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公开(公告)号：CN102017168B
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN200980112752.4
申请日：2009-06-03
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L31/04 , C23C16/50 , H01L21/205
CPC classification number: H01L21/67754 , C23C16/4401 , C23C16/4587 , C23C16/509 , C23C16/54 , H01L21/67161 , H01L21/67167 , H01L21/67173 , H01L21/67781 , H01L31/0687 , H01L31/182 , H01L31/1824 , Y02E10/545 , Y02E10/546 , Y02P70/521
Abstract: 一种薄膜太阳能电池制造装置包括：收容基板的成膜室；以及在该成膜室内对所述基板通过CVD法进行膜形成的电极单元，所述电极单元具有：阳极和阴极；以及侧壁部，所述侧壁部保持该阳极和阴极，构成所述成膜室的壁部的一部分，进一步对于所述成膜室装卸自如。
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公开(公告)号：CN101999159A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200980112941.1
申请日：2009-06-03
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L21/205 , C23C16/54 , H01L31/04
CPC classification number: H01L21/67167 , C23C16/5096 , C23C16/54 , H01J37/32743 , H01L21/67161 , H01L21/67173 , H01L21/67754 , H01L21/67781 , H01L31/18
Abstract: 一种薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；放入取出室，与所述成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；第一托架，保持成膜处理前的基板；以及第二托架，保持成膜处理后的基板，所述放入取出室同时收容所述第一托架与所述第二托架。
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公开(公告)号：CN101990585B
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN200980112430.X
申请日：2009-06-05
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C16/4587 , C23C16/24 , C23C16/54 , H01L21/67161 , H01L21/67173 , H01L21/67712 , H01L21/67736 , H01L21/67754 , H01L31/076 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 一种成膜装置包括：成膜室(11)，在真空中将希望的膜成膜在基板(W)上；放入取出室(13)，经由第一开闭部(25)被固定于所述成膜室(11)，并能将内部减压为真空气氛；第二开闭部(36)，设置在所述放入取出室(13)的、与设置有所述第一开闭部(25)的面相反的面上；以及托架(21)，以所述基板(W)的成膜面与重力方向大致平行的方式保持所述基板(W)，所述托架或所述基板(W)通过所述第二开闭部(36)被搬入、搬出所述放入取出室(13)，在所述放入取出室(13)中并列配置多个所述托架(21)，在所述放入取出室(13)与所述成膜室(11)之间所述多个托架(21)被并列地搬入或搬出，在所述成膜室(11)中对保持在所述多个托架(21)上的多个所述基板(W)同时进行成膜。
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公开(公告)号：CN102017169A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980112754.3
申请日：2009-06-05
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L31/04 , C23C16/505 , H01L21/205
CPC classification number: H01L31/18 , C23C16/50 , C23C16/5096 , C23C16/54 , H01J37/32568 , H01L21/67748 , H01L31/1876 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜空间(81)，以基板(W)的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板(W)，并通过CVD法将希望的膜形成在所述成膜面上；阴极单元(68、118、128)，具有施加有电压的阴极(75)和两个以上的供电点(88)，所述阴极(75)配置在两侧；以及阳极(67)，与配置在所述阴极单元(68、118、128)的两侧的所述阴极(75)隔开并对置地配置。
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公开(公告)号：CN102473609B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201080026689.5
申请日：2010-07-29
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C16/509 , H01J37/32
CPC classification number: C23C16/509 , H01J37/3244 , H01J37/32724
Abstract: 该成膜装置(10)包括：阴极单元(68)；以及离开所述阴极单元(68)并对置配置的阳极(67)，该阴极单元(68)包括：电极板(76)，施加有电压；温度调整流体用流路(92)，设置在所述电极板(76)上，温度调整流体在该温度调整流体用流路中循环；簇射极板(75)，与所述电极板(76)接触，并具有用于向基板(W)的被成膜面供给工艺气体的多个孔(74)；热交换用板(91)，设置在所述电极板(76)与所述簇射极板(75)之间，并与所述电极板(76)和所述簇射极板(75)接触；以及气体流路(107)，设置在所述热交换用板(91)上，并将所述工艺气体导入到所述热交换用板(91)，且将被导入到所述热交换用板(91)的工艺气体引导至所述簇射极板(75)的所述多个孔(74)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102473608A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080025630.4
