一种利用反应等离子沉积技术生长宽光谱MGZO-TCO薄膜的方法及应用

    公开(公告)号:CN109182971A

    公开(公告)日:2019-01-11

    申请号:CN201810757314.4

    申请日:2018-07-11

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 一种利用反应等离子沉积技术生长宽光谱MGZO-TCO薄膜的方法及其应用,属于光电子器件领域。以组分纯度为99.99%的MgO和Ga2O3掺杂的ZnO靶材即ZnO:Ga2O3:MgO陶瓷靶作为靶材原料,溅射气体为Ar气,镀膜过程中引入少量H2或O2,基片偏压0-150V;衬底温度为室温-200度,得到结构为glass/MGZO薄膜。器件界面生长缓冲层SnOx,获得复合结构SnOx/MGZO薄膜。本发明薄膜具有宽光谱透过率,并且维持优良的电学特性和表面结构,应用于晶硅异质结太阳电池器件,可提高晶体硅异质结太阳电池等器件效率。

    一种利用反应等离子沉积技术生长宽光谱MGZO-TCO薄膜的方法及应用

    公开(公告)号:CN109182971B

    公开(公告)日:2020-02-07

    申请号:CN201810757314.4

    申请日:2018-07-11

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 一种利用反应等离子沉积技术生长宽光谱MGZO‑TCO薄膜的方法及其应用,属于光电子器件领域。以组分纯度为99.99%的MgO和Ga2O3掺杂的ZnO靶材即ZnO:Ga2O3:MgO陶瓷靶作为靶材原料,溅射气体为Ar气,镀膜过程中引入少量H2或O2,基片偏压0‑150V;衬底温度为室温‑200度,得到结构为glass/MGZO薄膜。器件界面生长缓冲层SnOx,获得复合结构SnOx/MGZO薄膜。本发明薄膜具有宽光谱透过率,并且维持优良的电学特性和表面结构,应用于晶硅异质结太阳电池器件,可提高晶体硅异质结太阳电池等器件效率。

    一种调控钙钛矿/硅叠层电池中顶、底电池光电流匹配的方法

    公开(公告)号:CN107507928A

    公开(公告)日:2017-12-22

    申请号:CN201710594119.X

    申请日:2017-07-20

    Applicant: 南开大学

    CPC classification number: H01L51/56

    Abstract: 一种调控钙钛矿/硅叠层电池光电流匹配的方法,该方法以硅太阳电池为底部电池,钙钛矿太阳电池为顶部电池,通过调节顶部透明导电电极的厚度,实现了透明导电薄膜中因干涉相消产生的增透峰的峰位在可见光区域移动。钙钛矿顶电池在500-600nm波段往往具有较高的光谱响应。当透明导电薄膜的增透峰在相应波段范围时,一方面可起到增透膜的作用,增大顶部钙钛矿电池外量子效率(EQE)响应,提升光电流;另一方面也可调整顶电池在短波段对光的吸收及在长波段光的透过,对顶、底电池的光谱分配做出微调,进一步实现顶、底电池电流匹配。该方法可有效提升叠层电池中的光谱响应,进而提升器件的短路电流密度及效率,且该方法简单,易于实施。

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