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公开(公告)号：CN102305256B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201110262186.4
申请日：2011-09-06
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；选择性地除去在金属条以及衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧。该金属纳米/微米弹簧可用于流量传感器的测量，具体是将带有金属微米/纳米弹簧的衬底固定在流体通道内部；当流体流过通道时，弹簧达到平衡状态，通过测量弹簧的伸长量来测量流体流速。
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公开(公告)号：CN102517558A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110349873.X
申请日：2011-11-08
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: Y02E60/13
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种多孔金属/介质微米管及其制备方法和应用。本发明微米管制备步骤如下：制备多孔阳极氧化铝模板；沉积具有内应力的金属或介质双层薄膜；选择性地腐蚀多孔阳极氧化铝模板，从而形成管壁具有周期排列纳米孔洞结构的微米管。这种特殊结构的多孔金属/介质微米管具有多种重要应用前景。例如，可以卷曲特定材料得到微米尺度的氧化还原超级电容器；可以作为电化学生物分子传感器，将多孔金属/介质微米管浸入溶液中，通过测量其电化学性能变化探测溶液中特定的生物分子。
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公开(公告)号：CN102305256A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201110262186.4
申请日：2011-09-06
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；选择性地除去在金属条以及衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧。该金属纳米/微米弹簧可用于流量传感器的测量，具体是将带有金属微米/纳米弹簧的衬底固定在流体通道内部；当流体流过通道时，弹簧达到平衡状态，通过测量弹簧的伸长量来测量流体流速。
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公开(公告)号：CN115172521B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202210816781.6
申请日：2022-07-12
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0232
Abstract: 本发明涉及一种卷曲管状光电探测器的制备方法，包括以下步骤：(1)在衬底上制备牺牲层、机械支撑层，并图形化处理；(2)制备用于信号检测的金属电极；(3)制备半导体薄膜作为光电转换功能层；(4)去除牺牲层，释放薄膜，将薄膜弯曲成管状结构。与现有技术相比，本发明探测器管状结构光学微腔中自身的谐振模式和陷光效应，结合表面微结构增强的光场局域效应，大幅提升器件的光子调控能力，增加光吸收，提升器件对光场响应，从而得到高灵敏度的光学器件，该探测器件能实现全角度探测，灵敏度高，制备简易，在可见光通讯、光电转换、环境探测等领域具有重要的应用前景。
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公开(公告)号：CN115864001A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211416667.0
申请日：2022-11-13
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于太赫兹超材料领域，具体为一种基于二氧化钒三维可重构开口谐振环的太赫兹超材料。本发明太赫兹超材料包括高阻硅片衬底、三维开口谐振环的结构单元组成的二维阵列；结构单元为由二氧化钒和金薄膜双层条带卷曲成立体结构；由金薄膜产生电磁波共振，二氧化钒可改变谐振环开口角度。该三维超材料实现共振吸收和调制的方式为：在室温下太赫兹电磁波与金开口谐振环发生L‑C共振，产生特定频率的吸收；随着温度升高，二氧化钒发生由绝缘相至金属相的相变，晶格变化产生体积膨胀，开口谐振环开口角度随温度上升而变大，进而对太赫兹电磁波的共振频率进行调节。本发明突破传统平面结构不足，实现对共振频率动态调节，拓展了太赫兹超材料应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113397591B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202110665439.6
