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公开(公告)号:CN103515484B
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201310416643.X
申请日:2013-09-13
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , C23C14/35
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种周期性结构的绒面透明导电薄膜,包括玻璃衬底层、起模板作用的第一层ZnO薄膜和起修饰作用的第二层ZnO薄膜并依次形成叠层结构,第一层ZnO薄膜厚度为300-1500nm,第二层ZnO薄膜的厚度为400-1000nm,构成具有散射作用的周期性结构绒面透明导电薄膜;其制备方法:利用水浴方法组装PS微球,用O2等离子刻蚀PS微球,利用PS微球的模板作用,得到具有周期性结构的陷光ZnO透明导电薄膜。本发明的优点是:制备的ZnO薄膜具有良好的陷光效果,作为前电极用于薄膜太阳电池,对400-1100nm电池所能利用的波长范围内有良好散射作用,可增加入射光在硅基薄膜电池中的光程,提高光利用率。
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公开(公告)号:CN103474483B
公开(公告)日:2017-10-17
申请号:CN201310416645.9
申请日:2013-09-13
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/052 , H01L31/18 , H01L31/20
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种周期性结构的背反射电极,包括衬底层、形成模板作用的第一层金属薄膜和起修饰作用的第二层金属薄膜,两层金属薄膜均为金属Ag、Al或Mo薄膜,构成具有宽光谱散射作用的周期性结构的背反射电极;其制备方法,利用水浴方法组装聚苯乙烯(PS)微球,用O2等离子刻蚀PS微球,利用刻蚀后的聚苯乙烯微球的模板作用,得到具有宽光谱散射作用的周期性结构的背反射电极用于作薄膜太阳电池的背反射电极。本发明的优点是:利用聚苯乙烯微球的模板作用和磁控溅射或蒸发金属薄膜,实现了高散射的周期性结构背反射电极的制备;应用于薄膜太阳电池,其短路电流密度和转换效率得到了提高。
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公开(公告)号:CN103474483A
公开(公告)日:2013-12-25
申请号:CN201310416645.9
申请日:2013-09-13
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/052 , H01L31/18 , H01L31/20
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种周期性结构的背反射电极,包括衬底层、形成模板作用的第一层金属薄膜和起修饰作用的第二层金属薄膜,两层金属薄膜均为金属Ag、Al或Mo薄膜,构成具有宽光谱散射作用的周期性结构的背反射电极;其制备方法,利用水浴方法组装聚苯乙烯(PS)微球,用O2等离子刻蚀PS微球,利用刻蚀后的聚苯乙烯微球的模板作用,得到具有宽光谱散射作用的周期性结构的背反射电极用于作薄膜太阳电池的背反射电极。本发明的优点是:利用聚苯乙烯微球的模板作用和磁控溅射或蒸发金属薄膜,实现了高散射的周期性结构背反射电极的制备;应用于薄膜太阳电池,其短路电流密度和转换效率得到了提高。
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公开(公告)号:CN103515484A
公开(公告)日:2014-01-15
申请号:CN201310416643.X
申请日:2013-09-13
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , C23C14/35
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/02366 , H01L31/022483 , H01L31/074 , H01L31/1884
Abstract: 一种周期性结构的绒面透明导电薄膜,包括玻璃衬底层、起模板作用的第一层ZnO薄膜和起修饰作用的第二层ZnO薄膜并依次形成叠层结构,第一层ZnO薄膜厚度为300-1500nm,第二层ZnO薄膜的厚度为400-1000nm,构成具有散射作用的周期性结构绒面透明导电薄膜;其制备方法:利用水浴方法组装PS微球,用O2等离子刻蚀PS微球,利用PS微球的模板作用,得到具有周期性结构的陷光ZnO透明导电薄膜。本发明的优点是:制备的ZnO薄膜具有良好的陷光效果,作为前电极用于薄膜太阳电池,对400-1100nm电池所能利用的波长范围内有良好散射作用,可增加入射光在硅基薄膜电池中的光程,提高光利用率。
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