申请日:2003-03-24

    Abstract: 就压电器件的封装件盖密封而言,提供一种可迅速且确实进行多个或多数封装件的盖密封的压电器件的盖密封方法。一种盖密封方法,就盖体(39)固定在支持固定压电振荡片一部分的封装件(36)中的压电器件而言,上述盖体密封在上述封装件中,其中,排列多个上述封装件,使其底部一侧面向卤素灯,向上述多个封装件(36)的底部照射卤素灯发出的光束L3,通过其热量来熔化配置在上述封装件与上述盖体间的钎料(33)。

    压电振动陀螺元件及其制造方法、压电振动陀螺传感器

    公开(公告)号:CN100351609C

    公开(公告)日:2007-11-28

    申请号:CN200410046166.3

    申请日:2004-06-02

    CPC classification number: G01C19/5607 Y10T74/12 Y10T74/1275

    Abstract: 一种压电振动陀螺元件及其制造方法。在从连接臂(24a、24b)的前端部沿着其延伸方向进一步延伸的延长部(27a、27b)的侧面上,在两侧设置与驱动用振动臂(26a、26b)的延伸方向垂直的方向的平面部(28a、28b)。形成在厚度方向横断延长部的前端面并连接在连接臂前端部和延长部的正反主面之间的布线(42),使驱动用振动臂的正反主面的第1驱动电极(35、35)构成相互电连接。在进行电极分割的曝光工序中,对延长部的平面部,在垂直方向并且从与驱动用振动臂的主面垂直的方向倾斜某种角度的上方同时对主面和侧面进行曝光。由此,可在确保振动臂的弯曲振动的对称性的基础上,进行简单且正确的电极分割。

    压电振动陀螺元件及其制造方法、压电振动陀螺传感器

    公开(公告)号:CN1573290A

    公开(公告)日:2005-02-02

    申请号:CN200410046166.3

    申请日:2004-06-02

    CPC classification number: G01C19/5607 Y10T74/12 Y10T74/1275

    Abstract: 一种压电振动陀螺元件及其制造方法。在从连接臂(24a、24b)的前端部沿着其延伸方向进一步延伸的延长部(27a、27b)的侧面上,在两侧设置与驱动用振动臂(26a、26b)的延伸方向垂直的方向的平面部(28a、28b)。形成在厚度方向横断延长部的前端面并连接在连接臂前端部和延长部的正反主面之间的布线(42),使驱动用振动臂的正反主面的第1驱动电极(35、35)构成相互电连接。在进行电极分割的曝光工序中,对延长部的平面部,在垂直方向并且从与驱动用振动臂的主面垂直的方向倾斜某种角度的上方同时对主面和侧面进行曝光。由此,可在确保振动臂的弯曲振动的对称性的基础上,进行简单且正确的电极分割。

Patent Agency Ranking