公开(公告)号：CN101789358B

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：CN200910129865.7

申请日：2009-03-30

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 池田均 ,  冈山智彦 ,  松本浩一 ,  森冈和 ,  目崎芳则

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/324

Abstract: 本发明提供能够以低成本制造、高效率良好加热处理基板的加热处理装置。该加热处理装置具有真空腔(20)、支持部件(30)和加热装置(40)，真空腔(20)具备：腔本体(21)，该腔本体(21)由具有贯通孔(24)的多个腔部件(25)构成，在邻接的腔部件(25)的至少一个上，沿与另一个抵接的面的贯通孔(24)的开口部的整个周围连续设置槽部(27)，各腔部件(25)在夹着安装在槽部(27)中的密封部件(26)、分别紧靠的状态下被固定，腔本体(21)具有由多个贯通孔(24)构成的处理空间(A)；堵住处理空间(A)的壁面部件(22)和盖部件(23)，支持部件(30)配置在处理空间(A)内、支持基板(S)，加热装置(40)用辐射热加热基板(S)。

公开(公告)号：CN102017169B

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN200980112754.3

申请日：2009-06-05

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 清水康男 ,  小形英之 ,  松本浩一 ,  野口恭史 ,  神保洋介 ,  冈山智彦 ,  森冈和 ,  杉山哲康 ,  重田贵司 ,  栗原広行 ,  桥本征典 ,  若松贞次

IPC: H01L31/04 ,  C23C16/505 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L31/18 ,  C23C16/50 ,  C23C16/5096 ,  C23C16/54 ,  H01J37/32568 ,  H01L21/67748 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 一种薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜空间(81)，以基板(W)的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板(W)，并通过CVD法将希望的膜形成在所述成膜面上；阴极单元(68、118、128)，具有施加有电压的阴极(75)和两个以上的供电点(88)，所述阴极(75)配置在两侧；以及阳极(67)，与配置在所述阴极单元(68、118、128)的两侧的所述阴极(75)隔开并对置地配置。

公开(公告)号：CN101999174B

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN200980112942.6

申请日：2009-06-03

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 清水康男 ,  小形英之 ,  松本浩一 ,  野口恭史 ,  若森让治 ,  冈山智彦 ,  森冈和 ,  杉山哲康 ,  重田贵司 ,  栗原広行

IPC: H01L31/04 ,  C23C16/44 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L31/1824 ,  C23C16/4587 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/67781 ,  H01L31/077 ,  Y02E10/545 ,  Y02P70/521

Abstract: 一种薄膜太阳能电池制造装置，具有：成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；放入取出室，与成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；移动轨道，铺设于成膜室和放入取出室；托架，保持基板并沿着移动轨道移动；以及使托架移动的托架移送机构，托架移送机构设置在放入取出室，使托架在成膜室与放入取出室之间移动。

公开(公告)号：CN101999173B

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN200980112428.2

申请日：2009-06-04

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 清水康男 ,  小形英之 ,  松本浩一 ,  野口恭史 ,  若森让治 ,  冈山智彦 ,  森冈和 ,  杉山哲康 ,  重田贵司 ,  栗原広行 ,  桥本征典 ,  若松贞次

IPC: H01L31/04 ,  C23C16/44 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/67781 ,  C23C16/24 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/4587 ,  H01J37/32532 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67754 ,  H01L31/202 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明的薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜室，在基板的成膜面上通过CVD法形成膜；电极单元，具有：施加有电压的阴极被配置在两侧的阴极单元、以及与所述各阴极分别对置且隔开间隔距离配置的一对阳极；掩膜，覆盖所述基板的周缘部；以及排气管道，设置在所述阴极单元的周围，在所述阴极单元与设置在所述阳极侧的所述基板之间形成成膜空间，在所述掩膜与所述阴极单元之间形成排气通道，所述排气管道与所述成膜空间经由所述排气通道连接，导入所述成膜空间的成膜气体通过所述排气通道从所述排气管道排出。

公开(公告)号：CN102859031A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201180021220.7

申请日：2011-04-19

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 加藤裕子 ,  菊池正志 ,  龟崎厚治 ,  冈山智彦 ,  下田圭介

IPC: C23C16/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  C23C16/42

CPC classification number: C23C16/042 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/54 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供一种即便不将真空槽内曝露于大气也能够更换对位掩模的真空处理装置。在气体导入装置（12）的下方配置插入有基板升降销（46）、在上下方向中比基板升降销（46）还长的掩模升降销（45）的板（23），在板（23的下方配置有构成为在令与板（23）之间接近至第一距离以下时分别铅直地载置掩模升降销（45）和基板升降销（46）的销支承部件（24）。掩模升降销（45）和基板升降销（46）上设置卡止部件（47），当令板（23）和销支承部件（24）之间为比第一距离还分离的第二距离以上时，令掩模升降销（45）和基板升降销（46）在销支承部件（24）上方从销支承部件（24）离开而被板（23）悬吊。

