公开(公告)号：CN109716500B

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN201780058115.8

申请日：2017-09-26

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦 ,  吉田哲也 ,  丹治彦 ,  藤森一夫 ,  山下雄大 ,  住友雅彦

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/22 ,  B25J13/08 ,  G05B19/42

Abstract: 一种机器人的控制装置，具备：影像数据获取部，其获取藉由相机拍摄的配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，其在影像数据中生成手的基板载置部上假设性地配置的虚拟基板的信息；操作部，其藉由被操作而生成与该操作对应的操作信息；画面显示部，其将教示用基板及虚拟基板的影像显示于画面；机器人动作控制部，其按照操作信息，控制机器臂的动作；及教示数据记录部，其将虚拟基板与教示用基板一致时的手的位置作为教示数据储存。

公开(公告)号：CN109564889B

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN201780050991.6

申请日：2017-09-21

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦 ,  吉田哲也 ,  丹治彦 ,  藤森一夫 ,  山下雄大 ,  住友雅彦

IPC: H01L21/677 ,  B25J13/08 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

Abstract: 具备连结在机器人手臂的手稍端部的基部、与基部结合并保持基板的基板保持部的基板搬送手的诊断系统，具备：固定于基部并拍摄基板保持部的摄影机；取得摄影机拍摄的影像信息，并基于该影像信息诊断基板保持部的健全性的诊断装置。

公开(公告)号：CN108028218B

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN201680049634.3

申请日：2016-08-30

Applicant: 川崎重工业株式会社 ,  川崎机器人(美国)公司

Inventor： 后藤博彦 ,  马克·谭 ,  艾力克·张 ,  小野茂树 ,  北野真也 ,  曾明

IPC: H01L21/677

Abstract: 衬底搬送机器人(1)的控制器件(12)是使机器臂(4)及衬底保持装置(7)实施掌片部件进入动作、衬底接收动作以及衬底载置动作。衬底保持装置(7)构成为能够切换第1运转状态与第2运转状态，该第1运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在上下方向，该第2运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在从上下方向偏离的位置且将单个掌片部件设为可进入到衬底载置构造。无论衬底载置构造的种类为何，都能够缩短衬底搬送时的作业时间。

公开(公告)号：CN109716500A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201780058115.8

申请日：2017-09-26

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦 ,  吉田哲也 ,  丹治彦 ,  藤森一夫 ,  山下雄大 ,  住友雅彦

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/22 ,  B25J13/08 ,  G05B19/42

Abstract: 一种机器人的控制装置，具备：影像数据获取部，其获取藉由相机拍摄的配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，其在影像数据中生成手的基板载置部上假设性地配置的虚拟基板的信息；操作部，其藉由被操作而生成与该操作对应的操作信息；画面显示部，其将教示用基板及虚拟基板的影像显示于画面；机器人动作控制部，其按照操作信息，控制机器臂的动作；及教示数据记录部，其将虚拟基板与教示用基板一致时的手的位置作为教示数据储存。

公开(公告)号：CN108780770A

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：CN201780015069.3

申请日：2017-02-28

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 吉田雅也 ,  冈田拓之 ,  福岛崇行 ,  后藤博彦

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/22

CPC classification number: H01L21/677

Abstract: 控制器，使用从第一光传感器及至少一个的第二光传感器中选择的一个光传感器，使基板搬送手往光传感器的光路位于基板载置部的上方且不会与柱部干涉的检测开始位置移动，从检测开始位置使基板搬送手往下方移动至以光传感器检测到物体的检测位置，将基板搬送手位于检测位置时的光传感器距离光路的规定位置基准的高度，作为基板载置部的高度位置加以储存。

公开(公告)号：CN108028218A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680049634.3

申请日：2016-08-30

Applicant: 川崎重工业株式会社 ,  川崎机器人(美国)公司

Inventor： 后藤博彦 ,  马克·谭 ,  艾力克·张 ,  小野茂树 ,  北野真也 ,  曾明

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/68707 ,  B25J9/042 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67781

Abstract: 衬底搬送机器人(1)的控制器件(12)是使机器臂(4)及衬底保持装置(7)实施掌片部件进入动作、衬底接收动作以及衬底载置动作。衬底保持装置(7)构成为能够切换第1运转状态与第2运转状态，该第1运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在上下方向，该第2运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在从上下方向偏离的位置且将单个掌片部件设为可进入到衬底载置构造。无论衬底载置构造的种类为何，都能够缩短衬底搬送时的作业时间。

公开(公告)号：CN105473290B

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201480048301.X

申请日：2014-09-04

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 稻田隆浩 ,  后藤博彦 ,  齐藤雅行 ,  芝田武士 ,  福岛崇行

IPC: B25J19/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/68707 ,  B25J9/0021 ,  B25J19/0079 ,  F16C29/02 ,  F16C29/088 ,  H01L21/67766

Abstract: 密封带（4）包含内侧带区间（41）及外侧带区间（42），内侧带区间（41）以随着移动体（2）的移动而旋转的形式构成，外侧带区间（42）包含：在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第一部分43），该第一部分（43）的一端（43a）保持于移动体（2）的内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸，且保持于第三空间位置P3）；以及在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第二部分（44），该第二部分（44）的一端（44a）保持于内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸至第四空间位置（P4）为止，且保持于第四空间位置（P4）；且随着移动体（2）的移动，第一部分（43）的长度及第二部分（44）的长度相辅相成地发生变化，驱动机构（3）位于由内侧带区间包围的空间。

公开(公告)号：CN105659373A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201380080598.3

申请日：2013-11-06

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J9/043 ,  H01L21/67167

Abstract: 基板搬运装置（1）具备第一手部机构（40）以及第二手部机构（140），第一手部机构（40）包括：第一下臂部（41）；第一上臂部（42）；梢端部为第一基板保持部（43a）的第一手部（43）；和使第一手部（43）从动于第一上臂部（42）的转动进行转动的第一从动机构（44）；且形成为通过第一下臂部（41）、第一上臂部（42）以及第一手部（43）的转动，使第一基板保持部（43a）在缩回位置和伸展位置之间移动的结构；第二手部机构（140）包括：第二下臂部（141）；第二上臂部（142）；梢端部为第二基板保持部（143a）的第二手部（143）；和使第二手部（143）从动于第二上臂部（142）的转动进行转动的第二从动机构（144）；且形成为通过第二下臂部（141）、第二上臂部（142）以及第二手部（143）的转动，使第二基板保持部（143a）在缩回位置和伸展位置之间与第一基板保持部（43a）同步地移动的结构。