申请日：2010-07-28
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L21/205 , C23C16/44
CPC classification number: C23C16/4587
Abstract: 该成膜装置(10)包括：成膜室(11)，在重力方向上具有上部(22)，以基板(W)的被成膜面与重力方向平行的方式配置所述基板(W)；电极单元(31)，可装卸地设置于所述成膜室(11)，并具有被施加电压的平板状的阴极(75)以及与所述阴极(75)分开并对置配置的阳极(67)；装卸用轨道(41)，设置在所述成膜室(11)的所述上部，并沿着从所述成膜室(11)引出所述电极单元(31)的方向设置，用于引导所述电极单元(31)。
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公开(公告)号：CN101999172A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200980112427.8
申请日：2009-06-04
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L31/04 , C23C16/505 , H01L21/205
CPC classification number: H01L21/67173 , C23C16/24 , C23C16/45565 , C23C16/4587 , C23C16/509 , C23C16/54 , H01L21/67161 , H01L21/67167 , H01L21/67754 , H01L21/67781 , H01L31/202 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明的薄膜太阳能电池制造装置具有：成膜室，以基板的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板，在所述成膜面上通过CVD法形成膜；电极单元，具有：施加有电压的阴极被配置在两侧的阴极单元、以及与所述各阴极分别对置且隔开间隔距离配置的一对阳极；以及搬送部，支撑所述基板，将所述基板搬送到所述阴极与对置于所述阴极的所述阳极之间，所述间隔距离可变。
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公开(公告)号：CN101990585A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200980112430.X
申请日：2009-06-05
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C16/4587 , C23C16/24 , C23C16/54 , H01L21/67161 , H01L21/67173 , H01L21/67712 , H01L21/67736 , H01L21/67754 , H01L31/076 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 一种成膜装置包括：成膜室(11)，在真空中将希望的膜成膜在基板(W)上；放入取出室(13)，经由第一开闭部(25)被固定于所述成膜室(11)，并能将内部减压为真空气氛；第二开闭部(36)，设置在所述放入取出室(13)的、与设置有所述第一开闭部(25)的面相反的面上；以及托架(21)，以所述基板(W)的成膜面与重力方向大致平行的方式保持所述基板(W)，所述托架或所述基板(W)通过所述第二开闭部(36)被搬入、搬出所述放入取出室(13)，在所述放入取出室(13)中并列配置多个所述托架(21)，在所述放入取出室(13)与所述成膜室(11)之间所述多个托架(21)被并列地搬入或搬出，在所述成膜室(11)中对保持在所述多个托架(21)上的多个所述基板(W)同时进行成膜。
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公开(公告)号：CN101999172B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200980112427.8
申请日：2009-06-04
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L31/04 , C23C16/505 , H01L21/205
CPC classification number: H01L21/67173 , C23C16/24 , C23C16/45565 , C23C16/4587 , C23C16/509 , C23C16/54 , H01L21/67161 , H01L21/67167 , H01L21/67754 , H01L21/67781 , H01L31/202 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明的薄膜太阳能电池制造装置具有：成膜室，以基板的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板，在所述成膜面上通过CVD法形成膜；电极单元，具有：施加有电压的阴极被配置在两侧的阴极单元、以及与所述各阴极分别对置且隔开间隔距离配置的一对阳极；以及搬送部，支撑所述基板，将所述基板搬送到所述阴极与对置于所述阴极的所述阳极之间，所述间隔距离可变。
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公开(公告)号：CN102473609A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080026689.5
申请日：2010-07-29
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L21/205 , C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/509 , C23C16/54 , H01L31/04 , H05H1/46
CPC classification number: C23C16/509 , H01J37/3244 , H01J37/32724
Abstract: 该成膜装置(10)包括：阴极单元(68)；以及离开所述阴极单元(68)并对置配置的阳极(67)，该阴极单元(68)包括：电极板(76)，施加有电压；温度调整流体用流路(92)，设置在所述电极板(76)上，温度调整流体在该温度调整流体用流路中循环；簇射极板(75)，与所述电极板(76)接触，并具有用于向基板(W)的被成膜面供给工艺气体的多个孔(74)；热交换用板(91)，设置在所述电极板(76)与所述簇射极板(75)之间，并与所述电极板(76)和所述簇射极板(75)接触；以及气体流路(107)，设置在所述热交换用板(91)上，并将所述工艺气体导入到所述热交换用板(91)，且将被导入到所述热交换用板(91)的工艺气体引导至所述簇射极板(75)的所述多个孔(74)。
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