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公开(公告)号：CN1936646A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610113712.X
申请日：2006-10-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B27/00
Abstract: 确定工艺参数与工件表面频谱分布特性的方法，涉及一种从空间频谱角度分析光学元件制造误差，尤其是表面面形中高频误差与工艺参数的定性定量关系，利用信息处理技术对测试仪器所获取的光学元件的制造误差数据进行处理，采取一维功率谱密度比值作为评价指标确定工艺参数同频谱分布特性的关系。本发明通过对工艺参数与工件表面频谱分布特性的定性定量研究，提供了一条光学元件面形加工中工艺参数确定的新方法，对高质量光学元件的加工具有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN1293990C
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN03123566.2
申请日：2003-05-29
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 计算机控制大型非球面修带机械手由底座支架，为磨头在光学镜面提供径向直线运动、变速及定位的直线运动部分，为磨头提供摆动速度、摆幅等的磨头摆动部分，为磨头自转提供需要的磨削转速的磨头转动部分及控制部分组成，直线运动部分安装在底座支架的上端，并与磨头摆动部分一端相接，磨头摆动部分的另一端安装着磨头转动部分，控制部分通过伺服系统分别控制直线运动部分、磨头摆动部分及磨头转动部分。本发明采用自动化机械手替代了人手，降低了加工者的劳动强度，节约了劳动力，通过数字量精确控制，提高了加工精度，且结构简单，安装和移位方便；同时操作方便，在一台计算机上可以完成所有的工作，可以在单台机床上实用多套机械手，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN1552552A
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：CN03123566.2
申请日：2003-05-29
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 计算机控制大型非球面修带机械手由底座支架，为磨头在光学镜面提供径向直线运动、变速及定位的直线运动部分，为磨头提供摆动速度、摆幅等的磨头摆动部分，为磨头自转提供需要的磨削转速的磨头转动部分及控制部分组成，直线运动部分安装在底座支架的上端，并与磨头摆动部分一端相接，磨头摆动部分的另一端安装着磨头转动部分，控制部分通过伺服系统分别控制直线运动部分、磨头摆动部分及磨头转动部分。本发明采用自动化机械手替代了人手，降低了加工者的劳动强度，节约了劳动力，通过数字量精确控制，提高了加工精度，且结构简单，安装和移位方便；同时操作方便，在一台计算机上可以完成所有的工作，可以在单台机床上实用多套机械手，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN103837102B
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201410091461.4
申请日：2014-03-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开一种测量圆形光学平面表面粗糙度的取样方法，包括步骤：步骤S1：根据圆形光学平面的尺寸和精度要求，设定取样区域的数目为m，每个取样区域取一个采样点则共有m个取样点；步骤S2：确定每个取样区域中心在极坐标系下的角度坐标；步骤S3：确定每个取样区域中心对应的极轴坐标；步骤S4：由步骤2和步骤3，得到每个取样区域中心在极坐标系下的坐标；步骤S5：在圆形光学平面上以圆心为极点，从圆心任取一条射线作为极轴，从极轴沿逆时针为正方向建立极坐标系，在圆形光学平面上标记步骤S4取样区域中心在极坐标系下的坐标；步骤S6：使用粗糙度测量仪器在步骤5标记的取样区域测量粗糙度。本发明广泛应用于平面光学元件粗糙度的测量中。
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公开(公告)号：CN104374548B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201410653561.1
申请日：2014-11-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种透镜折射率干涉测量方法，该方法首先通过移动被测透镜，使干涉仪出射的平行光束经过标准镜头后会聚在被测透镜表面。然后采用双路测距干涉仪进行距离测量及面形误差补偿，获取被测透镜前后表面顶点处两次定位的位置坐标，利用光线追迹公式计算透镜折射率。该方法使用的测量装置包括干涉仪，标准物镜，激光测距仪，五维调整架及移动导轨。其中标准物镜和被测透镜依次放在干涉仪光源出射光线方向。被测透镜固定在五维调整架上，可在导轨上移动。本发明利用干涉法对透镜表面定位及位置补偿，实现了透镜折射率的非接触测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102889978B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210339686.8
