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公开(公告)号：CN104928648B
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201510404103.9
申请日：2015-07-10
Applicant: 南开大学
CPC classification number: Y02E60/366
Abstract: 一种氧化锌光阳极薄膜，利用金属有机化学气性沉积技术在沉积有FTO的衬底上制备氧化锌光阳极，并通过改变沉积时间和B2H6掺杂流量来改善光阳极的光电化学性能，将MOCVD‑ZnO作为光阳极用于电解水，取得了较高的光电流密度。本发明的优点是：该制备方法工艺简单、沉积温度低、制备时间短、易于实施且重复性较好；制备的ZnO光阳极薄膜具有“类金字塔”状形貌可以改善ZnO光阳极对入射光的吸收，进而增加光阳极对入射光的利用；其作为光电化学电池的光阳极用于光阳极电解水，可以提高ZnO光阳极的普适性，有利于工业化生产。
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公开(公告)号：CN103515484B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201310416643.X
申请日：2013-09-13
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , C23C14/35
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种周期性结构的绒面透明导电薄膜，包括玻璃衬底层、起模板作用的第一层ZnO薄膜和起修饰作用的第二层ZnO薄膜并依次形成叠层结构，第一层ZnO薄膜厚度为300-1500nm，第二层ZnO薄膜的厚度为400-1000nm，构成具有散射作用的周期性结构绒面透明导电薄膜；其制备方法：利用水浴方法组装PS微球，用O2等离子刻蚀PS微球，利用PS微球的模板作用，得到具有周期性结构的陷光ZnO透明导电薄膜。本发明的优点是：制备的ZnO薄膜具有良好的陷光效果，作为前电极用于薄膜太阳电池，对400-1100nm电池所能利用的波长范围内有良好散射作用，可增加入射光在硅基薄膜电池中的光程，提高光利用率。
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公开(公告)号：CN104928648A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510404103.9
申请日：2015-07-10
Applicant: 南开大学
CPC classification number: Y02E60/366
Abstract: 一种氧化锌光阳极薄膜，利用金属有机化学气性沉积技术在沉积有FTO的衬底上制备氧化锌光阳极，并通过改变沉积时间和B2H6掺杂流量来改善光阳极的光电化学性能，将MOCVD-ZnO作为光阳极用于电解水，取得了较高的光电流密度。本发明的优点是：该制备方法工艺简单、沉积温度低、制备时间短、易于实施且重复性较好；制备的ZnO光阳极薄膜具有“类金字塔”状形貌可以改善ZnO光阳极对入射光的吸收，进而增加光阳极对入射光的利用；其作为光电化学电池的光阳极用于光阳极电解水，可以提高ZnO光阳极的普适性，有利于工业化生产。
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公开(公告)号：CN103515484A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310416643.X
申请日：2013-09-13
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , C23C14/35
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/02366 , H01L31/022483 , H01L31/074 , H01L31/1884
Abstract: 一种周期性结构的绒面透明导电薄膜，包括玻璃衬底层、起模板作用的第一层ZnO薄膜和起修饰作用的第二层ZnO薄膜并依次形成叠层结构，第一层ZnO薄膜厚度为300-1500nm，第二层ZnO薄膜的厚度为400-1000nm，构成具有散射作用的周期性结构绒面透明导电薄膜；其制备方法：利用水浴方法组装PS微球，用O2等离子刻蚀PS微球，利用PS微球的模板作用，得到具有周期性结构的陷光ZnO透明导电薄膜。本发明的优点是：制备的ZnO薄膜具有良好的陷光效果，作为前电极用于薄膜太阳电池，对400-1100nm电池所能利用的波长范围内有良好散射作用，可增加入射光在硅基薄膜电池中的光程，提高光利用率。
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