公开(公告)号：CN101999159B

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN200980112941.1

申请日：2009-06-03

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 清水康男 ,  小形英之 ,  松本浩一 ,  野口恭史 ,  若森让治 ,  冈山智彦 ,  森冈和 ,  杉山哲康 ,  重田贵司 ,  栗原広行 ,  齐藤一也

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/54 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L21/67167 ,  C23C16/5096 ,  C23C16/54 ,  H01J37/32743 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/67781 ,  H01L31/18

Abstract: 一种薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；放入取出室，与所述成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；第一托架，保持成膜处理前的基板；以及第二托架，保持成膜处理后的基板，所述放入取出室同时收容所述第一托架与所述第二托架。

公开(公告)号：CN102203317A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200980143808.2

申请日：2009-11-12

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 松本浩一 ,  依田英德 ,  冈山智彦 ,  森冈和 ,  矢岛太郎

IPC: C23C16/509 ,  H01L21/205 ,  H01L31/04 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32183 ,  C23C16/4583 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32091 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67754 ,  H01L31/03685 ,  H01L31/03762 ,  H01L31/072 ,  H01L31/0725 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/1876 ,  H01L31/202 ,  H05H1/30 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/547 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明的电极电路为等离子体CVD用电极电路，包括：交流电源；匹配电路，连接于该交流电源；以及平行平板电极，由阳极电极与阴极电极组成的对构成，以所述阳极电极与所述阴极电极的电极面相对的方式配置所述阳极电极与所述阴极电极，所述匹配电路、所述平行平板电极、以及由所述平行平板电极生成的等离子体构成平衡电路。

公开(公告)号：CN101999174A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN200980112942.6

申请日：2009-06-03

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 清水康男 ,  小形英之 ,  松本浩一 ,  野口恭史 ,  若森让治 ,  冈山智彦 ,  森冈和 ,  杉山哲康 ,  重田贵司 ,  栗原広行

IPC: H01L31/04 ,  C23C16/44 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L31/1824 ,  C23C16/4587 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/67781 ,  H01L31/077 ,  Y02E10/545 ,  Y02P70/521

Abstract: 一种薄膜太阳能电池制造装置，具有：成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；放入取出室，与成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；移动轨道，铺设于成膜室和放入取出室；托架，保持基板并沿着移动轨道移动；以及使托架移动的托架移送机构，托架移送机构设置在放入取出室，使托架在成膜室与放入取出室之间移动。

公开(公告)号：CN111834252B

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202010284602.X

申请日：2020-04-13

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 江藤谦次 ,  冈山智彦 ,  龟崎厚治 ,  阿部洋一

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明的基板处理装置，具备：多段收纳多张基板的卡匣；能够密闭地收纳所述卡匣的腔室；使所述卡匣在所述腔室内升降的升降机构；将所述基板相对于所述卡匣搬出搬入的搬运机器人；以及控制所述升降机构及所述搬运机器人的动作的控制部，在所述腔室的侧面部设置有在将所述基板搬入所述卡匣和从该卡匣搬出时开口的搬出搬入口，所述搬运机器人具备载置所述基板的机械臂，所述机械臂能够在水平方向上移动并从所述搬出搬入口插入所述卡匣内，且能够在所述卡匣内上升或下降，所述控制部在所述卡匣内使所述机械臂下降的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣上升，在所述卡匣内使所述机械臂上升的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣下降。

公开(公告)号：CN112210765A

公开(公告)日：2021-01-12

申请号：CN202010406402.7

申请日：2020-05-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 江藤谦次 ,  冈山智彦 ,  龟崎厚治 ,  阿部洋一

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/50

Abstract: 本发明公开真空室及基板处理装置。真空室由多个块体沿基板的运送方向配置而构造，其中块体在从运送方向观察时具有环状的开口空间，真空室能够将通过连通多个块体的开口空间而形成的内部空间的气氛切换为大气压气氛和真空气氛，该真空室包括：作为多个块体之一的第一块体；作为多个块体之一的第二块体，具有沿与运送方向交叉的方向延伸且在开口空间的内侧下表面上形成的槽，第二块体通过密封部件连接固定到第一块体；基底部件，沿着槽的延伸方向延伸且嵌合到槽中；和多个基板支撑销，具有支撑端和固定端，支撑端与基板接触，固定端位于支撑端的相反侧且固定到基底部件，多个基板支撑销在真空室的内部支撑基板。