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公开(公告)号：CN110715697A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201910913154.2
申请日：2019-09-25
Applicant: 北京控制工程研究所
Abstract: 本发明提供一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，包括测量元件、陶瓷电连接器、流道组件。测量元件用于感受被测流体流量，将流量信号转化为变化的电阻阻值信号，进而转化为电压模拟量的变化；陶瓷电连接器用于承载测量元件，通过陶瓷材料上的导电薄膜将测量元件所测信号输出，同时与流道组件配合，起到承压与密封作用；流道组件承载被测流体，形成层流换热通道，同时跟陶瓷电连接器配合。本发明结构简单、可靠性高、尺寸小、重量轻，适合于微克级气体的高精度测量。
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公开(公告)号：CN109724637A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201811581604.4
申请日：2018-12-24
Applicant: 北京控制工程研究所
IPC: G01D18/00
Abstract: 本发明提供一种基于试验数据的传感器元件质量评估方法，用于传感器元件的可靠性筛选，该方法基于传感器元件试验数据，采用相关性分析和主成分分析的数学方法发掘传感器元件试验过程数据隐含的信息，并采用概率统计的方法对分析结果进行量化和数据判读，以剔除存在风险的传感器元件。本发明从试验数据分析角度出发，能有效弥补传统方法仅依靠可靠性试验进行筛选的不足，可以很好地用于传感器元件的可靠性筛选，尤其适用于航空、航天等领域对传感器元件可靠性要求高的场合。
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公开(公告)号：CN109579928A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811409416.3
申请日：2018-11-23
Applicant: 北京控制工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种热式微流量测量传感器流道及密封结构，包括底板、元件基座、连接板和检测元件；底板和连接板均为矩形板，底板上分别设有用于气体流通的凹槽和用于安装元件基座的圆孔，圆孔轴线穿过凹槽，元件基座为圆台，元件基座同轴焊接在圆孔中，元件基座上安装有用于检测气体流动状态的检测元件，连接板与底板固定连接，连接板上分别设有用于配合凹槽的凸缘和用于气体流通的通孔，通孔轴线穿过凸缘。本发明通过底板凹槽与连接板凸缘的配合，避免了气体紊流，弥补了MEMS热式流量传感器检测稳定性较差的缺陷；通过设置填充件并将底板与连接板焊接，确保了检测元件和气体流道的可靠密封，解决了MEMS热式流量传感器结构及其流道密封性较低的问题。
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公开(公告)号：CN104132767B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201410360832.4
申请日：2014-07-25
Applicant: 北京控制工程研究所
IPC: G01L9/04
Abstract: 本发明提供一种基于MEMS的压力传感器，包括基座、下盖、支架、压力敏感芯体、绝缘垫、信号处理电路板、外壳、电连接器、以及引线板。压力敏感芯体采用溅射薄膜应变式原理，其作用是感应被测介质的压力，输出与压力信号变化成比例的电信号；信号处理电路是一种高度集成的传感器信号处理电路，用于给压力敏感芯体供电，同时对压力敏感芯体输出的信号进行放大、校准和温度补偿功能，实现高精度的信号调理；基座和外壳提供与管路的接口，并将压力敏感芯体与信号处理线路板进行封装。本发明的压力传感器为一体化结构，可靠性高，尺寸小，重量轻，适合于微小超高压冷气推进系统高压气瓶压力的精确测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104482971A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410742115.8
申请日：2014-12-05
Applicant: 北京控制工程研究所
Abstract: 本发明提供了一种基于MEMS技术的热式流量传感器，其通过发热元件向被测流体散热，并通过测温元件对流体热量进行检测来测量流量。该热式流量传感器包括发热元件、位于发热元件上游侧且离发热元件不同距离的两组测温元件、对称布置在发热元件下游侧的两组测温元件、以及相应的加热控制电路和信号检测电路。本发明的热式流量传感器同时具有高灵敏度和宽量程的特点，与传统的热式流量传感器相比能实现更高的灵敏度和更宽的量程，并且利用微电子机械加工技术制作，具有压力损失小、热响应速度快、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN119043442A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411101086.7
申请日：2024-08-12
Applicant: 北京控制工程研究所
Inventor： 刘清源 , 龙军 , 赵春阳 , 关威 , 刘锦涛 , 李永 , 魏延明 , 王平 , 姚兆普 , 蔡坤 , 汪旭东 , 吕泰增 , 张恒 , 付新菊 , 张占海 , 孙超 , 姜鹏 , 石召新 , 朱智博 , 董明义
Abstract: 一种抑制超声波流量计气泡蓄留的管路结构，包括斜管段、直管段；直管段的两端分别安装换能器，两个斜管段以预设的角度安装在所述直管段上；在斜管段与直管段夹角处增加凹槽结构，凹槽结构剖面为抛物线所述凹槽结构为对称结构，对称轴与直管段轴线重合，包括与对称轴垂直的平行的两个平面，一个平面与直管段端面相接，两个平面之间为外凸的抛物面，斜管段以预设的角度与一侧抛物面相接，斜管段的轴线延长线经过凹槽结构的中心。
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公开(公告)号：CN119042396A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411137265.6
申请日：2024-08-19
Applicant: 北京控制工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于流量反馈的长寿命压电比例微流量控制器结构，包括：流控器阀体、压电驱动阀、流量传感器组件等。本发明通过陶瓷‑金属密封结构解决了微位移驱动器密封副蠕变引起失效的长寿命问题，通过分流结构可以方便的实现该类产品系列化。该长寿命压电比例微流量控制器也可以广泛应用于半导体制造、医疗、生化等高精尖民用领域。
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公开(公告)号：CN115265683A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210672450.X
申请日：2022-06-14
Applicant: 北京控制工程研究所
Inventor： 龙军 , 关威 , 姚兆普 , 李永 , 王平 , 官长斌 , 刘旭辉 , 刘锦涛 , 付新菊 , 蔡坤 , 魏延明 , 李宗良 , 张恒 , 吕泰增 , 石召新 , 刘清源 , 朱智博
IPC: G01F1/66
Abstract: 本发明提供一种提高时差法超声波流量计气泡适应性的信号处理方法，解决时差法超声波流量计在被测液体中存在气泡时测量性能下降或功能丧失的问题，根据时差法超声波流量计的信号特征，对上下游时间信号的统计量进行特征识别，采用聚类算法思想进行流速信息提取，从气泡干扰的波动信号中提取被测液体流速信息，克服气泡对流量测量的影响，有效提升时差法超声波流量计的气泡适应性，拓展时差法超声波流量计的适用范围。
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公开(公告)号：CN110715697B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201910913154.2
申请日：2019-09-25
Applicant: 北京控制工程研究所
Abstract: 本发明提供一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，包括测量元件、陶瓷电连接器、流道组件。测量元件用于感受被测流体流量，将流量信号转化为变化的电阻阻值信号，进而转化为电压模拟量的变化；陶瓷电连接器用于承载测量元件，通过陶瓷材料上的导电薄膜将测量元件所测信号输出，同时与流道组件配合，起到承压与密封作用；流道组件承载被测流体，形成层流换热通道，同时跟陶瓷电连接器配合。本发明结构简单、可靠性高、尺寸小、重量轻，适合于微克级气体的高精度测量。
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