申请日：2021-06-16
Applicant: 复旦大学
IPC: A61B8/00
Abstract: 本发明提供了一种微纳马达实时成像与追踪方法、装置及微纳马达控制方法，其特征在于，包括如下步骤：利用激励超声探头获取因不同偏转角度的平面波组而反射出的超声射频回波信号组；再利用波束合成算法对超声射频回波信号进行波束合成得到初始图像；对每一组超声射频回波信号组对应的复数帧初始图像进行相干复合得到复合后图像；对所有复合后图像进行图像配准得到多个配准后图像；利用预定的杂波滤除算法对所有配准后图像进行杂波滤波得到多个滤波后图像；实时显示滤波后图像；利用微纳马达识别方法对滤波后图像中的微纳马达进行识别定位得到单帧位置；根据所有单帧位置以及发射频率得到微纳马达的运动轨迹与运动速度。
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公开(公告)号：CN113008841B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202110214271.7
申请日：2021-02-26
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种基于钯‑回音壁模式光学谐振腔的氢气传感器及其制备和应用，该氢气传感器的制备过程具体为：(1)制备WGM型管状光学谐振微腔；(2)将金属钯颗粒耦合在WGM型管状光学谐振微腔表面，即得到氢气传感器。与现有技术相比，本发明使用光学方法进行氢气传感，没有电流传输，更加安全且制备方法简单，灵敏度高，检测限低，在氢气传感领域有重要应用前景。
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公开(公告)号：CN113539392A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110871201.9
申请日：2021-07-30
Applicant: 复旦大学
IPC: G16C60/00 , G06F30/20 , G06F113/08 , G06F119/18
Abstract: 本发明提供了一种基于FDTD的结构色微球壳制备方法，包括以下步骤：步骤1，设计结构色微球壳的结构包括内相、包覆内相的壳层以及位于壳层外的外相，设定各组分的折射率，基于FDTD算法根据结构色微球壳的结构构建微球壳模型，通过改变微球壳模型的结构参数，模拟得到结构色微球壳的反射光谱，建立结构参数与结构色的联系，并根据结构色微球壳需产生的结构色确定对应的结构参数；步骤2，在毛细管微流控芯片中通入多相流体，并根据结构参数调节外相溶液的流速、壳层材料溶液的流速以及内相气体的气压，制备得到液层微球壳；步骤3，根据壳层材料溶液的不同，采用对应的固化方式固化液层微球壳，得到脱离液体环境稳定存在的结构色微球壳。
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公开(公告)号：CN113397591A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110665439.6
申请日：2021-06-16
Applicant: 复旦大学
IPC: A61B8/00
Abstract: 本发明提供了一种微纳马达实时成像与追踪方法、装置及微纳马达控制方法，其特征在于，包括如下步骤：利用激励超声探头获取因不同偏转角度的平面波组而反射出的超声射频回波信号组；再利用波束合成算法对超声射频回波信号进行波束合成得到初始图像；对每一组超声射频回波信号组对应的复数帧初始图像进行相干复合得到复合后图像；对所有复合后图像进行图像配准得到多个配准后图像；利用预定的杂波滤除算法对所有配准后图像进行杂波滤波得到多个滤波后图像；实时显示滤波后图像；利用微纳马达识别方法对滤波后图像中的微纳马达进行识别定位得到单帧位置；根据所有单帧位置以及发射频率得到微纳马达的运动轨迹与运动速度。
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公开(公告)号：CN108831952B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201810641931.8
申请日：2018-06-21
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/11 , H01L31/112 , H01L31/18 , B82Y15/00
Abstract: 本发明属于微纳电子器件技术领域，具体为一种单晶硅纳米薄膜柔性瞬态电子器件、制备方法和应用。本发明采用先器件、后转移的制备方法，将按照标准半导体工艺制备的单晶硅纳米薄膜电子器件/阵列整体转移到带有瞬态功能层的聚酰亚胺薄膜柔性衬底上面。本发明制备方法具有与当前IC工艺兼容、结构规模可任意调整、适合工业化放大生产的优势。本发明通过栅极调控沟道能带，该器件光电流与暗电流比值可以超过106。通过制备过程中添加PAMS功能层，实现加热触发器件自损毁的瞬态过程。本发明为大批量获取高灵敏柔性光电探测器，及适应高温环境的瞬态器件、在芯片上集成电路保护、信息安全、传感/控制系统等领域奠定了基础。
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