公开(公告)号：CN104460232B

公开(公告)日：2019-11-15

申请号：CN201410478878.6

申请日：2014-09-18

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 杉原昌子 ,  河村麻贵 ,  合田真衣子

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供了一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：具有酸不稳定基团的树脂；酸生成剂；具有硫醚键和巯基的化合物；和溶剂。

公开(公告)号：CN104460232A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410478878.6

申请日：2014-09-18

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 杉原昌子 ,  河村麻贵 ,  合田真衣子

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供了一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：具有酸不稳定基团的树脂；酸生成剂；具有硫醚键和巯基的化合物；和溶剂。