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公开(公告)号:CN108831952B
公开(公告)日:2020-05-12
申请号:CN201810641931.8
申请日:2018-06-21
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/11 , H01L31/112 , H01L31/18 , B82Y15/00
Abstract: 本发明属于微纳电子器件技术领域,具体为一种单晶硅纳米薄膜柔性瞬态电子器件、制备方法和应用。本发明采用先器件、后转移的制备方法,将按照标准半导体工艺制备的单晶硅纳米薄膜电子器件/阵列整体转移到带有瞬态功能层的聚酰亚胺薄膜柔性衬底上面。本发明制备方法具有与当前IC工艺兼容、结构规模可任意调整、适合工业化放大生产的优势。本发明通过栅极调控沟道能带,该器件光电流与暗电流比值可以超过106。通过制备过程中添加PAMS功能层,实现加热触发器件自损毁的瞬态过程。本发明为大批量获取高灵敏柔性光电探测器,及适应高温环境的瞬态器件、在芯片上集成电路保护、信息安全、传感/控制系统等领域奠定了基础。
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公开(公告)号:CN108831952A
公开(公告)日:2018-11-16
申请号:CN201810641931.8
申请日:2018-06-21
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/11 , H01L31/112 , H01L31/18 , B82Y15/00
Abstract: 本发明属于微纳电子器件技术领域,具体为一种单晶硅纳米薄膜柔性瞬态电子器件、制备方法和应用。本发明采用先器件、后转移的制备方法,将按照标准半导体工艺制备的单晶硅纳米薄膜电子器件/阵列整体转移到带有瞬态功能层的聚酰亚胺薄膜柔性衬底上面。本发明制备方法具有与当前IC工艺兼容、结构规模可任意调整、适合工业化放大生产的优势。本发明通过栅极调控沟道能带,该器件光电流与暗电流比值可以超过106。通过制备过程中添加PAMS功能层,实现加热触发器件自损毁的瞬态过程。本发明为大批量获取高灵敏柔性光电探测器,及适应高温环境的瞬态器件、在芯片上集成电路保护、信息安全、传感/控制系统等领域奠定了基础。
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公开(公告)号:CN119774540A
公开(公告)日:2025-04-08
申请号:CN202411875271.1
申请日:2024-12-19
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种磁场可调控的三维植入式柔性微探针阵列衬底及其制备方法;其制备方法包括:在支撑衬底上从下往上依次制备牺牲层和第一柔性材料层;在第一柔性材料层上生长磁性材料中间层;在磁性材料中间层上制备第二柔性材料层;通过光刻刻蚀工艺对第一、第二柔性材料层进行蚀刻实现微探针区域的镂空和旋转铰链的减薄;去除牺牲层以释放整个微探针阵列衬底,通过磁场牵引微探针阵列发生旋转完成微探针阵列二维转三维的过程,通过树脂固化铰链获得三维微探针阵列。本发明显著提高了探针阵列在动态条件下的性能和可靠性;本发明使得微探针阵列能够捕捉三维信号的变化,提供高空间分辨率的监测能力,适用于实时神经活动监测等高精度应用。
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公开(公告)号:CN117631321A
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202311566251.1
申请日:2023-11-22
Abstract: 本发明属于医疗器械技术领域,具体为采集眼压和眼表温度用智能接触镜及其制备方法。本发明智能接触镜包括眼压传感器、温度传感器;两者为圆环形状,位于同一类眼球面上;所述眼压传感器由传感元件和金电极组成;传感元件为单晶硅薄膜;温度传感器由双股蛇形环形金电极围绕两圈组成;用聚酰亚胺薄膜作为包覆下层,用以连接温度传感器与眼压传感器,保持器件整体的稳定性;传感器层、包覆层封装在上、下两个球面形封装层中组成隐形眼镜。本发明智能接触镜可佩戴于动物或人眼角膜,不影响视轴区,可实现眼压监测和眼表温度同时监测,具有更高的灵敏度、更好的可重复性、线性度,生物兼容性好。主要用于青光眼疾病的筛查、诊断、预后监测。
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公开(公告)号:CN116908259A
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN202310882230.4
申请日:2023-07-18
Applicant: 复旦大学义乌研究院
Abstract: 本发明属于生物传感器技术领域,具体为一种活体在线实时监测植物体内化学成分的生物传感器。本发明生物传感器把工作电极和参比电极安装在两块基板中间的液体腔内,避免电极插拔植物时受损,提高传感器耐用性;利用微管流技术通过液流微通道把植物体内的液体吸入到液体腔,实时监测植物体内化学成分,保证标定环境和测试环境不变,提高测量准确性。采用多微液流通道,无需工作/参比电极在植物体内测量部位的微米级别的精准定位,提高测定效率和现场的实用性。本生物传感器可实现对植物活体内化学成分的在线监测,对被检测样本不造成本质伤害;得到的数据可实时准确动态的反映植物体内化学成分信息,实际操作简单,有利于植物种植现场的广泛应用。
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