一种基于MEMS的压力传感器
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104132767A

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201410360832.4

    申请日:2014-07-25

    Abstract: 本发明提供一种基于MEMS的压力传感器,包括基座、下盖、支架、压力敏感芯体、绝缘垫、信号处理电路板、外壳、电连接器、以及引线板。压力敏感芯体采用溅射薄膜应变式原理,其作用是感应被测介质的压力,输出与压力信号变化成比例的电信号;信号处理电路是一种高度集成的传感器信号处理电路,用于给压力敏感芯体供电,同时对压力敏感芯体输出的信号进行放大、校准和温度补偿功能,实现高精度的信号调理;基座和外壳提供与管路的接口,并将压力敏感芯体与信号处理线路板进行封装。本发明的压力传感器为一体化结构,可靠性高,尺寸小,重量轻,适合于微小超高压冷气推进系统高压气瓶压力的精确测量。

    一种快速响应螺线管电磁阀

    公开(公告)号:CN106641391B

    公开(公告)日:2019-03-26

    申请号:CN201611104698.7

    申请日:2016-12-05

    Abstract: 一种快速响应螺线管电磁阀,主要由入口接头(1)、外导磁体(2)、回复弹簧(3)、回复弹簧垫圈(4)、阀体(5)、线圈(6)、衔铁组件(7)、密封弹簧垫圈(8)、阀座(9)构成。本发明通过增加一个回复弹簧(3),并与衔铁组件(7)之间设置一个空程,可以使得回复弹簧(3)在不影响电磁阀开启的情况下,吸收衔铁开启运动过程中的动能,转化为加速电磁阀关闭的弹性势能,从而实现电磁阀开启响应时间和关闭响应时间的同时提高。此外,衔铁组件(7)采用两端悬浮式无摩擦结构,在进一步提高响应时间的同时,使电磁阀具有长寿命的优点。

    一种适用于高压气体的压电比例调节阀

    公开(公告)号:CN106015685B

    公开(公告)日:2018-09-18

    申请号:CN201610587115.4

    申请日:2016-07-22

    Abstract: 一种适用于高压气体的压电比例调节阀,包括入口端盖组件、双级柔性铰链位移放大式压电驱动器、阀体、导向片弹簧压环、导向片弹簧、阀杆和阀座;阀体为两端直径不同的空心圆柱体,直径小的圆柱体两端内壁加工有台阶,台阶上设置有导向片弹簧和导向片弹簧压环,双级柔性铰链位移放大式压电驱动器一侧与阀杆连接,阀杆穿过导向片弹簧后插入阀座中实现密封,双级柔性铰链位移放大式压电驱动器的电缆通过入口端盖组件与外部驱动电压连接,入口端盖组件与双级柔性铰链位移放大式压电驱动器另一侧连接,入口端盖组件与阀体、阀座与阀体通过电子束焊接方式连接在一起。本发明的压电比例调节阀质量轻、流量调节范围大、精度高、抗力学环境能力强。

    一种适用于高压气体的压电比例调节阀

    公开(公告)号:CN106015685A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610587115.4

    申请日:2016-07-22

    CPC classification number: F16K31/004

    Abstract: 一种适用于高压气体的压电比例调节阀,包括入口端盖组件、双级柔性铰链位移放大式压电驱动器、阀体、导向片弹簧压环、导向片弹簧、阀杆和阀座;阀体为两端直径不同的空心圆柱体,直径小的圆柱体两端内壁加工有台阶,台阶上设置有导向片弹簧和导向片弹簧压环,双级柔性铰链位移放大式压电驱动器一侧与阀杆连接,阀杆穿过导向片弹簧后插入阀座中实现密封,双级柔性铰链位移放大式压电驱动器的电缆通过入口端盖组件与外部驱动电压连接,入口端盖组件与双级柔性铰链位移放大式压电驱动器另一侧连接,入口端盖组件与阀体、阀座与阀体通过电子束焊接方式连接在一起。本发明的压电比例调节阀质量轻、流量调节范围大、精度高、抗力学环境能力强。

    一种基于MEMS的压力传感器
    30.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104132767B

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201410360832.4

    申请日:2014-07-25

    Abstract: 本发明提供一种基于MEMS的压力传感器,包括基座、下盖、支架、压力敏感芯体、绝缘垫、信号处理电路板、外壳、电连接器、以及引线板。压力敏感芯体采用溅射薄膜应变式原理,其作用是感应被测介质的压力,输出与压力信号变化成比例的电信号;信号处理电路是一种高度集成的传感器信号处理电路,用于给压力敏感芯体供电,同时对压力敏感芯体输出的信号进行放大、校准和温度补偿功能,实现高精度的信号调理;基座和外壳提供与管路的接口,并将压力敏感芯体与信号处理线路板进行封装。本发明的压力传感器为一体化结构,可靠性高,尺寸小,重量轻,适合于微小超高压冷气推进系统高压气瓶压力的精确测量。

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