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公开(公告)号：CN110666596A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201910822123.6
申请日：2019-09-02
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: B24B1/00 , B24B13/005 , B24B41/00
Abstract: 一种用于光学元件的定位及姿态调整装置，包括基板、初步定位机构、终定位机构和姿态调整结构，基板为左右平行设置二条，基板上设有导轨，基板上从下往上依次设有移动顶板、夹具顶板和顶板，移动顶板通过导轮可沿导轨自由移动；初步定位机构包括元件吊钩、套筒和螺母，夹具顶板通过定位销定位于移动顶板的上方，元件通过元件吊钩挂置在移动顶板的下方，通过套筒和螺母与移动顶板夹紧定位；终定位机构包括左侧顶轴和右侧顶轴；姿态调整结构包括调整丝套和锁紧螺母，调整丝套拧入顶板中，顶板通过螺钉固定于架体顶板上，通过微调调整丝套实现元件与X-Y平面的平行度。本发明不仅结构简单、成本低、操作方便，而且定位精度高、成本低、易于加工制造。
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公开(公告)号：CN110625448A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910822126.X
申请日：2019-09-02
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头，包括底座、力矩伺服电机、连接板、等离子体抛光头和小工具抛光头，底座上设有直线导轨，连接板设在力矩伺服电机前端与转子相连接，力矩伺服电机的定子固定在基板上并通过驱动机构沿直线导轨作竖直滑动，等离子体抛光头安装在连接板前端上部，小工具抛光头对应安装在连接板前端下部，等离子体抛光头和小工具抛光头在力矩伺服电机驱动下实现抛光时的摆动和转换。增设小工具抛光头，通过小工具抛光头辅助等离子体抛光有效减轻二次吸附物对光学元件表面影响，提高抛光质量；通过力矩伺服电机实现小工具抛光头与等离子体抛光头转换，工作效率高，精度高；配合其他数控轴运动，可用于大尺寸非球面光学元件加工。
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公开(公告)号：CN110444459A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910652504.4
申请日：2019-07-19
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: H01J37/304 , H01J37/305
Abstract: 本发明涉及一种确定光学元件离子束均匀等速刻蚀最优延拓距离的方法，包括以下步骤：1)确定元件面形采样阵的采样间距和驻留时间面形的采样间距；2)等速均匀刻蚀；3)通过预测曲线确定驻留时间面形的最优延拓距离。设置边界因子，把不同γ值计算所得的加工时间t和材料去除量面形RMS值作图表示，每一个γ值的计算结果(tγ，RMSγ)对应于坐标系中的一个点，将这些点按照γ值由小到大的顺序连接起来就构成了一条曲线，称该曲线为“预测曲线”。合理的γ值应该是位于预测曲线上的拐点处，拐点处在较短的加工时间内可以实现较好地加工效果，有效提高对元件等速均匀刻蚀的加工效率。
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公开(公告)号：CN117116735A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311149316.2
申请日：2023-09-07
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种可实现间歇刻蚀的离子源装置，包括放电室、离子源光学系统、冷却装置，冷却装置中设有中和器、放电室的上部设有离子源光学系统，放电室的顶部固定有冷却装置，其特征在于所述冷却装置的一侧设有直流电机，冷却装置的中间设有离子源通孔，并且冷却装置的顶部与底部分别设有顶部隔离金属板与底部隔离金属板，对应的，顶部隔离金属板与底部隔离金属板也分别设有离子源出孔和进孔，顶部隔离金属板的上端设有阻挡机构，底部隔离金属板的底部与放电室相连接。它能对光学元件表面的精确修形，能够根据具体需要，通过驱动阻挡机构，限制离子束对光学零件的刻蚀，结构简单，成本低，冷却快速，减少温度对零件的影响。
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公开(公告)号：CN114851023A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210471182.5
申请日：2022-04-28
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种用于大尺寸非球面光学元件研抛机床的在位检测方法，包括：步骤1、获取待研抛元件的初始面形；步骤2、根据待研抛元件的初始面形生成加工代码；步骤3、对待研抛元件进行初定位：步骤4、使用第一传感器对初定位的待研抛元件进行基准在位检测，获得待研抛元件的实际位置；步骤5、对待研抛元件进行一次研抛；步骤6、对研抛后的元件进行面形在位检测，获得元件研抛后的面形数据；步骤7、判断步骤6中获取的元件研抛后的面形数据是否合格，如是，则进入终检，结束；如否，则转入到步骤5。本方法不仅操作方便，而且精度高、加工效率高，应用于大尺寸非球面光学元小磨头数控研抛机床的在位检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114742767A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210267849.X