申请日：2012-09-14
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种大口径窗口检测装置及检测方法，基于补偿器和子孔径拼接原理，包括相移干涉仪、补偿器、被测窗口、标准球面镜、调整机构及计算机系统；计算机系统与相移干涉仪连接，补偿器补偿被测窗口放入相移干涉仪与标准球面镜组成的自准直光路中所引入的象差；被测窗口通过调整机构进行调节，使相移干涉仪获得被测窗口上有相互重叠区域的子区域透射波前信息，最后由安装在计算机系统上的数据处理软件对所得到的子区域透射波前信息进行拼接处理，获得被测窗口的全口径透射波前信息；本发明为高精度大口径窗口加工测量提供检测装置及检测方法，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN103837123A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201410097979.9
申请日：2014-03-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B21/24
Abstract: 本发明是一种光学元件偏心测量装置，包括升降支架、位移传感器、力传感器、待测光学元件、支撑单元、升降旋转台、基座及数据处理和控制单元；升降支架与升降旋转台的底面固定在基座上；待测光学元件放置于支撑单元中，并由力传感器显示每次测量时支撑力是否一致，由位移传感器获得某个方向上的失高值，然后由升降旋转台将待测光学元件升到一高度并旋转一定角度后再降落回位，在力传感器显示同一数值后获得该角度上的失高值，数据处理和控制单元对旋转角度和力传感器进行控制，在获得多个方向上的一系列失高值后，由数据处理和控制单元计算出待测光学元件的偏心。
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公开(公告)号：CN102501154B
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201110329856.X
申请日：2011-10-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: B24B13/005 , H01L21/67
Abstract: 本发明是离子束抛光过程中工件装卡装置和方法，所述工件装卡装置包括四槽旋转台固定在装卡主平台上，四个沟槽正交对称分布在四槽旋转台上；四个滑动固定柱分别装在四槽旋转台的四个槽上，拧动滑动固定柱上的固定螺栓使滑动固定柱固定或松动；陶瓷帽片固定在滑动固定柱的上面；在滑动固定柱侧面有一个挂钩，在挂钩的下侧有一装卡在滑动固定柱上的升降支架结构。本发明亦具有工件装卡方法在装卡主平台上安装一个四槽旋转台，通过可滑动固定柱把工件装卡在四槽旋转台结构上，通过采用千分表旋转四槽旋转台测量距可滑动固定柱的距离，不断移动可滑动固定柱的位置调节距离一致，确保工件的中心与装卡主平台的中心一致，从而实现工件位置的精确装卡。
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公开(公告)号：CN103499310A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201310492267.2
申请日：2013-10-18
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/255 , G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种激光跟踪仪测量双曲面镜参数的装置及方法，包括激光跟踪仪，干涉仪，被测双曲面镜及辅助球面镜，激光跟踪仪配合随机配送靶球测量空间点位置坐标，干涉仪发出的波面经双曲面镜反射后，成为标准的球面波，标准的球面波经过辅助球面镜反射后，光波原路返回，对双曲面镜进行无像差点检测，在干涉仪以对双曲面镜进行无像差点检测的同时，利用激光跟踪仪配合靶球测量出干涉仪焦点空间位置坐标、辅助镜球心位置坐标，双曲面镜顶点坐标，最后通过这些空间位置坐标关系求得双曲面镜参数；本发明对双曲面镜的参数控制及研制提供了一种有效的检测手段，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN103335610A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310303322.9
申请日：2013-07-18
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明是大口径凸高次非球面的检测系统，包括相移干涉仪、辅助球面反射镜、计算全息片及计算机，计算机与相移干涉仪连接，计算全息片和凸高次非球面构成的光学系统的前焦点与相移干涉仪发出的光波焦点重合，后焦点与辅助球面反射镜的球心重合，相移干涉仪发出光波经过计算全息片后，由凸高次非球面镜反射后成为标准球面波并经过辅助球面反射镜反射后，标准球面波原路返回至相移干涉仪中，实现对所述凸高次非球面对应区域的子孔径零检测，相移干涉仪获得所述凸高次非球面上有相互重叠区域的子区域，计算机中的数据处理单元对子区域数据进行处理，得到所述凸高次非球面的全口径面形分布信息；本发明还提供一种凸球面镜或凸非球面镜的检测装置。
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