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公开(公告)号：CN109459192A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811484865.4
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明涉及一种基于比较法校准正压漏孔的分子流进样系统及控制方法，提出基于动态分子流进样方法和累积分子流进样方法相结合的示漏气体进样系统和方法，在漏孔泄漏的气体累积一段时间后，在一套比较法正压漏孔校准系统上、实现了动态比较和累积比较两种质谱分析方法的分子流进样，突破了比较法校准正压漏孔质谱分析进样的关键技术，并且解决了累积法条件下、正压漏孔校准过程中混合气体分子流进样和微量He气累积测量的技术难题。
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公开(公告)号：CN119936953A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510095165.X
申请日：2025-01-21
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01T1/29
Abstract: 本发明涉及一种用于原位测量离子能量和通量的装置，该装置包括一维传动机构和固定于一维传动机构的底端的测量探头，测量探头设置于用于传输离子束的传输通道内；测量探头包括探头壳体、可拆卸地套装在探头壳体上的盖板和用于收集离子的收集极，收集极与盖板设置于探头壳体相对的两端，探头壳体的内壁设置有绝缘套筒；盖板开设有中心通孔，用于控制进入测量探头的离子流通量；沿中心通孔至收集极的方向，探头壳体内依次排列设置有第一栅网、第二栅网、第三栅网、第四栅网。本发明，通过在测量探头上施加不同的电压，实现了用一个探头测量离子能量和通量的效果，大大降低了实验成本，提高了实验效率，节省了所需的测量空间。
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公开(公告)号：CN119756686A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202510095166.4
申请日：2025-01-21
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种用于空间压力传感器地面校准装置及方法，校准装置包括供气模块，用于提供稳定流量的工质气体；高速定向流发生模块，与供气模块的出气端连接，用于输出高速定向流；超高真空模块，包括校准室和第一超高真空泵组，校准室的进气口与高速定向流发生模块的输出端连接，待校准空间压力传感器设置在校准室内，与校准室的进气口和第一超高真空泵组同轴设置。本发明，通过高速定向流发生模块产生具有标准压力的高速定向流，作为校准空间压力传感器的标准，克服了传统定向流压力校准装置输出定向流速度低的缺点，能够更准确地在地面模拟航天器在轨运行时所面临的高速定向流环境，有效提高空间压力传感器测量值的可靠性与准确性。
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公开(公告)号：CN112304804B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202011169846.X
申请日：2020-10-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/14
Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
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公开(公告)号：CN116697177A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310818990.9
申请日：2023-07-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及用于高真空泵抽速测试进气散流机构，包括连接法兰、连接于所述连接法兰一侧的进气管、以及依次连接于所述连接法兰另一侧的平面散流板、第一连接杆、第一锥形散流版、第二连接杆和第二锥形散流版。本发明基于双级锥形散流结构的散流板可以保证气体分子在进入后至少发生两次碰撞，实现良好的平衡态，还具有放气量小的优点，同避免了传统弯管进气引起的束流效应，减小了本底真空的测量不确定度，可以提高测试效率和测试结果的可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112945356B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202110116702.6
申请日：2021-01-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法，系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3)，所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6)，所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上，所述主管线(1)上还设有第一真空室(8)，其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间，所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体，从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。
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公开(公告)号：CN112945356A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110116702.6
申请日：2021-01-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法，系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3)，所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6)，所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上，所述主管线(1)上还设有第一真空室(8)，其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间，所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体，从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。
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公开(公告)号：CN109026804B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201810772557.5
申请日：2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: F04D27/00
Abstract: 本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法，该系统仅采用流量法一种方法测量抽速，研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩，采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10‑1Pa～10‑7Pa的压力范围下，能够对分子泵抽速范围实现3000L/s～5000L/s内的测量。真空系统的机械泵通过第一阀门与分子泵的抽气出口连接，分子泵的入口与第一真空室连接，第一真空室上面接了副标准电离真空计、监测真空计和第三阀门，第三阀门的另一端与第二真空室连接，第二真空室上面连接了第三阀门、复合型标准气体流量计的出气口，复合型标准气体流量计的进气口与第二阀门连接，第二阀门的另一端与气瓶连接。
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公开(公告)号：CN109341946A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811432009.4
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明提供一种复合型比较法真空校准系统及方法，包括：机械泵、分子泵、第一真空室、第二真空室、第一至第三真空计、第一至第十真空阀门、气瓶、第一至第三开孔；所述分子泵的抽气出口通过第一真空阀门与机械泵连接，其抽气入口通过第二真空阀门、第三开孔与第一真空室连接且其通过第三真空阀门连接至机械泵；第一真空室与第三真空计连接、通过第四真空阀门连接第二真空计；所述第一开孔通过第五真空阀门、第二开孔通过第六真空阀门连接至第七真空阀门后与气瓶连接；所述第八真空阀门连接至第二真空室，及第二真空室上连接第一真空计且通过第十真空阀门连接至机械泵。本发明将多种检测技术集成在一台设备上，能够节约设备成本，扩大校准范围。
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公开(公告)号：CN109026804A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810772557.5
申请日：2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: F04D27/00
CPC classification number: F04D27/001
Abstract: 本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法，该系统仅采用流量法一种方法测量抽速，研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩，采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10‑1Pa～10‑7Pa的压力范围下，能够对分子泵抽速范围实现3000L/s～5000L/s内的测量。真空系统的机械泵通过第一阀门与分子泵的抽气出口连接，分子泵的入口与第一真空室连接，第一真空室上面接了副标准电离真空计、监测真空计和第三阀门，第三阀门的另一端与第二真空室连接，第二真空室上面连接了第三阀门、复合型标准气体流量计的出气口，复合型标准气体流量计的进气口与第二阀门连接，第二阀门的另一端与气瓶连接。
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