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公开(公告)号：CN108831952B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201810641931.8
申请日：2018-06-21
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/11 , H01L31/112 , H01L31/18 , B82Y15/00
Abstract: 本发明属于微纳电子器件技术领域，具体为一种单晶硅纳米薄膜柔性瞬态电子器件、制备方法和应用。本发明采用先器件、后转移的制备方法，将按照标准半导体工艺制备的单晶硅纳米薄膜电子器件/阵列整体转移到带有瞬态功能层的聚酰亚胺薄膜柔性衬底上面。本发明制备方法具有与当前IC工艺兼容、结构规模可任意调整、适合工业化放大生产的优势。本发明通过栅极调控沟道能带，该器件光电流与暗电流比值可以超过106。通过制备过程中添加PAMS功能层，实现加热触发器件自损毁的瞬态过程。本发明为大批量获取高灵敏柔性光电探测器，及适应高温环境的瞬态器件、在芯片上集成电路保护、信息安全、传感/控制系统等领域奠定了基础。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108831952A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810641931.8
申请日：2018-06-21
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/11 , H01L31/112 , H01L31/18 , B82Y15/00
Abstract: 本发明属于微纳电子器件技术领域，具体为一种单晶硅纳米薄膜柔性瞬态电子器件、制备方法和应用。本发明采用先器件、后转移的制备方法，将按照标准半导体工艺制备的单晶硅纳米薄膜电子器件/阵列整体转移到带有瞬态功能层的聚酰亚胺薄膜柔性衬底上面。本发明制备方法具有与当前IC工艺兼容、结构规模可任意调整、适合工业化放大生产的优势。本发明通过栅极调控沟道能带，该器件光电流与暗电流比值可以超过106。通过制备过程中添加PAMS功能层，实现加热触发器件自损毁的瞬态过程。本发明为大批量获取高灵敏柔性光电探测器，及适应高温环境的瞬态器件、在芯片上集成电路保护、信息安全、传感/控制系统等领域奠定了基础。
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公开(公告)号：CN109580553A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811395597.9
申请日：2018-11-22
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N21/59
CPC classification number: G01N21/59
Abstract: 本发明属于柔性光电子传感技术领域，具体为一种基于高灵敏单晶硅纳米薄膜光电子器件的气体与化学物质探测传感系统的制备方法。本发明首先采用整体转移的工艺，将单晶硅纳米薄膜光电三极管转移到柔性的聚酰亚胺衬底上实现高灵敏的柔性光电子器件。以此器件为平台，在器件表面修饰在特定气体或化学物质作用下能发生光学参数变化的敏感材料，通过分析系统吸附化学物质后光电信号的变化，实现气体与化学物质的探测传感。本发明作为传统传感器的有力补充，为未来可集成于芯片上的非接触式气体与化学物质的传感探测系统的研制奠定了基础。
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公开(公告)号：CN104409561B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201410578408.7
申请日：2014-10-27
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/09 , H01L31/0232
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种基于微球阵列实现更强光响应的硅薄膜光探测器及其制备方法。制备方法包括在衬底上制备单层或多层单分散微球阵列作为光学谐振层；借助原子层沉积技术修饰微球阵列；通过单晶硅薄膜的制备/剥离以及转移技术在光学谐振层上形成单晶硅纳米薄膜制作光探测功能层。在制备过程中，通过对微球尺寸以及微球修饰层介电常数控制，调节光谐振层发生强光学谐振时对应的光波频率。在特定频率的光信号作用下，本发明光探测器可以比没有光学谐振层的同类器件获取更强的光响应。该探测器设计新颖，特定光波段下灵敏度高，为弱光信号的探测及传感、光通讯等领域开辟了新的前景。
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公开(公告)号：CN105344342A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510754991.7
申请日：2015-11-09
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: B01J21/18 , B01D53/8668 , B01D53/8678 , B01D2255/802 , B01D2257/708 , B01D2258/06 , B01D2259/4508 , B01J21/06 , B01J35/004 , B01J35/1004
Abstract: 本发明属于环境净化材料领域，具体为一种以天然多孔活性炭为载体的光触媒环境净化材料及制备方法。其制备方法包括以原子层淀积技术在活性炭载体上制备特定厚度的光触媒活性材料纳米薄膜（TiO2）；然后将包覆有TiO2纳米薄膜的活性炭置于预设好一定加热程序的并有适当气氛的管式炉中热处理，冷却后取出即得到具有高催化活性的活性炭环境净化材料。传统活性炭基环境净化材料单纯依靠高比表面积的活性炭的吸附作用，一旦吸附饱和便失去作用，而本发明制备的环境净化材料可将吸附的有机污染物有效降解以实现循环使用，无吸附饱和。该材料以天然多孔活性炭为载体，无毒无害，机械强度大，耐候性能优异。
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公开(公告)号：CN104409561A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201410578408.7
申请日：2014-10-27
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/09 , H01L31/0232
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/0232 , H01L31/09
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种基于微球阵列实现更强光响应的硅薄膜光探测器及其制备方法。制备方法包括在衬底上制备单层或多层单分散微球阵列作为光学谐振层；借助原子层沉积技术修饰微球阵列；通过单晶硅薄膜的制备/剥离以及转移技术在光学谐振层上形成单晶硅纳米薄膜制作光探测功能层。在制备过程中，通过对微球尺寸以及微球修饰层介电常数控制，调节光谐振层发生强光学谐振时对应的光波频率。在特定频率的光信号作用下，本发明光探测器可以比没有光学谐振层的同类器件获取更强的光响应。该探测器设计新颖，特定光波段下灵敏度高，为弱光信号的探测及传感、光通讯等领域开辟了新的前景。
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