一种基于MEMS技术的热式流量传感器

    公开(公告)号:CN104482971B

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201410742115.8

    申请日:2014-12-05

    Abstract: 本发明提供了一种基于MEMS技术的热式流量传感器,其通过发热元件向被测流体散热,并通过测温元件对流体热量进行检测来测量流量。该热式流量传感器包括发热元件、位于发热元件上游侧且离发热元件不同距离的两组测温元件、对称布置在发热元件下游侧的两组测温元件、以及相应的加热控制电路和信号检测电路。本发明的热式流量传感器同时具有高灵敏度和宽量程的特点,与传统的热式流量传感器相比能实现更高的灵敏度和更宽的量程,并且利用微电子机械加工技术制作,具有压力损失小、热响应速度快、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点。

    一种基于MEMS技术的热式流量传感器

    公开(公告)号:CN104482971A

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201410742115.8

    申请日:2014-12-05

    Abstract: 本发明提供了一种基于MEMS技术的热式流量传感器,其通过发热元件向被测流体散热,并通过测温元件对流体热量进行检测来测量流量。该热式流量传感器包括发热元件、位于发热元件上游侧且离发热元件不同距离的两组测温元件、对称布置在发热元件下游侧的两组测温元件、以及相应的加热控制电路和信号检测电路。本发明的热式流量传感器同时具有高灵敏度和宽量程的特点,与传统的热式流量传感器相比能实现更高的灵敏度和更宽的量程,并且利用微电子机械加工技术制作,具有压力损失小、热响应速度快、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点。

    一种数字量遥测电路
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102761320B

    公开(公告)日:2014-10-08

    申请号:CN201210242014.5

    申请日:2012-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种数字量遥测电路,包括同步脉冲接口、路脉冲接口、复位脉冲接口、遥测门控信号产生电路、移位时钟产生电路、遥测中断产生电路、遥测状态读取电路、数据串出移位电路、遥测数据锁存电路、遥测输出电路。其中遥测门控信号产生电路根据多路路脉冲信号中第一路路脉冲的到达时刻和最后一路路脉冲的无效时刻产生门控信号;移位时钟电路利用门控信号输出移位时钟信号;遥测中断产生电路在门控信号和移位时钟信号的控制下产生控制遥测数据锁存电路的中断信号;遥测数据锁存电路根据中断信号输出和锁存数据。采用本发明减少了遥测电路中接口电路的数量,实现了对路脉冲信号的灵活接收。

    一种数字量遥测电路
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102761320A

    公开(公告)日:2012-10-31

    申请号:CN201210242014.5

    申请日:2012-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种数字量遥测电路,包括同步脉冲接口、路脉冲接口、复位脉冲接口、遥测门控信号产生电路、移位时钟产生电路、遥测中断产生电路、遥测状态读取电路、数据串出移位电路、遥测数据锁存电路、遥测输出电路。其中遥测门控信号产生电路根据多路路脉冲信号中第一路路脉冲的到达时刻和最后一路路脉冲的无效时刻产生门控信号;移位时钟电路利用门控信号输出移位时钟信号;遥测中断产生电路在门控信号和移位时钟信号的控制下产生控制遥测数据锁存电路的中断信号;遥测数据锁存电路根据中断信号输出和锁存数据。采用本发明减少了遥测电路中接口电路的数量,实现了对路脉冲信号的灵活接收。

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