一种真空离子束抛光机控制系统及其通讯方法

    公开(公告)号:CN105328536A

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201510741315.6

    申请日:2015-11-04

    CPC classification number: B24B13/00 B24B51/00 H04L12/40006 H04L2012/40221

    Abstract: 本发明涉及一种真空离子束抛光机控制系统,包括有真空控制单元、离子源控制单元、离子源运动控制单元、PLC控制器、I/O扩展模块、上位机和人机交互屏。真空控制单元、离子源控制单元通过PLC控制器与上位机通讯连接,离子源运动控制单元与上位机之间通讯连接。本发明还涉及该真空离子束抛光机控制系统的通讯方法,在人机交互屏上利用人机界面构架添加各个控制单元的组态控制界面,在利用上位机获取的真空控制单元、离子源控制单元、离子源运动控制单元中的数据,实时更新真空离子束抛光机组态控制界面上的显示内容,从而实现真空离子束抛光机中各控制系统的同一监控和管理,信息量大、操作方便。

    一种用于半导体晶圆等离子的定位加工装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN118553677A

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202410818392.6

    申请日:2024-06-24

    Abstract: 本发明公开了一种用于半导体晶圆等离子的定位加工装置,包括固定底座以及连接在所述固定底座上的定位组件;所述定位组件包括供多个半导体晶圆同时固定的定位垫片以及与所述定位垫片配合固定的定位底盘;所述定位底盘上开设有多个供半导体晶圆放置的卡槽,所述定位垫片上开设有与所述卡槽对应相通的定位孔,所述定位垫片位于所述定位孔的周侧设置有与半导体晶圆周侧抵接的多个压片。通过采用半导体晶圆等离子的定位加工装置的使用方法,能够用于小批量加工半导体晶圆,方便多个半导体晶圆同时固定,还能减少等离子体加工过程中对半导体晶圆的加工污染,提高等离子加工的精密性。

    一种光学元件的车削定心装置

    公开(公告)号:CN113172459B

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202110370874.6

    申请日:2021-04-07

    Abstract: 本发明涉及一种光学元件的车削定心装置,其特征在于:包括活动基座,用于安装在机床上;依次重叠的多个叶片,各叶片可摆动地设于所述活动基座上,多个叶片的内壁能够围合成供光学元件穿设的通孔,且所述活动基座安装于机床状态下,所述通孔的中心线与机床主轴的轴线同轴;驱动结构,用于驱动各叶片摆动以无极调节所述通孔的孔径;锁定结构,用于锁定所述通孔的孔径。本发明涉及的一种光学元件的车削定心装置,更易操作、工作效率高,而且,定心操作对操作者要求较低,定心精度高且定心稳定性更好,适用范围广。

    一种用于柱塞马达的柱塞孔镗削加工装置

    公开(公告)号:CN115592162A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211350750.2

    申请日:2022-10-31

    Abstract: 本发明涉及一种用于柱塞马达的柱塞孔镗削加工装置,包括有:底座,用于供待柱塞马达的马达轴和缸体一上一下地布置其上;还包括有:分度盘,套设于马达轴外,与马达轴同轴设置并被布置成能绕其自身中轴线转动;内部中空的轴套,设于分度盘的上表面并位于缸体的上方,并随分度盘转动而能分别与缸体上的每个柱塞孔上下对齐;以及镗削件,包括镗刀和用于加长镗刀的刀杆,刀杆的下端与镗刀相连接,刀杆穿设于所述轴套内,并且刀杆的上端至少局部伸出于轴套外而与外部动力源的输出轴相连接,镗刀与轴套同轴布置。该装置拆装检修方便,互换性高,可根据不同的柱塞孔数量或者加工精度更换分度盘,针对此类型缸体的盲孔镗削加工具备较高的普适性和灵活性。

    一种用于光学元件的定位及姿态调整装置

    公开(公告)号:CN110666596B

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN201910822123.6

    申请日:2019-09-02

    Abstract: 一种用于光学元件的定位及姿态调整装置,包括基板、初步定位机构、终定位机构和姿态调整结构,基板为左右平行设置二条,基板上设有导轨,基板上从下往上依次设有移动顶板、夹具顶板和顶板,移动顶板通过导轮可沿导轨自由移动;初步定位机构包括元件吊钩、套筒和螺母,夹具顶板通过定位销定位于移动顶板的上方,元件通过元件吊钩挂置在移动顶板的下方,通过套筒和螺母与移动顶板夹紧定位;终定位机构包括左侧顶轴和右侧顶轴;姿态调整结构包括调整丝套和锁紧螺母,调整丝套拧入顶板中,顶板通过螺钉固定于架体顶板上,通过微调调整丝套实现元件与X‑Y平面的平行度。本发明不仅结构简单、成本低、操作方便,而且定位精度高、成本低、易于加工制造。

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