一种含硒的ZnO光阳极及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN105297072B

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201510702423.2

    申请日:2015-10-26

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 一种含硒的ZnO光阳极,包括FTO衬底和在FTO衬底表面依次沉积的ZnO:B薄膜、ZnO薄膜和ZnSe薄膜;以含硒的ZnO光阳极组装光电化学电池用于光电化学电解水,提高ZnO光阳极的光电化学性能。本发明利用热蒸发设备在绒面的ZnO:B‑ZnO光阳极上蒸硒原子,降低了光阳极内光生载流子复合速度、提供了PEC性能;利用MOCVD沉积系统和热蒸发沉积系统来制备含硒的ZnO光阳极,制备步骤简单,易操作,可重复性强和易于大面积沉积。

    一种PECVD系统真空腔室中辉光放电时屏蔽干扰的方法

    公开(公告)号:CN104593749B

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201510071882.5

    申请日:2015-02-11

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明公开一种PECVD系统真空腔室中辉光放电时屏蔽干扰的方法,是在真空腔室内设有一矩形或圆形围护结构的屏蔽框,并具有辉光观察窗孔和良好的接地措施,可以有效地规避真空腔室内复杂结构和几何特征对辉光所带来的不良影响,将不规则的机械结构屏蔽在限定的辉光区域之外,即屏蔽了可能带来的尖端放电效应又收敛了辉光区域的扩散,增强辉光区域的稳定性和辉光颜色的均匀性,降低辉光功率的损耗,为沉积优质的层膜提供了保证。本发明适用于正方体形或圆柱体形的真空腔室,结构简单可靠,对整体设备布局和真空腔室内的结构不构成负面影响,辉光观察窗孔可以很方便地实时查视辉光状态,成本低,易于实施。

    一种硅异质结太阳电池的制绒方法

    公开(公告)号:CN103924306B

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201410173846.5

    申请日:2014-04-25

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 一种硅异质结太阳电池的制绒方法。该方法对太阳电池的单晶硅片实行两步制绒的工艺,在硅片表面形成3-10μm的圆滑金字塔结构、去除了硅片表面的金属离子残留,实现了形貌以及电学特性的修饰。该方法可以有效的降低硅片表面在400-1200nm波长范围内的反射率,提高了电池输出特性,且其制备方法简单,易于实施。

    一种等离子体中离子种类与数量密度分布的测量方法

    公开(公告)号:CN103635004A

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201310677178.5

    申请日:2013-12-13

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 一种等离子体中离子种类与数量密度分布的测量方法,在测量装置上进行,测量步骤如下:1)将用于测量等离子体的金属探针置入待测等离子体的真空腔室内并通过真空封接装置将真空腔室密封;2)在真空腔室内通入沉积镀膜气体硅烷和平衡气体氢气;3)采用数字存储示波器记录不同硅烷气体流量情况下所测得的电流、电压信号的时域波形和频域波形;4)通过分析波形的谐波组成和震荡幅度,获得等离子体中的离子种类与数量密度分布。本发明的优点是:该测量方法设施简单,无需频率补偿电路,成本低廉;同时不受反应气体对金属导体表面污染的影响,可分析反应活性较强的气体等离子体,适用范围广。

    一种基于纳米氧化锌硅异质结电池的陷光结构及制备方法

    公开(公告)号:CN103489942A

    公开(公告)日:2014-01-01

    申请号:CN201310477860.X

    申请日:2013-10-14

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 一种基于纳米氧化锌硅异质结电池的陷光结构,包括湿法刻蚀制备金字塔形貌的硅衬底、ZnO种子层和在种子层基础上生长的氧化锌纳米柱或纳米锥,纳米柱或纳米锥的长度范围为200-1500nm,直径为20-200nm;其制备方法是,利用湿法刻蚀制备金字塔形貌,采用溶液浸沾法制备种子层,用水热法进行氧化锌纳米柱或纳米锥的生长制得。本发明的优点是:该陷光结构用于Si衬底太阳电池上,在400-1100nm范围内,长有氧化锌纳米柱的新型陷光结构的平均积分反射为5.1%,长有氧化锌纳米锥的新型陷光结构的平均积分反射率仅为2.5%,与传统的金字塔形貌陷光结构的平均积分反射10.9%相比,积分反射明显降低。

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