申请日：2022-03-17
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种光学元件表面缺陷识别方法，包括以下步骤：步骤1、图像采集；步骤2、对所有光学元件的子孔径缺陷图像进行拼接，得到光学元件完整的全口径缺陷图像；步骤3、采用全局阈值对光学元件完整的全口径缺陷图像进行预处理分割，使灰度图像背景与缺陷分割开；步骤4、对缺陷灰度图进行预处理，并对缺陷的特征和形态参数进行提取；步骤5、对根据缺陷的特征和形态参数进行分类，得到缺陷分类结果。本发明的优点在于：通过全局阈值对光学元件完整的全口径缺陷图像进行预处理分割，使灰度图像背景与缺陷分割开，因此该方法无需人为识别缺陷，通过灰度将背景和缺陷分割开来，提高了缺陷识别的准确率，且通过自动化操作，提高了缺陷识别速度。
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公开(公告)号：CN110216548B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201910444411.2
申请日：2019-05-27
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: B24B13/00 , B24B13/005 , B24B1/00 , B24B41/00
Abstract: 一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置，包括基体、用于输送光学元件的输送夹紧装置以及提升定位装置，其中提升定位装置可上下移动地设置在基体上，基体的底部左右两侧设有滑轨，输送夹紧装置可前后滑动地设置在滑轨上，滑轨上设有用于定位输送夹紧装置的定位块，基体上设有定位套，输送夹紧装置的上端设有对应的定位销，当输送夹紧装置沿滑轨移动到定位块时，输送夹紧装置正好位于提升定位装置的正下方，输送夹紧装置通过提升定位装置的提升向上移动与基体定位。本发明结构简单合理紧凑，不仅可实现多品种光学元件的装夹，且定位精确，同时方便与外部运输装置对接。
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公开(公告)号：CN111403251A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010286352.3
申请日：2020-04-13
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种射频离子源离子束束径约束器，其特征在于：所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构；所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布，多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑，所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。本发明还涉及一种包括束径约束器的控制装置及对应的方法，采用该装置及方法进行离子束束径控制，操作方便，调节精度好，效率高，而且成本节约。
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公开(公告)号：CN119658476A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411889936.4
申请日：2024-12-20
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: B24B1/00 , B24B13/02 , B24B49/00 , B24B13/01 , B24B13/005
Abstract: 一种高效率复合加工非球面光学元件的方法，步骤：根据待加工光学元件形状制作工装夹具，将光学元件坯料下表面磨平抛光，固定在工装夹具上；通过粗磨+精磨对光学元件毛坯上表面进行非球面成型加工，得到非球面样件；采用轮廓仪测量非球面样件面形数据；将面形数据导入气囊抛光机床，计算得到补偿加工的NC代码，将工装夹具与非球面样件一同固定在抛光机床的过渡夹具上采用不同气囊抛光头对非球面样件的上表面进行粗抛和精抛；加工完成后采用轮廓仪测量非球面样件面形数据，合格后将非球面样件及工装夹具浸泡在丙酮溶液中，取出样件。本发明工艺科学合理，能实现对元件面形的快速测量，减少装夹误差，提高加工质量和加工效率，降低生产成本。
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公开(公告)号：CN113618542A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110791252.0
申请日：2021-07-13
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: B24B13/00 , B24B13/01 , B24B41/04 , B24B47/14 , B24B47/22 , B24B47/12 , B24B41/02 , B24B41/00 , B24B49/12 , B24B49/04
Abstract: 一种抛光设备，包括：机架(1)、抛光头(2)、第一传感器(3)、转动件(4)和第一驱动件(5)，所述抛光头(2)连接有第一连接件(21)；所述第一传感器(3)用于检测加工精度或检测待抛光面的几何尺寸，其连接有第二连接件(31)；所述转动件(4)以能转动的方式设于机架(1)上，且转动件(4)上设有供上述第一连接件(21)、第二连接件(31)择一地与其拆卸式连接的连接头(41)；所述第一驱动件(5)作用在转动件(4)上，以驱动转动件(4)旋转。与现有技术相比，本申请能减少工件装卸次数，从而提高加工效率，并且提高加工精度。
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