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公开(公告)号：CN113299671A
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202110265605.3
申请日：2021-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L27/144 , G01J5/10
Abstract: 本发明公开了一种原位集成超表面相控阵列的红外彩色焦平面探测器，通过在红外单色焦平面探测器衬底上原位集成超表面相控阵列，使宽谱段的红外光在透过超表面相控阵列后发生折射，折射角与光的波长一一对应，然后入射到红外单色焦平面探测器对应的亚像元位置，第一亚像元、第二亚像元、第三亚像元分别接收到不同信号，超像素单元输出单元信号，利用图像合成方法得到彩色图像。该探测器具有信号串扰小、结构简单、集成度高，利用超表面相控阵列和红外单色焦平面探测器生成红外彩色图像的优点。
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公开(公告)号：CN112013956A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN202010965538.1
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明公开了一种基于超表面的红外彩色探测器，通过在红外探测器上方放置一个用超表面制作的阶梯光栅阵列，使红外光在透过超表面阵列后发生衍射，在不同方向角上分成短、中、长波红外光，然后照射到能够探测不同波段的红外探测器上，将红外探测器上接收到的信号定义为彩色RGB信号，最后合成彩色图像。该探测器具有透光率高、分色性能好、探测效率高、利用红外波段生成彩色图像的优点。
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公开(公告)号：CN110823377A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911093692.8
申请日：2019-11-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明公开了一种基于超表面的红外伪彩色探测器，通过在红外探测器上方放置一个用超表面制作的阶梯光栅阵列，使红外光在透过超表面阵列后发生衍射，在不同方向角上分成短、中、长波红外光，然后照射到能够探测不同波段的红外探测器上，将红外探测器上接收到的信号定义为伪彩色RGB信号，最后合成伪彩色图像。该探测器具有透光率高、分色性能好、探测效率高、利用红外波段生成伪彩色图像的优点。
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公开(公告)号：CN108872104A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810598150.5
申请日：2018-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种碲镉汞薄膜组分梯度分布的测试方法。采用电感耦合等离子体技术形成碲镉汞台面结构，采用离子注入的方法把硼离子注入到P型的碲镉汞中形成PN结。使用傅里叶光谱仪对器件进行光谱扫描，同时使用灵敏电流计测量光电流响应，得到材料的归一化吸收谱图。利用归一化吸收谱图分析材料的组分。该方法采用电感耦合等离子技术分析碲镉汞材料组分的梯度分布，解决了现有的傅里叶透射光谱法和光致发光法只能测试材料表面或材料整体组分的缺点。与采用光学薄膜分析软件对碲镉汞薄膜组分进行拟合运算相比，本方法测量出碲镉汞的组分梯度分布更加精确真实，可以直接用于指导探测器的设计。
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公开(公告)号：CN106872050A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710037351.3
申请日：2017-01-19
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J5/02
CPC classification number: G01J5/02 , G01J2005/0048
Abstract: 本发明公开了一种上端面开窗的液氮杜瓦，由内、外圆柱形金属层组成真空密封腔，在内圆柱金属层顺序安装冷头，接线柱、液氮入口管和与支撑结构组成内部低温主体热传导单元，在外圆柱金属层侧面、顶面上顺序安装接插件，排气管以及窗口形成整体杜瓦结构。该结构特点在于窗口位于杜瓦上端面，内部低温主体热传导单元采用了锥形圆片状的导热结构，在保持良好的热传导性能情况下，极大地减小了冷头、杜瓦的重量，增加了所储存液氮体积；该结构优点在于振动小，重量轻，能与市场上绝大部分落射型光学测量设备组合，实现低温条件下制冷型焦平面探测器生产过程中材料，光敏元阵列芯片性能的稳定测量表征。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104752563A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510145256.6
申请日：2015-03-31
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开一种台面型红外探测器引出电极的结构及制备方法，在台面顶部引出电极一，在台面底部引出电极二，两电极的顶部处于一个水平高度。该结构的优点在于制备工艺简单，能够提高台面型红外探测器引出电极的可靠性。
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公开(公告)号：CN104752402A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510145210.4
申请日：2015-03-31
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L23/538 , H01L27/144
CPC classification number: H01L24/81
Abstract: 本发明公开一种用于红外探测器的回熔提拉倒装回熔焊的工艺方法。该工艺方法包括：对准、加压及加热和提拉三个步骤。该方法的优点在于可以根据实际需要选用铟、金等多种材料制作焊点，简化了焊点制备工艺，降低了对焊点形貌一致性的要求，同时也克服了回熔焊技术对还原性气氛和表面处理的依赖，并且能根据实际情况对互连后焊点高度进行控制。
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公开(公告)号：CN104037256A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410258854.X
申请日：2014-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/103 , H01L31/0352
CPC classification number: H01L31/103 , H01L31/0352
Abstract: 本发明公开了一种硅基碲镉汞长波光电二极管芯片，其结构自下而上依次为：Si衬底，与Si衬底牢固结合的CdTe缓冲层，在CdTe缓冲层上的微台面异质结光电二极管。本发明的优点是:相比于传统结构的硅基碲镉汞长波光电二极管芯片，本发明的硅基碲镉汞长波光电二极管芯片采用n-on-P+或p-on-N+结构；能够抑制界面复合，提高器件性能；在不使用滤光片的情况下获得窄带响应光谱，提高长波段的探测率；保证大面阵红外探测器象元串联电阻的一致性。
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公开(公告)号：CN103310108A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310251793.X
申请日：2013-06-21
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G06F19/00
Abstract: 本发明公开了一种红外焦平面探测器盲元筛选方法。本发明用于筛选面阵红外焦平面探测器中特定形状的盲元，并对其数量、连续盲元团簇的质心、连续盲元数等信息进行统计。本发明的方法步骤包括：1，生成待筛选的特定形状的盲元矩阵；2，求解探测器原始盲元数据中的连续盲元信息；3，寻找包围连续盲元团簇的最小盲元团簇矩阵；4，求解最小盲元团簇矩阵的信息；5，循环判断连续盲元团簇矩阵中是否包含待筛选的特定形状的盲元；6，统计保存筛选结果。本发明的优点是实现了特定形状的盲元筛选的自动化，提高了盲元筛选的效率，并且本发明使用的方法计算过程简单、运算速度快。
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公开(公告)号：CN101872803B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201010182276.8
申请日：2010-05-21
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种显现碲锌镉红外衬底缺陷的等离子体刻蚀方法，它涉及光电探测器材料检测技术。本发明采用高密度、低能量的诱导耦合等离子体(ICP)增强反应离子刻蚀(RIE)的方法，来显现红外CZT衬底缺陷的技术方案，巧妙地运用了ICP增强RIE刻蚀速率的精确可控性，以及在红外CZT衬底正常区域和缺陷区域的不一致性，有效解决了常规缺陷显现方法存在去除衬底速率不可控、缺陷轮廓菱角模糊的问题。本发明方法具有工艺简单、稳定性好以及显现清晰的特点。
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