丙烯酸树脂组合物和胶粘剂

    公开(公告)号:CN1958660A

    公开(公告)日:2007-05-09

    申请号:CN200610143606.6

    申请日:2006-11-02

    Abstract: 提供适于即使在高湿热条件下以及重复加热-冷却时,也不产生光学叠层体的外观变化的耐久性优异的胶粘剂的丙烯酸树脂组合物,其相对于(1)和(2)100份,含有10份~50份的(1),其中(1)中所含有的羟基浓度[b]、(2)中所含有的羟基浓度[b′]和该组合物中所含有的极性官能团浓度[c]的关系满足下式:6≤[b/(b+b′+c)]≤50;(1):以(甲基)丙烯酸酯(a)为主要成分,含有0.1mol%~10mol%的(b)的分子量为50000~500000的丙烯酸树脂;(2)以(a)为主要成分,含有0.5mol%~8mol%的(c)的分子量为1000000~1500000的丙烯酸树脂;(b):含有羟基和烯属双键的单体;(c):分子内含有极性官能团和烯属双键的单体。

    树脂、抗蚀剂组合物和抗蚀图案的制造方法

    公开(公告)号:CN114995059A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210663127.6

    申请日:2016-03-31

    Abstract: 本发明的课题涉及提供一种可以制造形状良好并且抗裂性良好的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物的目的。其解決手段为抗蚀剂组合物,其含有:具有对酸不稳定基团的树脂、含有式(I)所示的结构单元的树脂、产酸剂和溶剂。[式中、Ri41为氢原子或甲基;Ri42为碳原子数2~7的酰基或氢原子、可被羟基取代的碳原子数1~10的烃基;Ri43为碳原子数1~6的烷基或碳原子数1~6的烷氧基;p为0~4的整数;Z表示含有式(Ia)所示的基团的碳原子数3~20的2价烃基,该烃基的亚甲基可替换为氧原子、硫原子、羰基。*为与氧原子的键合位点;w和r各自独立地表示1~10的整数,其中,w为1时,Ri42为碳原子数2~7的酰基。]。

    抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法以及镀敷造型物的制造方法

    公开(公告)号:CN113296357A

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN202110189234.5

    申请日:2021-02-19

    Abstract: 本发明提供一种对镀敷处理具有充分的耐性且能够精度优良地形成抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物。并提供使用了该抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法、以及使用了该抗蚀剂图案的镀敷造型物的制造方法。本发明涉及含有具有醌二叠氮基磺酰基的化合物(I)、包含具有对酸不稳定的基团的结构单元的树脂(A1)、碱可溶性树脂(A2)及酸产生剂(B)的抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物制造抗蚀剂图案的方法、以及使用该抗蚀剂图案制造镀敷造型物的方法。

    光致抗蚀剂组合物
    27.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103454857B

    公开(公告)日:2020-01-03

    申请号:CN201310198534.5

    申请日:2013-05-24

    Abstract: 一种光致抗蚀剂组合物,所述光致抗蚀剂组合物包含:树脂,所述树脂显示通过酸的作用在碱性水溶液中的溶解度增加;酸生成剂;由式(I)表示的化合物;和溶剂,所述溶剂的量为所述光致抗蚀剂组合物的总量的40至75质量%:其中所述环W1是含氮杂环,或具有取代或未取代的氨基的苯环,A1表示苯基或萘基,并且n表示2或3的整数。

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